ГОСТ Р 8.763-2011

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ГОСТР
СТАНДАРТ
РОССИЙСКОЙ 8.763—
ФЕДЕРАЦИИ 2011

Государственная система обеспечения
единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА
ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ
В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 . 10° ДО 50 м
И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ ОТ 0,2 ДО 50 мкм

Издание официальное

Москва
Стандартинформ
2013

ГОСТР 8.763—2011

Предисловие

Целии принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский
научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» (ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менде-
леева») Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и
метрологии

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. № 1094-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений ипоправок — в ожеме-
CAYHO издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра
(замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано
в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответству-
ющая информация, уведомление U тексты размещаются также в информационной системе общего
пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и
метрологии в сети Интернет

© Стандартинформ, 2013

Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас-
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо-
му регулированию и метрологии

ГОСТР 8.763—2011

Содержание

Государственный первичный эталон............. ааа нана eee 1
Вторичные 'ЭТОНЫ И ПП Ь 9924512191212 47212791912 аа ее bee елееть а.

2.1 Вторичные эталоны 1-й части
2.2 Вторичные эталоны 2-й части
2.3 Вторичные эталоны 3-й части .
2.4 Вторичные эталоны 4-й части

ny

3 Рабочие STONONB A. орон 91h 8 OH BESE OOS OOC ODIO енЕ 3
3.1 Рабочие эталоны 1-й части ...
3.2 Рабочие эталоны 2-й части .........-.... eee eee eee 3

3.3 Рабочие эталоны 3-й части
3.4 Рабочие эталоны 4-й части | . -
# Рабочие средства ИзмерАНИЙ ее неа ав

4.1 Рабочие средства измерений 1-й части .............. еее eee 5
4.2 Рабочие средства измерений 2-й части ................-. ee eee 5
4.3 Рабочие средства измерений 3-й части ................. еее иене eee 5
4.4 Рабочие средства измерений 4-й части ........... ee eee 6

Приложение А (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины

в диапазоне от 1 . 10° до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 1.

Источники излучений и средства измерений длин волн. .................. вкл.
Приложение Б (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины

в диапазоне от 1 . 10 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 2.

Меры длины штриховые и измерители перемещений. .....-............- вкл.
Приложение В (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины

в диапазоне от 1 . 10-3 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 3.

Меры длины концевые плоскопараллельные.........----------::-..- вкл.
Приложение Г (обязательное) Государственная поверочная схема для средств измерений длины

в диапазоне от 1 . 10-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм. Часть 4.

Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона 7

ГОСТР 8.763—2011

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ
В ДИАПАЗОНЕ ОТ 1 . 10-* ДО 50 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ OT 0,2 ДО 50 мкм

State system for ensuring the uniformity of measurements.
State verification schedule for measuring instruments of length in the range from 1 . 10-® to 50 т and
wavelength in the range from 0.2 to 50 ит

Дата введения — 2013—01—01

Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств изме-
рений длины в диапазоне от 1 . 10 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм (далее — государ-
ственная поверочная схема} и устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного.
первичного эталона единицы длины — метра (далее — государственный первичный эталон) рабочим
средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных
методов поверки.

Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн [рисунокА.1 (приложение А}];

часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений [рисунок Б.1 (приложение 5);

часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные [рисунок В.1 (приложение В)];

часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона
[рисунокГ.1 (приложение Г)].

1 Государственный первичный эталон

Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят сле-
дующие средства измерений:

= источник эталонного излучения — Не-МеЛ, лазер, стабилизированный по линии насыщенного
поглощения в молекулярном йоде — 127;

- установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;

- универсальный интерференционный метровый компаратор;

- лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;

- лазерный интерференционный компаратор для измерений длины в субмикронном и нанодиапа-
зоне;

= гетеродинный интерферометр.

Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет
0,633 мкм.

Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со среднеквадрати-
ческим отклонением результата измерений $., не превышающим 5,6 . 10-'? при 100 независимых изме-
рениях.

Неисключенная систематическая погрешность ©, не превышает 2,2 . 10-12.

Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным и рабо-
чим эталонам методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер срав-
нения.

Издание официальное