Межгосударственный стандарт
ГОСТ 8.594-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Method for verification
Редакционная карточка ГОСТНОРМ. Полный текст публикуется только при подтверждённом праве использования. Метаданные сверяются по нескольким источникам.
Область применения
Область применения пока не подтверждена.
1
Страница 1
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
(МГС)
INTERSTATE COUNCIL FOR STANDARDIZATION. METROLOGY AND CERTIFICATION
(ISC)
ГОСТ
МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ
СТАНДАРТ
8 . 594—
2009
Государственная система обеспечения
единства измерений
МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ
Методика поверки
Издание оф ициальное
Москоа
Стандартинформ
2019
ультразвуковая дефектоскопия2
Страница 2
ГОСТ 8.594— 2009
П ред и сл ови е
Цели, основные принципы и общие правила проведения работ по межгосударственной стандар
тизации установлены ГОСТ 1.0 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения»
и ГОСТ 1.2 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила
и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Порядок разработки, принятия, обновления
и отмены»
Сведения о стандарте
1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изу
чению свойств поверхности и вакуума» (Россия). Федеральным государственным учреждением «Рос
сийский научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным уч
реждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт
(государственный университет)» (Россия)
2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии
3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации
(протокол от 11 ноября 2009 г. No 36)
За принятие проголосовали:
Краткое наименование страны no МК Код страны по МК Сокращенное наименование национального органа
(ИСОЭ166) 004 -9 7 (ИСО 3160) 004 —97 по стандартизации
Армения AM Минторгэкономразвития
Беларусь BY Госстандарт Республики Беларусь
Казахстан KZ Госстандарт Республики Казахстан
Киргизия KG Кыргызстандарт
Молдова MD Модцова-Стандарт
Россия RU Росстандарт
Таджикистан TJ Таджикстандарт
Узбекистан UZ Узстандарт
Украина UA Госпотребстандарт Украины
4 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 5 апреля
2010 г. No 58-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 8.594 введен в действие в качестве национального
стандарта с 11 января 2011 г.
5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
6 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Декабрь 2019 г.
Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящ его ста н д а р та и изме
нений к нему на те р р и то р и и указанных выше государств публикуется в указателях национальных
стандартов, издаваемых в э ти х государствах, а та кж е в с е ти И н те р н е т на сайтах с о о тв е тс т в у
ющих национальных органов по стандартизации.
В случае пересмотра, изменения или отм ены настоящ его ста н д а р та со о тве тствую щ а я ин
формация будет опубликована на официальном и н те р н е т-са й те М ежгосударственного совета по
стандартизации, метрологии и сертиф икации в ка та л оге «Межгосударственные ста н д а р ты »
© Стандартинформ. оформление. 2010. 2019
В Российской Федерации настоящий стандарт не может быть полностью или
частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального
издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию
и метрологии
II3
Страница 3
ГОСТ 8.594—2009
С одержание
1 Область применения........................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки........................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения................................................................. 1
4 Операции и средства поверки....................
W
5 Требования к квалификации поверителей
W
6 Требования безопасности...........................
W
7 Условия поверки и подготовка к н е й .........
W
8 Проведение поверки.....................................
О)
9 Обработка результатов измерений............
10 Оформление результатов поверки..........
S4
Страница 4
ГОСТ 8.594— 2009
М Е Ж Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы Й С Т А Н Д А Р Т
Государственная система обеспечения единства измерений
МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ
Методика поверки
State system for ensuring the uniformity of measurements.
Scanning electron microscopes. Verification methods
Дата введения — 2010— 11—01
1 О бласть пр им е н е ни я
Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),
применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 9 до 10 6 м. и устанавливает
методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и
ГОСТ 8.592.
2 Н о р м а тив ны е с с ы л ки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты:
ГОСТ 8.591 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нано
метрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
ГОСТ 8.592 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нано
метрового диапазона из монокристалличесхого кремния. Требования к геометрическим формам, линей
ным размерам и выбору материала для изготовления
ГОСТ 12.2.061 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Об
щие требования безопасности к рабочим местам
ГОСТ ИСО 14644-1' Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч
ных стандартов и классификаторов на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандарти
зации. метрологии и сертификации (www.easc.by) или по указателям национальных стандартов, издаваемым в
государствах, указанных в предисловии, или на официальных сайтах соответствующих национальных органов по
стандартизации. Если на документ дана недатированная ссылка, то следует использовать документ, действующий
на текущий момент, с учетом всех внесенных в него изменений. Если заменен ссылочный документ, на который
дана датированная ссылка, то следует использовать указанную версию этого документа. Если после принятия
настоящего стандарта в ссылочный документ, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затра
гивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение применяется без учета данного изменения. Если
ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не
затрагивающей эту ссылку.
3 Т ерм ины и опред еления
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
* Действует ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017.
Издание оф ициальное
1Показаны первые 4 из 11
История статуса
Подтверждённых событий пока нет.