ГОСТ Р 8.631-2007

Ф Е Д Е Р А Л Ь Н О Е А ГЕН Т СТ В О

                                ПО Т ЕХН И Ч ЕСК О М У Р Е ГУ Л И РО В А Н И Ю И МЕТРОЛОГИИ




                                                 Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                      ГОСТР
                [
                V
                    1 > Г   ¥
                                J
                                 )                     С Т А Н Д А Р Т
                                                     Р О С С И Й С К О Й
                                                                                              8 .6 3 1 -
                                                      Ф Е Д Е Р А Ц И И
                                                                                              2007




                    Го суд ар стве н н а я систем а обеспечени я ед инства
                                            и зм е р е н и й


                    МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ

                                            М е то д и к а п о в е р к и



                                                 Издание оф ициальное




                                                                   Москва
                                                            С та м д а р т и н ф о р м
                                                                     2011




звукоизоляция

ГО СТ Р 8.631— 2007

                                        П р е д и сл о в и е

     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0— 2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБО Т А Н Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума». Федеральным государственным учреждением «Российский
научный центр «Курчатовский институт». Государственным образовательным учреждением высшего
профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный универ­
ситет)»

     2 В Н Е С Е Н Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Наукоемкие технологии» Феде­
рального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖ Д ЕН И ВВЕД ЕН В Д ЕЙ СТ ВИ Е Приказом Федерального агентства по техническому регу­
лированию и метрологии от 21 мая 2007 г. № 99-ст

     4 ВВЕД ЕН В П Е Р В Ы Е

     5 ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.)с Изменением № 1, утвержденным в ноябре2010 г. (И У С 2— 2011)



     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежеме­
сячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случав пересмотра (замены) или
отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно
издаваемом указателе «Националы^/о стандарты». Соответствующая информация, уведомление
и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном
сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                        © Стандартинформ. 2007
                                                                     © СТ АН Д АРТ И Н Ф О РМ . 2011

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

и

ГО СТ Р 8.631— 2007

                                                      С од ерж ан ие

1 Область применения........................................................................................................ 1
2 Нормативные ссылки........................................................................................................ 1
3 Термины и определения................................................................................................... 2
4 Операции и средства поверки............................................................................................ 3
5 Требования к квалификации поверителей........................................................................... 4
6 Требования безопасности.................................................................................................4
7 Условия поверки и подготовка к н е й ...................................................................................4
8 Проведение поверки........................................................................................................ 5
9 Обработка результатов измерений..................................................................................... 7
10 Оформление результатов п о в е р к и ..................................................................................8
Библиография................................................................................................................... 8




                                                                                                                                in

Г О С Т Р 8.631— 2007


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                 С Т А Н Д А Р Т            Р О С С И Й С К О Й              Ф Е Д Е Р А Ц И И


                         Государственная система обеспечения единства измерений

                                 М И К РО СК О П Ы Э Л ЕК Т Р О Н Н Ы Е Р А С Т Р О В Ы Е

                                                   Методика поверки

               Slate syste m for ensuring the uniformity of m easurem ents. Sca n n in g electron m icroscopes.
                                                  M e th o d s for verification




                                                                                         Д ата введения     —     2 0 0 8 — 0 2 — 01




       1 О б л а с т ь пр им е не ни я

      Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),
применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от ^0 S до 10 6 м, и устанавливает мето­
дику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
      (Измененная редакция, Изм. № 1).


       2 Н о р м а ти в н ы е сс ы л к и

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор­
мам. линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГОСТ Р 8.629— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
     ГО СТ Р И СО 14644-2— 2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГО СТ Р И С О 14644-Г
     ГО СТ Р И С О 14644-5— 2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
     ГО СТ 12.2.061— 81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГО СТ И СО 14644-1— 2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящ им стандартом ц елесообразно проверить действие ссы лоч­
ных стандартов в инф орм ационной систем е общ его пользования — на оф ициальном сайте Ф едерального агент­
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваем ом у инф орм аци онно­
му указателю «Н аци о нальн ы е стандарты », который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствую щ им еж ем есячно изд аваем ы м инф орм аци онны м указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссы лочны й стандарт заменен (изменен), т о при пользовании настоящ им стандартом следует руководствоваться за ­
м еняю щ им (изм ененны м ) стандартом . Если ссы лочны й стандарт отменен без замены, то положение, в котором д а ­
на ссылка на него, применяется в части, не затрагиваю щ ей эту ссылку.

       (Измененная редакция, Изм. № 1).


       * Г О С Т Р И С О 14644-1— 2 0 0 0 отменен, с 01.04.2004 действует Г О С Т И С О 14644-1— 2002.


И здание о ф и ц и ал ьн о е

                                                                                                                                   1