ГОСТ 8.592-2009

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
                                                    (МГС)
                       INTERSTATE COUNCIL FOR STANDARDIZATION. METROLOGY AND CERTIFICATION




                                                                                     ГОСТ
                                 МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ
                                           СТАНДАРТ
                                                                                     8 . 592 -
                                                                                     2009




                            Государственная система обеспечения
                                    единства измерений

                      МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО
                    ДИАПАЗОНА ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО
                                 КРЕМНИЯ

                          Требования к геометрическим формам,
                         линейным размерам и выбору материала
                                   для изготовления


                                               Издание официальное




                                                          Москва
                                                      С тандартинф орм
                                                            2019




окно шумоизоляция

ГОСТ 8.592—2009


                                                               Предисловие

     Цели, основные принципы и общие правила проведения работ по межгосударственной стандар­
тизации установлены ГОСТ 1.0 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения»
и ГОСТ 1.2 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила
и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления
и отмены»

       Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума» (Россия). Федеральным государственным учреждением «Российский
научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным учреждением
высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный
университет)» (Россия)

       2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии

     3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (про­
токол от 11 ноября 2009 г. № 36)

       За принятие проголосовали:

    Краткое н а и м е н о в а н и е с тр аны        К о д с тр аны по            С о кр а щ е н н о е н а и м е н о в а н и е н а ц и о н а л ьн о го
      по М К (И С О 3 1 6 6 ) 0 0 4 - 9 7      М К (И С О 3166 ) 004 - 9 7                    орга на по с та н д а р ти за ц и и

    Армения                                             AM                   Минторгэкономразвития
    Беларусь                                            BY                   Госстандарт Республики Беларусь
    Казахстан                                           KZ                   Госстандарт Республики Казахстан
    Киргизия                                            KG                   Кыргызстандарт
    Молдова                                             MD                   Молдова-Стандарт
    Россия                                              RU                   Росстандарт
    Таджикистан                                         TJ                   Таджикстандарт
    Узбекистан                                          uz                   Узстандарт
    Украина                                             UA                   Госпогребстандарт Украины


     4 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 5 апреля 2010 г. N» 56-ст

       5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

       6 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Декабрь 2019 г.



     Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта и изме­
нений к нему на территории указанных выше государств публикуется в указателях национальных
стандартов, издаваемых в этих государствах, а также в сети Интернет на сайтах соответ­
ствующих национальных органов по стандартизации.
     В случав пересмотра, изменения или отмены настоящего стандарта соответствующая
информация будет опубликована на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета
по стандартизации, метрологии и сертификации в каталоге «Межгосударственные стандарты»
                                                                              © Стандартинформ. оформление. 2010. 2019

                                     В Российской Федерации настоящий стандарт не может быть полностью или
                                частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального
                                издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию
                                и метрологии
И

ГОСТ 8.592—2009


                                                                   Содержание

1 Область применения.......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки.......................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения.............................................................................                                                           2
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа......................................................... 2
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры.................................................................... 3
Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры
              с использованием анизотропного травления......................................................................4
Библиография...............................                                                                                                                   5

ГОСТ 8.592—2009


                                          Введение

     Для проведения линейных измерений в диапазоне от 10~9 до 10 е м используют растровые элек­
тронные или сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы (далее — микроскопы). Для их по­
верки и калибровки применяют материальные носители единицы длины (далее — меры), размеры
элементов которых определяют, используя стабилизированное по частоте лазерное излучение. Длину
волны лазерного излучения поверяют с помощью эталона длины.
      На практике в качестве мер применяют рельефные меры нанометрового диапазона (далее —
рельефные меры), представляющие собой пластину из монокристаллического кремния, на поверх­
ности которой сформированы элементы рельефа определенной геометрической формы с размерами
основных элементов не более 10 6 м.
      В основе технологического процесса создания рельефных мер лежит использование анизотроп­
ного травления монокристаллического кремния: скорость травления в направлении одной из кристал­
лографических плоскостей в кристаллической структуре кремния в несколько тысяч раз превышает
скорость травления в направлении другой кристаллографической плоскости. Угол между кристаллогра­
фическими плоскостями определен кристаллической структурой кремния. В результате формируются
пространственные геометрические фигуры с известным углом наклона между боковыми стенками и ос­
нованиями. Ориентацию рабочей поверхности пластины, на которой формируются элементы рельефа,
определяют рентгеновским дифракционным методом по методике, установленной в ГОСТ 19658—81
«Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия».
      Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным разме­
рам. а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из моно­
кристаллического кремния. Рельефные меры могут быть изготовлены с трапецеидальным профилем
элементов рельефа. Методика их поверки установлена в ГОСТ 8.591—2009, а применение для целей
поверки микроскопов установлены:
     - для растровых электронных микроскопов — в ГОСТ 8.594—2009;
     - для сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов — в ГОСТ 8.593—2009.




IV