ГОСТ Р 71645-2024

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                              ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                        НАЦИОНАЛЬНЫЙ                        ГО СТР
                                           СТАНДАРТ
                                         РОССИЙСКОЙ
                                                                            71645
                                                                                —


                                          ФЕДЕРАЦИИ                         2024




                          КРЕМ Н И Й П О Л УП Р О В О Д Н И КО В Ы Й

                         Метод измерения концентрации примесей



                                           Издание официальное




                                                    Москва
                                       Российский институт стандартизации
                                                      2024




неразрушающий контроль

ГОСТ Р 71645—2024


                                       Предисловие
     1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом «Российский         научно-исследовательский   институт
«Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 «Электронная компонентная база,
материалы и оборудование»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 1 октября 2024 г. № 1339-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)




                                          © Оформление. ФГБУ «Институт стандартизации», 2024

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техниче­
скому регулированию и метрологии

ГОСТ Р 71645—2024


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й        С Т А Н Д А Р Т         Р О С С И Й С К О Й          Ф Е Д Е Р А Ц И И


                              КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ

                           Метод измерения концентрации примесей

                                      Silicon is a semiconductor.
                           Method of measuring the concentration of impurities



                                                                             Дата введения — 2025— 03— 01




     1 Область применения
      Настоящий стандарт распространяется на вновь разрабатываемый и модернизируемый полу­
проводниковый кремний и устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод измерения концентрации
примесей с возбуждением спектров разрядов с горячим полым катодом. Интервалы определяемых зна­
чений концентрации примесей приведены в приложении А.
      Стандарт следует применять для выбора параметров при разработке технических заданий (ТЗ)
на научно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, программ испытаний (ПИ), опытных
образцов, стандартов на методы измерений, номенклатуру показателей системы показателей качества
и технического уровня полупроводникового кремния.
      Настоящий стандарт предназначен для применения предприятиями, организациями и другими
субъектами научной и хозяйственной деятельности независимо от форм собственности и подчинения,
а также федеральными органами исполнительной власти Российской Федерации, участвующими в раз­
работке, производстве, эксплуатации полупроводникового кремния в соответствии с действующим за­
конодательством.


     2 Нормативные ссылки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ 123 Кобальт. Технические условия
     ГОСТ 804 Магний первичный в чушках. Технические условия
     ГОСТ 849 Никель первичный. Технические условия
     ГОСТ 859 Медь. Марки
     ГОСТ 860 Олово. Технические условия
     ГОСТ 1089 Сурьма. Технические условия
     ГОСТ 1277 Реактивы. Серебро азотнокислое. Технические условия
     ГОСТ 1467 Кадмий. Технические условия
     ГОСТ 1770 (ИСО 1042— 83, ИСО 4788— 80) Посуда мерная лабораторная стеклянная. Цилиндры,
мензурки, колбы, пробирки. Общие технические условия
     ГОСТ 3640 Цинк. Технические условия
     ГОСТ 3778 Свинец. Технические условия
     ГОСТ 3885 Реактивы и особо чистые вещества. Правила приемки, отбор проб, фасовка, упаковка,
маркировка, транспортирование и хранение
     ГОСТ 4530 Реактивы. Кальций углекислый. Технические условия
     ГОСТ 4568 Калий хлористый. Технические условия
     ГОСТ 5905 (ИСО 10387:1994) Хром металлический. Технические требования и условия поставки



Издание официальное
                                                                                                        1

ГОСТ Р 71645—2024


      ГОСТ 6008 Марганец металлический и марганец азотированный. Технические условия
      ГОСТ 6217 Уголь активный древесный дробленый. Технические условия
      ГОСТ 6835 Золото и сплавы на его основе. Марки
      ГОСТ 9293 (ИСО 2435— 73) Азот газообразный и жидкий. Технические условия
      ГОСТ 10297 Индий. Технические условия
      ГОСТ 10691.1 Пластинки фотографические черно-белые. Метод определения чисел светочув­
ствительности
      ГОСТ 10928 Висмут. Технические условия
      ГОСТ 11069 Алюминий первичный. Марки
      ГОСТ 11125 Кислота азотная особой чистоты. Технические условия
      ГОСТ 12797 Галлий технический. Технические условия
      ГОСТ 13510 (ИСО 3875— 90) Станки круглошлифовальные бесцентровые. Основные параметры и
размеры. Нормы точности и жесткости
      ГОСТ 13637.1 Галлий. Атомно-эмиссионный метод определения алюминия, висмута, железа,
кремния, магния, марганца, меди, никеля, олова, свинца, хрома и цинка
      ГОСТ 14261 Кислота соляная особой чистоты. Технические условия
      ГОСТ 22622 Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных электрофизиче­
ских параметров
      ГОСТ 24222 Пленка и лента из фторопласта-4. Технические условия.
      ГОСТ 29227 (ИСО 835-1— 81) Посуда лабораторная стеклянная. Пипетки градуированные. Часть 1.
Общие требования
      ГОСТ Р 53228 Весы неавтоматического действия. Часть 1. Метрологические и технические требо­
вания. Испытания
      ГОСТ Р 55878 Спирт этиловый технический гидролизный ректификованный. Технические условия
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент­
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указа­
телю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам
ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год. Если заменен ссылочный
стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого
стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который
дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом ут­
верждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана
датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение
рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то поло­
жение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.


     3 Термины и определения
     В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 22622.


     4 Метод отбора проб
     4.1 Отбор проб — по ГОСТ 3885.
     4.2 Пробу заворачивают в чистую фторопластовую пленку и разбивают молотком, завернутым
во фторопластовую пленку, на куски весом 200 — 500 мг. Навеску кремния, примерно 1 г (два — пять
кусочков) отбирают во взвешенную фторопластовую чашку. Поверхность кремния очищают от возмож­
ных загрязнений, промывая в концентрированной соляной кислоте при нагревании и протравливая в
смеси фтористоводородной и азотной кислот, взятых в соотношении один к сорока, в течение 10 мин с
последующим промыванием в деионизованной воде. Точную навеску кремния получают после взвеши­
вания высушенной пробы во фторопластовой чашке и вычитания из полученного значения веса пустой
фторопластовой чашки.




2