ГОСТ 8.591-2009

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
                                                     (МГС)
                        INTERSTATE COUNCIL FOR STANDARDIZATION. METROLOGY AND CERTIFICATION
                                                       (ISC)




                                                                                      ГОСТ
                                                                                      8 . 591-
                                  МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ
                                            СТАНДАРТ
                                                                                     2009




                             Государственная система обеспечения
                                     единства измерений

                         МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО
                          ДИАПАЗОНА С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ
                              ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

                                            Методика поверки


                                                Издание официальное




                                                           Москва
                                                       С тандартинф орм
                                                             2019




сертификат прибора

ГОСТ 8.591—2009


                                                                П ред и сл ови е

     Цели, основные принципы и общие правила проведения работ по межгосударственной стандар­
тизации установлены ГОСТ 1.0 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положения»
и ГОСТ 1.2 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила
и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления
и отмены»

        Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума» (Россия). Федеральным государственным учреждением «Российский
научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным учреждением
высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный
университет)» (Россия)

        2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии

     3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации
(протокол от 11 ноября 2009 г. No 36)

        За принятие проголосовали:

     Кра ткое н а и м е н о в а н и е с тр аны        К о д с тр аны по            С о кр а щ е н н о е н а и м е н о в а н и е н а ц и о н а л ь н о го
       по М К (И С О 3 1 6 6 ) 0 0 4 - 9 7       М К (ИС О 3166 ) 004 - 9 7                     органа по ста н д а р ти за ц и и

     Армения                                              AM                  Минторгэкономразвития
     Беларусь                                             BY                  Госстандарт Республики Беларусь
     Казахстан                                            KZ                  Госстандарт Республики Казахстан
     Киргизия                                             KG                  Кыргызстандарт
     Молдова                                              MD                  Молдова-Стандарт
     Россия                                               RU                  Росстандарт
     Таджикистан                                          TJ                  Таджикстандарт
     Узбекистан                                           uz                  Узстандарт
     Украина                                              UA                  Госпогребстандарт Украины


     4 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 5 апреля 2010 г. Ne 55-ст

        5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

        6 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Декабрь 2019 г.


     Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящ его ста н д а р та и изме­
нений к ному на те р р и то р ии указанных выше государств публикуется в указателях национальных
стандартов, издаваемых в э т и х государствах, а та кж е в с е ти И н те р н е т на са йта х с о о тв е т­
ствую щ их национальных органов по стандартизации.
     В случае пересмотра, изменения или отм ены наспюящего ста н д а р та соответствую щ ая
информация будет опубликована на официальном и н те р н е т-са й те М ежгосударственного совета
по стандартизации, метрологии и сертиф икации в ка та л оге «Межгосударственные стандарты »

                                                                               © Стаидартинформ. оформление. 2010. 2019

                                       В Российской Федерации настоящий стандарт не может быть полностью или
                                  частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального
                                  издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию
                                  и метрологии
II

ГОСТ 8.591—2009


                                                                     С одержание

1 Область применения.......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки.......................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения.............................................................................                                                           2
4 Операции и средства п о в е р ки .........................................................................................................................2
5 Требования к квалификации поверителей...................................................................................................... 3
6 Требования безопасности...................................................................                                                                      3
7 Условия поверки и подготовка к н е й .. . ............................................                                                                          4
8 Проведение поверки .......................................................................................................................................... 4
9 Обработка результатов изм ерений.................................................................................................................6
10 Оформление результатов поверки................................................................................................................ 8
Приложение А (справочное) Вычисление показателя преломления воздуха............................................9
Библиография.......................................................................................................................................................12

ГОСТ 8.591— 2009


М   Е     Ж   Г   О   С   У    Д   А   Р   С    Т   В   Е    Н   Н    Ы   Й           С   Т   А   Н   Д   А    Р   Т


                      Государственная система обеспечения единства измерений

                          МЕРЫ РЕЛЬЕФНЫЕ НАНОМЕТРОВОГО ДИАПАЗОНА
                           С ТРАПЕЦЕИДАЛЬНЫМ ПРОФИЛЕМ ЭЛЕМЕНТОВ

                                                Методика поверки

 Stale system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of
                                              elements. Verification method


                                                                                     Дата введения — 2010— 11—01




        1 О бласть пр им е н е ни я
     Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапе­
цеидальным профилем элементов {далее — рельефные меры), линейные размеры и материал для
изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ 8.592. Рельефные меры применяют для из­
мерения линейных размеров в диапазоне от 10'9 до 10 е м.
     Настоящий стандарт устанавливает методику первичной и периодических поверок рельефных
мер.


      2 Н о р м а тив ны е с с ы л ки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты:
     ГОСТ 8.592 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные
нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам,
линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГОСТ 12.1.040 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие поло­
жения
     ГОСТ 12.2.061 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГОСТ ИСО 14644-1* Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов и классификаторов на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандарти­
зации. метрологии и сертификации (www.easc.by) или по указателям национальных стандартов, издаваемым в
государствах, указанных в предисловии, или на официальных сайгах соответствующих национальных органов по
стандартизации. Если на документ дана недатированная ссылка, то следует использовать документ, действующий
на текущий момент, с учетом всех внесенных в него изменений. Если заменен ссылочный документ, на который
дана датированная ссылка, то следует использовать указанную версию этого документа. Если после принятия
настоящего стандарта в ссылочный документ, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затра­
гивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение применяется без учета данного изменения. Если
ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не
затрагивающей эту ссылку.


      * На территории Российской Федерации действует ГОСТ Р ИСО 14644-1— 2017.


Издание оф ициальное
                                                                                                                         1