ГОСТ Р 8.628-2007

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                              ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                          НАЦИОНАЛЬНЫЙ                     ГОСТР
                                               С Т А Н Д А Р Т
                                                                           8 . 628-
                                             РОССИЙСКОЙ
                                             ФЕДЕРАЦИИ
                                                                           2007




                     Государственная система обеспечения единства
                                      измерений

                       МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО
                     ДИАПАЗОНА ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО
                                  КРЕМНИЯ
                     Требования к геометрическим формам, линейны м
                      размерам и вы б о ру материала для изготовления


                                          Издание оф ициальное




                                                     Москва
                                                 Стамдартинформ
                                                      2011




копии сертификатов

ГОСТ Р 8.628— 2007

                                       Предисловие

     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. N<? 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума», Федеральным государственным учреждением «Российский
научный центр «Курчатовский институт». Государственным образовательным учреждением высшего
профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный универ­
ситет)»

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Наукоемкие технологии» Феде­
рального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регу­
лированию и метрологии от 21 мая 2007 г. № 96-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

     5 ИЗДАНИЕ (декабрь 2010 г.)с Изменением № 1, утвераденным в ноябре2010 г. (ИУС2—2011)



     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ожегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежеме­
сячно издаваемых указателях «Националы1ыв стандарты». В случае пересмотра (замены) или
отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно
издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление
и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном
сайте Федерального агентства по техническомурегулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                      © Стандартинформ. 2007
                                                                   © СТАНДАРТИНФОРМ, 2011

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 8.628—2007

                                                                      Содержание

1 Область применения......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки......................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения...............................................                                                                                              2
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов р е л ь е ф а ...................................................... 2
5 Требования к материалу для изготовления рельефной м е р ы ................................................................. 3
Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использо­
             ванием анизотропного травления.......................................................................................... 4
Библиография......................................................................................................................................................... 5




                                                                                                                                                                    in

ГОСТ Р 8.628— 2007

                                           Введение

      Для проведения линейных измерений в диапазоне от 1 0 '9 до 10_6 м используют растровые элек­
тронные или сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы (далее — микроско­
пы). Для их поверки и калибровки применяют материальные носители единицы длины (далее — меры),
размеры элементов которых определяют, используя стабилизированное по частоте лазерное излуче­
ние. Длину волны лазерного излучения поверяют с помощью эталона длины.
      На практике в качестве мер применяют рельефные меры нанометрового диапазона
(далее — рельефные меры), представляющие собой пластину из монокристаллического кремния,
на поверхности которой сформированы элементы рельефа определенной геометрической формы
с размерами основных элементов не более 10 е м.
      В основе технологического процесса создания рельефных мер лежит использование анизот­
ропного травления монокристаллического кремния, скорость травления в направлении одной из
кристаллографических плоскостей в кристаллической структуре кремния в несколько тысяч раз
превышает скорость травления в направлении другой кристаллографической плоскости. Угол меж­
ду кристаллографическими плоскостями определен кристаллической структурой кремния.
В результате формируются пространственные геометрические фигуры с известным углом наклона
между боковыми стенками и основаниями. Ориентацию рабочей поверхности пластины, на которой
формируются элементы рельефа, определяют рентгеновским дифракционным методом по мето­
дике, установленной в ГОСТ 19658— 81 «Кремний монокристаллический в слитках. Технические
условия».
      Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным раз­
мерам. а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из
монокристаллического кремния. Рельефные меры могут быть изготовлены с трапецеидальным
профилем элементов рельефа. Методика их поверки установлена в ГОСТ Р 8.629— 2007, а приме­
нение для целей поверки микроскопов установлено:
      - для растровых электронных микроскопов — в ГОСТ Р 8.631— 2007;
      - для сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов — в ГОСТ Р 8.630—2007.
      (Измененная редакция, Изм. № 1).




IV