ГОСТ 19658-81

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЕ СТАНДАРТЫ

Цветные металлы

КРЕМНИЙ, МАГНИЙ, КАДМИЙ, ТИТАН

Технические условия

Марки

Издание официальное

Москва
ИПК ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ
2 1

УДК 669.2/.8:006.354

ОТ ИЗДАТЕЛЬСТВА

Сборник «Цветные металлы. Кремний. магний, кадмий,
титан. Технические условия. Марки» содержит стандарты, утвер-
жденные до | марта 2001 г.

В стандарты внесены изменения, принятые до указанного
срока.

Текущая информация о вновь утвержденных и пересмот-
ренных стандартах, а также о принятых к ним изменениях пуб-
ликуется в ежемесячном информационном указателе «Государ-
ственные стандарты».

© ИПК Излательство стандартов, 2001

pynna BSI

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ
В СЛИТКАХ rocr

Технические условия 19658—81

Monocrystalline silicon in ingots.
Specifications

ОКП 17 7213

Дата введения 01.01.83

Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые
методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в
производстве эпитаксиальных структур и структур металл -- диэлектрик — полупроводник.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ

1.1. Слитки монокристаллического кремния изготовляют в соответствии с требованиями настоя-
щего стандарта дырочного типа электропроводности (/1), легированные бором (Б), и электронного.
типа электропроводности (9), легированные фосфором (Ф) или сурьмой (С), бездислокационные (с
плотностью дислокаций не более 1 - 10' см-?) по технологической документации.

При оформлении документации с применением печатающих и автоматизированных устройств
индексы дополнительных требований в наименовании марок необхолимо печатать в соответствии с
требованиями ГОСТ 2.004.

(Слитки монокристаллического кремния должны соответствовать требования м, указанным в таб-

лице.
Таблица

`Удельное электрическое сопротивление (YIC) Базовая

Интервал | Относительное от Радиальное относи. | Номиналь. алина

Марка Грунна | Под” | номиналь. | кломение средних |тельное отклонение ный слитка,

РУЛЯ | ных значе- | значений УЭС тор УЭС оз среднего диаметр мм.
ний УЭС. | цов от номинально: | зиачения по zopuy | слитка, мы| не менее
Ом+ем |го значения УЭС. % ка, ®
ЭКДБ 1 а 625 100
6 | 9005-20 185 150
в 35 10 102,5 250
г 127.5 250
7 0.120 1525 0
2 a 62,5 100
5 | 0,005~20 78,5 100
в 5 0 102,5 200
r 127.5 200
> .
a | Ч 1525 250
Излание официальное Перепечатка воспрещена

*

ГОСТ 19658—81 С.2

Продалжение
Удельное электрическое сопротивление {УЭС} week
liga: Относительное от. |Радиальное отноеи- | Номималь» длина
Марка | Група | ‘руна enue средних |тельное слклонение| НЫЙ сантка
значений YC зор” | УЭС оз среднего диаметр мм,
цон от номинально | значения по торцу | слитка. мм | не менее
Omron го значения УЭС. % слитка, %

ЭКДБ 3 a 625 100
6 | 0,00s—20 78,5 100

в 0 10 102,5 150

г 01—20 127.5 20

a 01-15 152,5 250

4 a 625 100
6 78,5 100

в 5 10 102,5 150

г 127.5 150

д 152,5 2»

5 а 62,5 100
6 20—40 35 5 78,5 150

в 102.5 200

г 1275 2%

д 152,5 250

6 a 625 100
6 78,5 100

B 20—40 25 5 102,5 2

г 127,5 20

д 152,5 250

7 а 100
5 20—40 20 5 100

в 150

г 150

8 а 20—40 100
5 20—40 20 10 100

в 20—30 150

г 20—40 150

экэс и а 62.5 100
6 0401-1 35 x 78,5 150

в 102.5 200

|: а 625 100
6 001-1 Е 15 83 100

ЭКЭФ 2 a 100
5 150

в 01—20 0 » 20

г 200

д 250