ГОСТ Р 8.635-2007

Ф Е Д Е Р А Л Ь Н О Е А ГЕН Т СТ В О

                                                                    ПО Т ЕХН И Ч ЕСК О М У Р Е ГУ Л И РО В А Н И Ю И МЕТРОЛОГИИ




                                                                                     Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                      ГОСТР
                                                                                            С Т А Н Д А Р Т
                                                                                         Р О С С И Й С К О Й
                                                                                                                                  8 . 635-
                                                                                          Ф Е Д Е Р А Ц И И
                                                                                                                                  2007




                                                            Государственная система обеспечения единства
                                                                             измерений

                                                            МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ
                                                                    АТОМНО-СИЛОВЫЕ
                                                                             Методика калибровки



                                                                                     Издание оф ициальное




                                        <•>
                                        <*>

                                        8
                                         I

                                        м
                                        L0



                                                                                                СШ Щ Ц11ж фици
                                                                                                       ас*




энергосбережение и повышение энергетической эффективности

ГОСТ Р 8.635— 2007

                                       П р е д и сл о в и е

     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0— 2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБО Т А Н Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума» и Государственным образовательным учреждением высшего про­
фессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный
университет)»

     2 В Н Е С Е Н Техническим комитетом по стандартизации ТК441 «Нанотехнологии и наноматериа­
лы» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖ Д ЕН И ВВЕД ЕН В Д ЕЙ СТ ВИ Е Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 20 ноября 2007 г. No 318-ст

     4 ВВЕД ЕН В П Е Р В Ы Е



     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежеме­
сячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или
отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно
издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление
и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном
сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                       © Стандартинформ. 2008

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 8.635— 2007

                                                      С од ерж ан ие

1 Область применения........................................................................................................ 1
2 Нормативные ссылки........................................................................................................ 1
3 Термины и определения................................................................................................... 2
4 Технические требования................................................................................................... 3
5 Требования к квалификации калибровщиков......................................................................... 3
6 Требования по обеспечению б е зо п асн о сти ......................................................................... 3
7 Подготовка к процедуре калибровки...................................................................................3
8 Процедура проведения измерений..................................................................................... 5
9 Обработка результатов измерений..................................................................................... 5
10 Оценка неопределенности измерений параметров............................................................... 6
11 Оформление результатов калибровки................................................................................ 7
Библиография....................................................................................................................8




                                                                                                                               in

Г О С Т Р 8.635— 2007


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                      С Т А Н Д А Р Т            Р О С С И Й С К О Й                 Ф Е Д Е Р А Ц И И


                              Государственная система обеспечения единства измерений

                                      МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮ Щ ИЕ ЗО НД ОВЫ Е
                                              АТОМ НО-СИЛОВЫ Е

                                                      Методика калибровки

                                     State syste m for en su rin g the uniformity of m easurem ents.
                                             Atom ic-force sca n n in g probe m icroscopes.
                                                        M e th od s for calibration



                                                                                                Д а та в в е д е н и я — 2 0 0 8 — 0 8 — 01




        1 О б л а с т ь пр им е не ни я

     Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зомдовые атомно-силовые микроскопы
(далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10~9 до 10~6 м,
и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и
ГОСТ Р 8.629.


        2 Н о р м а ти в н ы е сс ы л к и

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор­
мам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГО СТ Р 8.629— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
     ГО СТ Р ИСО 14644-2— 2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГО СТ Р
И СО 14644-1*
     ГО СТ Р И СО 14644-5— 2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
     ГО СТ 12.2.061— 81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГО СТ И С 0 14644-1— 2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящ им стандартом целесообразно проверить действие ссы л о ч­
ных стандартов в инф орм ационной систем е общ его пользования — на оф ициальном сайте Ф едерального агент­
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваем ом у ин ф орм аци он н о­
му указателю «Н аци о нальн ы е стандарты », который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствую щ им еж ем есячно изд аваем ы м инф орм аци онны м указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссы лочны й документ заменен (изменен), то при пользовании настоящ им стандартом следует руководствоваться за ­
м еняю щ им (изм ененны м )докум ентом . Е сл и ссы лочны й документ отменен без замены, то положение, в котором д а ­
на ссылка на него, применяется в части, не затрагиваю щ ей эту ссылку.



        * Г О С Т Р И С О 14644-1— 2 0 0 0 отменен; с 01.04.2004 г. д ей ствует Г О С Т И С О 14644-1— 2002.


И зд а н и е о ф и ц и а л ь н о е

                                                                                                                                          1