ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО
ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ

НАЦИОНАЛЬНЫЙ ГОСТ Р ИСО
СТАНДАРТ 14644-3—
РОССИЙСКОЙ
ФЕДЕРАЦИИ 2007

ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ
С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ

Часть 3

Методы испытаний

ISO 14644-3:2005
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
(IDT)

Издание официальное

53 1—2007/393

ГОСТР ИСО 14644-3—2007

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стан-
‘дартов Российской Федерации — ГОСТР 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные
положения»

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией «Ассоциация инженеров по контро-
лю микрозагрязнений» (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода стандарта, указанного
в пункте 4

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной чистоты»

ЗУТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регули-
рованию и метрологии от 27 декабря 2007 г. № 616-ст

4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-3:2005 «Чистые помещения
‘и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний» (ISO 14644-3:2005 «Cleanrooms
and associated controlled environments — Part 3: Test methods»)

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом ин-
формационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно
‘издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены)
‘ипи отмены настоящего стандарта соответствующее уведомпение будет опубликовано в вжемв-
‘сячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая ин-
формация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользова-
ния — на официальном сабте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
в сети Интернет

© Стандартинформ, 2008

Настоящий стандарт He может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распро-
странен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регу-
лированию и метрологии

ГОСТР ИСО 14644-3—2007

Содержание

4 Область приманка га ER OO HERS
2 Нормативные ссылки -
3 Термины и определения
4 Методы испытаний ..........-

4.1 Методы испытаний чистых помещений -.... ee а
4.1.1Обязательные методы... -..,- ee ee нния
4.1.2 Дополнительные методы ....
4.2 Характеристики методов испытаний
4.2.1 Определение концентрации аэрозольных частиц =~ ee
4.2.2 Анализ воздушных потоков
4.2.3 Перепад давления.......-.... ee
4.2.4 Целостность установленной системы фильтрации .. -
4.2.5 Направление потока воздуха, визуализация потока ....
4.2.6 Однородность температуры и влажности... |. |. |
4.2.7 Статическое электричество и генерация ионов .....
4.2.8 Осаждение частиц
4.2.9 Временя восстановления
4.2.10 Герметичность ограждающих конструкций

5 Протокол испытаний =
Приложение А (справочное} Выбор методов испытаний чистых помещений и последовательность их.
проведения
Приложение В (справочное) Методы испытаний..............-
Приложение С (справочное) Оборудование для проведения испытаний
Приложение О (справочное) Сведения о соответствии национальных стандартов Российской Феде-
рации ссылочным международным стандартам
Бибоиолрафия. |. се’: о иго Иа Wale ея ТЫ ges Ab ated oe ace В

1—2

ONNANANNNNOO OHMS

ГОСТР ИСО 14644-3—2007

Введение

Во многих отраслях промышленности и сферах действия человека предъявляются специальные
требования к чистоте воздуха в помещениях. Эти требования выполняются за счет применения чистых
помещений, в которых концентрация аэрозольных частиц не должна превышать установленных пределов.
Значения этих пределов обусловлены особенностями технологических процессов, выполняемых в чистых
помещениях, и требованиями к выпускаемой в них продукции. Чистые помещения широко применяются в
электронной, космической, фармацевтической, пищевой промышленности, при производстве медицинских
‘изделий, в больницах ит.п.

Настоящий стандарт устанавливает методы испытаний и контроля чистых помещений и может быть
использован для установления определения параметров чистых помещений с учетом других стандартов
серии ИСО 14644.

Примечание — Настоящий стандарт устанавливает не все методы контроля параметров чистых
помещений. Методы контроля и оборудование для специфической продукции и процессов установлены в других
стандартах. разработанных ИСОЛК 209. Например, методы контроля при работе с живыми организмами —
в стандартах серии ИСО 14648. оценки технологических характеристик чистых помещений — в стандарте
ИСО 14644-4. методы контроля изоляторов — в стандарте ИСО 14644-7. Дополнительно могут использоваться и
другие стандарты.

Международный стандарт ИСО 14644-3 подготовлен Техническим комитетом ИСОЛК 209, «Cleanrooms
and associated controlled environments — Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды»

Серия Международных стандартов ИСО 14644 имеет общее наименование «Чистые помещения и
связанные с ними контролируемые среды» и включает в себя следующие стандарты:

- 14644-1 Классификация чистоты воздуха;

- 14644-2 Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ИСО 14464-1;

- 14644-3 Методы испытаний;

- 14644-4 Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;

- 14644-5 Эксплуатация;

- 14644-6 Термины и определения;

- 14644-7 Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные. изоляторы и
мини-окружения};

- 14644-8 Классификация молекулярных загрязнений в воздухе.