ГОСТ Р 8.644-2008

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                             ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                          Н АЦИ О Н АЛЬН Ы Й              ГОСТР
                                              СТАНДАРТ
                                                                          8 . 644-
                                            РОССИЙСКОЙ
                                             Ф Е Д Е Р А Ц И И
                                                                          2008




                     Государственная система обеспечения единства
                                      измерений

                      МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО
                       ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ
                           ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

                                   Методика калибровки



                                         Издание официальное




                                                   Москва
                                               Стандартинформ
                                                    2010




вихретоковый метод

ГОСТ Р 8.644—2008

                                       П ре д исловие

      Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом
от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

      Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по
изучению свойств поверхности и вакуума». Федеральным государственным учреждением «Российский
научный центр «Курчатовский институт» и Государственным образовательным учреждением высшего
профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный уни­
верситет)»

      2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Нанотехнологии и наноматериа­
лы»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 26 августа 2008 г. № 186-ст

      4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

      5 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Февраль 2010 г.


     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты». а текст изменений и поправок — в еже­
месячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случав пересмотра (замены) или
отмены настоящего стандарта соолювтствующев уведомление будет опубликовано в ежемесяч­
но издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведом­
ление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на
официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в
сети Интернет




                                                                     © Стандартинформ. 2008
                                                                   © СТАНДАРТИНФОРМ. 2010

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 8.644—2008

                                                                     С одерж ание

1 Область применения......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки......................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения...................................................................................................................................2
4 Технические требования...................................................................................................................................3
5 Требования к квалификации калибровщиков................................................................................................ 4
6 Требования по обеспечению б е зо п а сно сти................................................................................................ 4
7 Подготовка к процедуре ка ли бр о вки............................................................................................................. 4
8 Процедура проведения измерений................................................................................................................ 5
9 Обработка результатов измерений................................................................................................................ 6
10 Оценка неопределенности измерений параметров....................................................................................8
11 Оформление результатов калибровки..........................................................................................................9
Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления в о з д у х а ........................................ 10
Библиография......................................................................................................................................................13




                                                                                                                                                                 in

ГОСТ Р 8.644— 2008


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й            С Т А Н Д А Р Т          Р О С С И Й С К О Й               Ф Е Д Е Р А Ц И И


                    Государственная система обеспечения единства измерений

   МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ
                              ЭЛЕМЕНТОВ

                                           Методика калибровки

                          State system for ensuring the uniformity of measurements.
                      Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements.
                                             Methods for calibration


                                                                                 Дата введения — 2009—06—01




     1 О бласть пр им е не н ия

     Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапе­
цеидальным профилем элементов (далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для
изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для
измерения линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10"* м.
     Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер.


     2 Н о р м а ти в н ы е с с ы л ки

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры
рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометричес­
ким формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГОСТ Р ИСО 14644-2—2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р
ИСО 14644-Г
     ГОСТ Р ИСО 14644-5— 2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
     ГОСТ 12.1.040—83 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие
положения
     ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент­
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационно­
му указателю «Национальные стандарты*, который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться за­
меняющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором да­
на ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.


     * ГОСТ Р ИСО 14644-1—2000 отменен, с 1 апреля 2004 г. действует ГОСТ ИСО 14644-1—2002.

Издание оф ициальное

                                                                                                                  1