ГОСТ Р 8.630-2007

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                        ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                    НАЦИОНАЛЬНЫЙ                     ГОСТР
                                        СТАНДАРТ                     8 . 630—
                                      РОССИЙСКОЙ
                                                                     2007
                                       Ф Е Д Е Р А Ц И И




                 Государственная система обеспечения единства
                                  измерений

                      МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ
                      ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ

                                Методика поверки


                                    Издание официальное




                                                 Москва
                                           С та м д ар ти н ф о рм
                                                   2011




стандартизация

ГОСТ Р 8.630—2007

                                       Предисловие

     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума». Федеральным государственным учреждением «Российский
научный центр «Курчатовский институт». Государственным образовательным учреждением высшего
профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный универ­
ситет)»

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Наукоемкие технологии» Феде­
рального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регу­
лированию и метрологии от 21 мая 2007 г. No 98-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

     5 ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.) с Изменением No 1. утвержденным в ноябре 2010 г. (ИУС2—2011)



     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежеме­
сячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или
отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно
издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление
и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном
сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                      ©Стандартинформ, 2007
                                                                    ©СТАНДАРТИНФОРМ. 2011

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

и

ГОСТ Р 8.630—2007

                                                                        Содержание

1 Область применения.......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные с с ы л к и ........................................................................................................................................1
3 Термины и определения..............................................................................                                                                         2
4 Операции и средства поверки..........................................................................................................................2
5 Требования к квалификации поверителей....................................................................................................3
6 Требования безопасности............................................................................................................................... 3
7 Условия проведения поверки и подготовка к н е й ......................................................................................... 3
8 Проведение поверки..........................................................................................................................................4
9 Обработка результатов измерений..................................................................................................................5
10 Оформление результатов поверки............................................................................................................. 6
Библиография                      ........................................................................................................................................... 7




                                                                                                                                                                              in

ГОСТ Р 8.630— 2007


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                     С Т А Н Д А Р Т            Р О С С И Й С К О Й               Ф Е Д Е Р А Ц И И


                             Государственная система обеспечения единства измерений
                                     МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ
                                              АТОМНО-СИЛОВЫЕ

                                                      Методика поверки

                                    State system (or ensuring the u n iform ity of m easurem ents.
                                           A tom ic-force scanning probe m icroscopes.
                                                       M ethods fo r verification



                                                                                                 Д ата в в е д е н и я 2008— 0 2 — 01




        1 Область применения

      Настоящий стандарт распространяется на сканирующие эондовые атомно-силовые микроскопы
(далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 '9 до 10'6 м,
и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по
ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
      (Измененная редакция, Изм. № 1).

        2 Нормативные ссылки

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор­
мам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГОСТ Р 8.629—2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
     ГОСТ Р ИСО 14644-2—2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГОСТ Р ИСО 14644-Г
     ГОСТ Р ИС0 14644-5—2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5.
Эксплуатация
     ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГОСТ И С 0 14644-1— 2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящ им стандартом целесообразно п роверить д ействие с сы л о ч­
ных стандартов в инф орм ационной систем е общ его пользования — на оф ициальном сайте Ф едерального
агентства по техническом у р егулированию и метрологии в сети И нтернет или по еж егодно и здаваем ом у и нф орм а­
ционном у указателю «Н ациональны е стандарты », которы й опубликован по состоянию на 1 января текущ его года, и
по соответствую щ им еж ем есячно издаваемы м инф орм ационны м указателям , опубликованны м в текущ ем году.
Если ссы лочны й стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящ им стандартом сл ед ует руковод ство­
ваться заменяю щ им (изм ененны м ) стандартом . Если ссы лочны й стан да рт отм енен без замены , то положение, в
котором д ан а ссы лка на н его, прим еняется в ч асти, не затрагиваю щ ей эту ссылку.

        (Измененная редакция, Изм. № 1).

        * ГОСТ Р ИСО 14644-1— 2000 отменен; с 01.04.2004 д ействует ГОСТ ИСО 14644-1— 2002.


И зд ан и е о ф и ц и а л ь н о е

                                                                                                                                    1