ГОСТ 8.593-2009

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
(мгс)

INTERSTATE COUNCIL FOR STANDARDIZATION, METROLOGY AND CERTIFICATION
(Isc)

oc PCT ный otek

МЕЖГ УДА ВЕННЫЙ

СТАНДАРТ 8.593—
2009

Государственная система обеспечения единства
измерений

МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ
АТОМНО-СИЛОВЫЕ

Методика поверки

Издание официальное

Москва
Стандартинформ
2019

В

ГОСТ 8.593—2009

Предисловие

Цели, основные принципы и общие правила проведения работ по межгосударственной стандар-
тизации установлены ГОСТ 1.0 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения»
и ГОСТ 1.2 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные. правила
и рекомендации по межгосударственной стандартизаций. Порядок разработки, принятия, обновления
и отмены»

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изу-
чению свойств поверхности и вакуума» (Россия), Федеральным государственным учреждением «Рос-
сийский научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным уч-
реждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт
(государственный университет)» (Россия)

2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (про-
токол от 11 ноября 2009 г. № 36)

3a принятие проголосовали:

Краткое наименование страны Код страны по МК Сожращенное наименование национального органа
по МК (ИСО 3166) 04—97 (ИСО 3166) 004— 97 по стандартизации

' Армения. AM Минторгэкономразвития

Беларусь BY Госстандарт Республики Беларусь

Казахстан KZ Госстандарт Республики Казахстан

Киргизия кб Кыргызстандарт

Молдова MD Молдова-Стандарт

Россия RU Росстандарт

Таджикистан т) Таджикстандарт

Узбекистан uz Уэстандарт

Украина UA Госпотрабстандарт Украины

4 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре-
гулированию и метрологии от 5 апреля 2010 г. № 57-ст

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
6 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Декабрь 2019 г.

Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта и изме-
нений к нему на территории указанных выше государств публикуется в указателях национальных
стандартов, издаваемых в этих государствах, а также в сети Интернет на сайтах соответству-
ющих национальных органов по стандартизации.

В случае пересмотра, изменения ипи отмены настоящего стандарта соответствующая ин-
формация будет опубликована на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по
стандартизации, метрологии и сертификации в каталоге «Межгосударственные стандарты»

© Стандартинформ, оформление, 2010, 2019

В Российской Федерации настоящий стандарт не может быть полностью или
частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального
издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию
и метрологии

ГОСТ 8.593—2009

Содержание

1 Область применения
2 Нормативные ссылк
3 Термины и определения.
4 Операции и средства поверки .
5 Требования к квалификации поверителе!
6 Требования безопасности...
7 Условия поверки и подготовка к ней .
8 Проведение поверки.
9 Обработка результатов измерени!
10 Оформление результатов поверки.

MHRBOBLWNAAH

ГОСТ 8.593—2009

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ
Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe microscopes.
Verification methods

Дата введения — 2010—11—01

1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые михроско-
пы (далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-3 до
10-8 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных
мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592.

2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты:

ГОСТ 8.591 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нано-
метрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

ГОСТ 8.592 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нано-
метрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линей-
ным размерам и выбору материала для изготовления

ГОСТ 12.2.061 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам

ГОСТ ИСО 14644-1° Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха

Примечание — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч-
ных стандартов и классификаторов на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандарти-
зации, метрологии и сертификации (илим.еазс.Ву) или по указателям национальных стандартов, издаваемым в.
государствах, указанных в предисловии. или на официальных сайтах соответствующих национальных органов по
‘стандартизации. Если на документ дана недатированная ссылка, то следует использовать документ, действующий
на текущий момент, с учетом всех внесенных в него изменений. Если заменен ссылочный документ, на который
дана датированная ссылка. то следует использовать указанную версию этого документа. Если после принятия
настоящего стандарта в ссылочный документ, на который дана датированная ссылка, внесено изменение. затра-
гивающев положение, на которов дана ссылка, то это положение применяется Bes учета данного изменения. Если
ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не
затрагивающей эту ссылку.

3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
* Действует ГОСТ Р ИСО 14644-1—2017.

Издание официальное