ГОСТ 21006-75

1

Страница 1

Группа MOO

                                        М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы Й                                      С Т А Н Д А Р Т


                                                             МHKPOCKOIIЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ

                                                        Термины, определения и буквенные обозначения
                                                                                                                             ГОСТ
                                                  Electron microscopes. Terms definitions and letter symbols              21006-75


                                        МКС 01.040.31

                                        Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 17 июля 1975 г. № 1835
                                        дата введения установлена
                                                                                                                                     01.07.76
                                        Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта СССР от 10.12.81 .Mb 5329


                                              Настоящий стандарт устанавливает применяемые в науке, технике и производстве термины,
                                        определения и буквенные обозначения величин электронных микроскопов.
                                              Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения в документации
                                        всех видов, учебниках, учебных пособиях, технической и справочной литературе. Приведенные опре
                                        деления можно при необходимости изменять по форме изложения, не допуская нарушения границ
                                        понятия.
                                              Для каждого понятия устаноатен один стандартизованный термин. Применение терминов — си
                                        нонимов стандартизованного термина запрещается. Недопустимые к применению термины-синонимы
                                        приведены в стандарте в качестве справочных и обозначены пометой *Ндп*.
                                              Для отдельных стандартизованных терминов в стандарте приведены в качестве справочных их
                                        краткие формы, которые разрешается применять в случаях, исключающих возможность их различного
                                        толкования.
                                              В стандарте в качестве справочных для ряда стандартизованных терминов приведены иностранные
                                        эквиваленты на немецком (D) и английском языках (Е).
                                              В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и
                                        их иностранных эквивалентов.
                                              К стандарту дано приложение, содержащее термины общих понятий электронно-оптических
                                        приборов.
                                              Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы           курсивом.




                                        Издание официальное                                                           Перепечатка воспрещена
                                             *
                                                                                        Перенимание.
                                        9-гоз                                                97



обследование строительных конструкций

2

Страница 2

С. 2 ГОСТ 2 1 0 0 6 -7 5

Термин Буквенное Определение
обозначение

1. Электронный микроскоп Микроскоп, формирующий изображение объек
D. Elektronenmikroskop та электронными пучками средствами электронной
E. Electron Microscope оптики
F. Microscope electronique
ОСНОВНЫЕ ВИДЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ
2. Просвечивающий э.гсктронный мик Электронный микроскоп, формирующий изоб
роскоп (ПЭМ) ражение объекта электронными пучками, проходя
Ндп. Трансмиссионный электронный щими сквозь Этот объект
микроскоп
D. Durchstrahlungs-Elektroncnmicroskop
E. Transmission electron microscope
3. Растровый электронный микроскоп Электронный микроскоп, формирующий изоб
(РЭМ) ражение объекта при сканировании его поверхнос
Ндп. Сканирующий электронный мик ти электронным зондом
роскоп
D. RaMcrelelektroncnmikroskop
E. Scanning electron microscope
4. Отражательный электронный микро Электронный микроскоп, формирующий изоб
скоп ражение объекта электронными пучками, отражен
D. Reflexions- Elctronenmikroskop ными этим объектом
E. Reflection electron microscope
5. Эмиссионный электронный микро Электронный микроскоп, формирующий изоб
скоп ражение объекта электронными пучками, эмитти-
D. Emissions-Elektronenmikroskop руемыми этим объектом
E. Emission electron microscope
6. Зеркальный электронный микроскоп Электронный микроскоп, формирующий изоб
D. Spicgclelcktrancnmikroskop ражение объект, являющегося катодом электрон
E. Mirror electron microscope ного зеркала
7. Автоэлектронный проектор Электронный микроскоп, формирующий изоб
Ндп. Микропроектор ражение объекта электронными пучками, э п и л и
Микроскоп-проектор руемыми этих! объектом под воздействием электри
ческого поля
КОНСТРУКТИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ
S. Электронная пушка электронного Эмиссионная система, предназначенная для ус
микроскопа корения электронов в электронном микроскопе
Электронная пушка
D. Elcktroncnstranhler
E. Electron gun
9. Электронное черкало Электронно-оптический элемент электронного
D. Elcktroncnspicgcl микроскопа, предназначенный для изменения на
E. Electron mirror правления осевых составляющих скоростей элект
ронов электронного пучка на обратное
10. Вилсоконтрольнос устройство рас Система визуального наблюдения процессов,
трового электронного микроскопа (ВКУ) протекающих в растровом электронном микроско
пе при взаимодействии электронного зонда с объек-
1 им

11. Электронная лин та электронного Электронно-оптический элемент, предназначен
микроекона ный для фокусировки электронных пучков в элект
Линза ронном микроскопе
D. Elcktronenlinse
E. Electron lens
12. Магнитная линэа электронного мик Электронная линза электронного микроскопа,
роскопа предназначенная для фокусировки электронных пуч
Магнитная линза ков магнитным полем
D. Magnetischc Linse
E. Magnetic lens

3

Страница 3

ГОСТ 2 1 0 0 6 -7 5 С. 3


              Термин                        Букве имое                     Определение
                                           обо:значение

   13. Электростатическая лини элсктрон-                     Электронная линза электронного микроскопа,
НОГО МНКР»СК01Ш                                           предназначенная для фокусировки электронных пуч
   Электростатическая линза                               ков электрическим полем
   D. Elccktrischc Linse
   E. Electric lens
   14. Формнруимцая лии ta                                   Электронная линза электронною микроскопа,
                                                          формирующая электронный зонд в плоскости объек-
                                                          1d

   15. Конденсаторная линза электронно                      Электронная линза электронного микроскопа,
го микроскопа                                             предназначенная для фокусировки электронных
   Конденсор                                              пучков, освсшаюших объект
   D. Kondcnsoriinsc
   E. Condenser lens
   16. Двойной конденсатор электронно                       Часть электронно-оптической системы, состоя
го микроскопа                                             щая из двух конденсаторных линз, предназначен
   Двойной конденсор                                      ная для фокусировки электронных пучков, освсша
   D. Doppelkondcnsor                                     юших объект
   E. Double condenser
   17. Объективная линза электронного                        Электронная линза электронного микроскопа,
микроскопа                                                формирующая первое увеличенное изображение
   Объектив                                               объекта
   D. Objcktivliasc
   E. Objective lens
   18. Дифракционная линза                                   Электронная линза электронною микроскопа,
                                                          формирующая промежуточное изображение обьекга
                                                          или его дифракционной картины в предметной плос
                                                          кости промежуточной линзы
   19. Промежуточная линза электронно                       Электронная линза электронного микроскопа,
го микроскопа                                             формирующая промежуточное изображение обьекга
   Промежуточная линза                                    или его дифракционной картины в предметной плос
   D. Zwischcnlinse                                       кости проекционной линзы
   E. Intermediate lens
   20. Проекционная линза электронного                       Электронная линза электронною микроскопа,
микроскопа                                                формирующая увеличенное конечное изображение
   Проекционная линза                                     объекта или сто дифракционной картины
   Иди. Проектив
   D. Projektiv
   E. Projector
   21 . Регистрирующая система электрон                     Устройство, предназначенное для регистрации
ного микроскопа                                           электронов и вторичных излучений в электронном
   Регистрирующая система                                 микроскопе
   22. Фотокамера электронного микро                        Часть регистрирующей системы электронного
скопа                                                     микроскопа, предназначенная для фотографирова
   Фотокамера                                             ния изображения в электронных пучках
   D. Aufnahmckammcr
   E. Photographic chamber
   23. Вакуумная система электронного                        Система, предназначенная для создания вакуу
микроскопа                                                ма в электронном микроскопе
   Вакуумная система
   D. Vakuumanlage
   E. Vacuum system
   24. Котировочная система электронно                      Устройство, предназначенное для совмещения
го микроскопа                                             электронною пучка с оптической осью электрон
   Котировочная система                                   но-оптической системы электронного микроскопа
   25. Отклоняющая сне гема электронно                      Электронно-оптический элемент электронного
го микроскопа                                             микроскопа, предназначенный для отклонения
   Отклоняющая система                                    электронною пучка электрическими или магни тны
   D. Ablcnksystcm                                        ми полями
   E. Deflection system
ч*                                                   99

4

Страница 4

С. 4 ГОСТ 2 1 0 0 6 -7 5

Термин Буквенное Определение
обозначение

26. Стшматор — Электронно-оптический элемент электронного
D. Stigmator микроскопа, предназначенный для исправления
E. Stigmator приоссвого астигматизма
27. Полюсный иякоисчннк электронно Часть магнитопровола электронного микроско
го микроскопа па. концентрирующая поде магнитной линзы в при-
Полюсный наконечник осевой о б л а е т
D. Pokchuh
E. Pole piese
28. Колонна электронного микроскопа Совокупность конструктивно объединенных
Колонна электронно-оптических и механических элементов
D. Mikroskoprohr электронного микроскопа
E. Microscope column
29. Шлюзовое устройство электронно- Устройство, предназначенное для ввола и выво-
го микроскопа да из колонны электронного микроскопа сменных
Шлюз элементов без существенного нарушения в ней ра
D. Schleibc бочего вакуума
E. Airlock
ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

30. Светлопольнос изображение Изображение, сформированное в просвечиваю
D. Hcllfcldabbildung щем электронном микроскопе электронными пуч
E. Bright-Held image ками. содержащими нерассеянные в объекте элек
троны. а также рассеянные в пределах апертурного
угла объективной линзы
31. Тсмнополыюс и зображение Изображение, сформированное в просвечиваю
D. Dunkclfcldabbiklung щем электронном микроскопе только рассеянны
E. Dark-field image ми в объекте электронными пучками
32. Микро дифракция Дифракционное изображение малого участка
D. Feinbcrcichsbcugung объекта, сформированное в задней фокальной плос
E. Selected a red ditTraction кости объективной линзы и увеличенное электрон
ными линзами просвечивающего электронного мик
роскопа

ИЗОБРАЖЕНИЯ ОБЪЕКТА В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ

33. И юбражснис во вгоричных элект Изображение, сформированное в растровом
ронах электронном микроскопе с использованием вгорич
D. Abbildung mil sckundUrclelcklroncn ных электронов err объекта
E. Secondary-Emission mobc
34. И юбражснис в отраженных элект Изображение, сформированное в растровом
ронах электронном микроскопе с использованием отра
D. Abbildung mil Riickstrcuclcktronen женных or объекта электронов
E. Backscackscattcrcd Electron mode
35. Изображение в поглошенных элек Изображение, сформированное в растровом
тронах электронном микроскопе с использованием элект
D. Abbildung mil Probenstbmen ронов. поглощенных объектом
E. Absorbed specimen current mode
36. Катололюминссцснгнос изображение Изображение, сформированное в растровом
D. Abbildung mit Kathodolumineszcnz электронном микроскопе с использованием опти
E. Cathodolumincsccnce mode ческого излучения, возбуждаемого в объекте элек
тронным зондом
37. Изображение в наведенном элект Изображение, сформированное в растровом
ронным зондом токе электронном микроскопе с использованием тока,
D. Abbildung mil induzierten Proben- возникающего в цепи с полупроводниковым объек
strftmen том при воздействии на него электронного зонда
E. Induced current mode

100