ГОСТ Р 8.629-2007

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                      ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                                 НАЦИОНАЛЬНЫЙ
                                                                                   ГОСТР
                                                    СТАНДАРТ
                                                  РОССИЙСКОЙ                       8 . 629—
                                                   ФЕДЕРАЦИИ                       2007




                                   Государственная система обеспечения
                                            единства измерений

                                  МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО
                                   ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ
                                       ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

                                              Методика поверки



                                                  Издание официальное




                                                             Москва
                                                         Стандартинформ
                                                              2011




сертификат соответствия профиль

ГОСТ Р 8.629—2007


                                       Предисловие

      Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом
от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведония о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума». Федеральным государственным учреждением «Российский на­
учный центр «Курчатовский институт». Государственным образовательным учреждением высшего
профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный универ­
ситет)»

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Наукоемкие технологии» Феде­
рального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 21 мая 2007 г. № 97-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

     5 ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.) с Изменением Np 1. утвержденным в ноябре 2010 г. (ИУС 2—2011)




     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом ин­
формационном указателе «Национальные стандарты». а текст изменений и поправок — в ежеме­
сячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случав пересмотра (замены) или
отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесяч­
но издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомле­
ние и тексты размещаются также в информационно системе общего пользования — на
официальном сайте Федералыюго агентства по техническому регулированию и метрологии в
сети Интернет




                                                                    © Стандартинформ. 2007
                                                                  © СТАНДАРТИНФОРМ. 2011

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

и

ГОСТ Р 8.629— 2007


                                                                     Содержание

1 Область применения......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки......................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения.....................................................................................                                                       2
4 Операции и средства поверки......................................................................................................................... 2
5 Требования к квалификации поверителей................................................................................................... 3
6 Требования безопасности......................                                                                                                                    3
7 Условия поверки и подготовка к н е й ............................................................................................................. 4
8 Проведение поверки......................................................................................................................................... 4
9 Обработка результатов измерений................................................................................................................ 6
10 Оформление результатов п о в е р к и ............................................................................................................. 8
Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления во зд уха........................................... 9
Библиография......................................................................................................................................................11




                                                                                                                                                                in

ГОСТ Р 8.629— 2007


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й            С Т А Н Д А Р Т          Р О С С И Й С К О Й                Ф Е Д Е Р А Ц И И


                   Государственная система обеспечения единства измерений

                        МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА
                         С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

                                              Методика поверки
                           State system for ensuring the uniformity of measurements.
                       Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements.
                                             Methods for verification



                                                                                   Дата введения — 2008—02—01



     1 Область применения
     Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапеце­
идальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для изго­
товления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для
измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10 е м.
     Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных мер.
     (Измененная редакция, Изм. № 1).

     2 Нормативные ссы лки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ Р 8.628—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор­
мам. линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГОСТ Р ИСО 14644-2—2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГОСТ Р ИСО 14644-1*
     ГОСТ Р ИСО 14644-5—2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
     ГОСТ 12.1.040—83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие по­
ложения
     ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа­
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство­
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в ко­
тором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

     (Изменонная редакция, Изм. № 1).

     * ГОСТ Р ИСО 14644-1—2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1— 2002.


Издание оф ициальное

                                                                                                               1