ГОСТ Р 8.636-2007

Ф Е Д Е Р А Л Ь Н О Е А ГЕН Т СТ В О

                                      ПО Т ЕХН И Ч ЕСК О М У Р Е ГУ Л И Р О В А Н И Ю И МЕТРОЛОГИИ




                                                     Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                         ГОСТР
                                                            С Т А Н Д А Р Т                          8 . 636—
                                                        Р О С С И Й С К О Й                          2007
                                                         Ф Е Д Е Р А Ц И И




                                  Го суд ар стве н н а я систем а обеспечения
                                             е д и н с т в а и зм е р е н и й


                                    МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ
                                          РАСТРОВЫЕ

                                               М етодика калибровки



                                                        Издание оф ициальное




                             O
                             КI
                             £
                             О



                             I

                             м
                             ш



                                                                  С ш и ф 1Жфир—
                                                                        ас*




проектирование конструкций

ГО СТ Р 8.636— 2007

                                        П р е д и сл о в и е

     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0— 2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБО Т А Н Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума» и государственным образовательным учреждением высшего про­
фессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный
университет)»

     2 В Н Е С Е Н Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Нанотехнологии и наноматериа­
лы» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖ Д ЕН И ВВЕД ЕН В Д ЕЙ СТ ВИ Е Приказом Федерального агентства по техническому регу­
лированию и метрологии от 20 ноября 2007 г. No 319-ст

     4 ВВЕД ЕН В П Е Р В Ы Е

     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежеме­
сячно издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или
отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно
издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление
и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном
сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                        © Стандартинформ. 2008

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГО СТ Р 8.636— 2007

                                                      С од ерж ан ие

 1 Область применения....................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки.......................................................................................................1
 3 Термины и определения...........................................................                                                1
4 Технические требования.................................................................................................. 3
 5 Требования к квалификации калибровщиков........................................................................3
6 Требования по обеспечению безопасности..........................................................................3
 7 Подготовка к процедуре калибровки.................................................................................. 3
8 Процедура проведения измерений.................................................................................... 6
9 Обработка результатов измерений.................................................................................... 6
10 Оценка неопределенности измерений параметров............................................................... 6
11 Оформление результатов калибровки................................................................................ 7
Библиограф ия................................................................................................................. 7




                                                                                                                               in

Г О С Т Р 8.636— 2007


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                      С Т А Н Д А Р Т             Р О С С И Й С К О Й                Ф Е Д Е Р А Ц И И


                              Государственная система обеспечения единства измерений

                                      М И К РО СК О П Ы Э Л ЕК Т Р О Н Н Ы Е Р А С Т Р О В Ы Е

                                                     Методика калибровки

                                     Slate syste m for ensu rin g the uniformity of m easurem ents.
                                      S c a n n in g electron m icroscopes. M ethods for calibration


                                                                                                Д а та в в е д е н и я — 2 0 0 8 — 0 8 — 01
        1 О б л а с т ь прим енения

     Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),
применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 ~ 9 до 10 _б м. и устанавливает мето­
дику их калибровки с помощью рельефных мер по ГО СТ Р 8.628 и ГО СТ Р 8.629.

        2 Н о р м а ти в н ы е сс ы л к и

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГО СТ Р 8.628— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор­
мам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГО СТ Р 8.629— 2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
     ГО СТ Р И С О 14644-2— 2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ГО СТ Р И С О 14644-Г
     ГО СТ Р И С О 14644-5— 2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 5. Эксплуатация
     ГО СТ 12.2.061— 81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГОСТ И С 0 14644-1— 2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1.
Классификация чистоты воздуха
       П р и м е ч а н и е — П р и по льзо ван ии н астоящ и м стан дартом ц ел есоо б разн о проверить дей стви е ссы л о ч ­
н ы х стан д арто в в и нф орм аци онной систем е общ его по льзо ван ия — на о ф и ц и ал ьно м сайте Ф едерального
агентства по техническому регулированию и м етрологии в сети И нтернет или по еж егодно изд аваем ом у и н ф о рм а­
ционном у указателю «Н а ц и о н а л ь н ы е стандарты », которы й опубликован по состоян ию на 1 ян варя текущ его года, и
по соо тветствую щ им еж ем есячно и зд аваем ы м и н ф о рм аци он н ы м указателям , опубликованны м в текущ ем году.
Е сл и ссы лочны й документ зам енен (изменен), то при по льзо ван ии н астоящ и м стан дартом с л ед ует руководство­
ваться зам е няю щ им (изм ененны м ) документом . Е сл и ссы ло ч н ы й докум ент отм енен б ез замены, то полож ение, в
котором д а н а ссы лка на него, прим еняется в части, не затрагиваю щ ей эту ссылку.


        3 Т е р м и н ы и опре д ел ен ия

        В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
        3.1_________________________________________________________________________________________
    растровы й электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изображе­
ние объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.
(ГОСТ 21006— 75, статья 3)


        ' Г О С Т Р И С О 146 44-1— 2000 отменен; с 01.04.2004 г. дей ствует Г О С Т И С О 14644-1— 2002.


И зд а н и е о ф и ц и а л ь н о е

                                                                                                                                          1