Межгосударственный стандарт
ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination
Редакционная карточка ГОСТНОРМ. Полный текст публикуется только при подтверждённом праве использования. Метаданные сверяются по нескольким источникам.
Область применения
Область применения пока не подтверждена.
1
Страница 1
УДК 669.782:343.06:006.354 Группа 839
Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы Й С Т А Н Д А Р Т С О Ю З А С С Р
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ. ИСХОДНЫЕ
ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
Метод определения примесей
ГОСТ
Semiconductor silicon, raw materials for its 2 6 2 3 9 .1-84
production and quartz Method of impurities
determination
ОКСТУ 1709
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля
1984 г. № 2490 срок действия установлен
с 01 .01.86
до 01.01.91
Несоблюдение стандарта преследуется по закону
Настоящим стандарт устанавливает химико-спектральный метод
определения примесей в интервалах значении массовых долей, при
веденных и табл. I. в полупроводниковом кремнии, двуокиси крем
ния, кварце, четыреххлористом кремнии и трихлорсилане.
Та блица I
Интервалы определяемых значений массовой доли примесей
Oli|u-.« л и с и л примесь
.IiHjjpai. цп'Миий C nenipo i p i'l 1 срез*ей
спенцк.цы^. дф«; 8 Аинлирсмп НСП-ВВ
В полупроводниковом кремнии
Алюминии Or 2-10 ■» до *■№-»% Or 2 10 * до 2 1C %
Висмут От 0-10 • ДО <И0 *•% Or 6-10 5 до (НО %
Ж еле» От 2-!0 -4 JO 2-Ю -1% Or 210-4 ДО 2-10—* %
Залоги От 2 -:o ' До 2-10- % От 2-10-4 до 2-10 * ‘Ь
Кадмий От б-|П -‘ до (Н О -* * Or 2-10—7 до 2-10 %
Кальций От S-IO • до Ь-!0- 1 % Or 5-10--* до МО %
Кобальт От 2-10 ■до 210- - % От G-10-ч до 2-10-* %
.Ченнаи От 5-10 e до 2-10-=% От 5-10 * до 2-IC-* %
Марганец Or 1-10 до 2-10 '■‘Ь Or М О -7 ДО 210 5 •V
Медь Or 1-10- ; ДО 3-10—1 % От М О -7 до М О -' %
Никель Or 2-10-' до 6-10 »% От 210-4 до 2- 1C- ‘ %
Олово Or 2-10 r до (И 0 -"% Or 2-10 ‘ ДО 2-10- « %
Свягец Or 2-10 ’ до (МО »% От 2-10—• до 210 %
Серебри От 2-10 » до 0-10-’ % От 6-10 • до 6-1(1— %
Сурьма Or 2-10 •’ до 6-10-4 % От 6-10-* до 210 ■%
Титан Or S10 r до (i-10~B% Or м о - 7 до 2-10- •V
Хром Or 2-10 ДО 15-10 -*% От 2-! С-* до 2-10-' %
Цинк Or 2-lfl—>до 2*10—* % От 2-10-* до 2*10 5 %
Издание официальное Перепечатка воспрещена
*
энергоэффективность
•>2
Страница 2
С тр . 2 Г О С Т 26219. 1— М
Продолжение табл. 1
Лифракииоилый Спектрограф сремсй
Опрсаедмш* примесь <В«трпгр»Ф ДФС-8 дисперсии. И С П 38
В двуокиси кремнии, кварце
Алюминий От 5-10- ; до 3-10 1 % От 5-10-7 до МО—4 %
Висмут От 310 * до 3-10—* % О т 310 -7 до 3-10—* %
Железо От 1-10—* до М 0 - 8 % От МО « д о МО 4%
Золото От МО т до МО-1 % От 1-10 до М 0 - 4 %
Кадмий От 3-10—• до 3-10 “ Ч> От МО—7 До М О - %
Калинин От 310 • до 310—^ % От 3-I0-* до М О -'Чз
Кобальт От М О - ' до Ы 0 - » % От 3-10“ * до Ы 0 - * Ъ
Магний От 5-10 ’ до МО-"’ % Ог 5-10—т до МО—* %
Марганец От 3-10-® до МО •% От М О -7 до 1-10-*%
Медь От МО ' до 3-10~7 % Ог МО ’ до 3-10—* 1»
Никель От МО—’ до 310~»% От МО * до МО *%
Олово От М О - до 3 1 0 - •% От МО 8 до 1-10—*%
Свинец От МО—7 до 3-10 Ог МО «до МО- * 4,
Серебро От МО- 1 до 3-10—т Ъ От 3-10-» до 3-Ю- «%
Сурьма От М О -4 до 310 >4, От 3-10—« до МО 4%
Тита и От 310 » до 3 U H * % От 3-10 1 до МО—4 %
Хром От М О -7 до 3 1 0 -*% От 1•10—« до МО—4 %
Цинк От I-10-* До МО От МО * до 1-10 '%
В четырех хлор кетон кремнии, трихлорсилане
Алюминий От 2-10—8 ДО 1-10-«% От 2-10 * до •«•10-в %
Висмут От МО » до МО От М 0 -* до Ы О - ‘ %
Железо От МО-7 до МО в% От МО - до 4 J0 *%
Золото От 4-10 5 до 4-10— % O i 4-10—8 до 4-10 •'%
Кадмий От МО 1 до мо-7 % О т 4-10 * до 4-10—7 %
Кальций От 4-10“ ■до 4-IO-’* ‘Ь O i 4-10 ’ до 4*10-* %
Кобальт От 1-10—• до 4-10- г% Ог МО - 1 Д« 4 I0-* %
Магний Oi 2-10 * до 4-10- О г 2-10 8 до 4 1 0 4<Ь
Марганец От 4-10—* до 4-10- От 4-10 * до 4 -!0 -7 %
Медь От 410 |>до мо-*% O i 4-10- * до М 0 - 7 %
Никель Oi 5-10-» АО МО т% От 4-10 * до 4 1 0 ««Ь
Свинец От 5-10 л до 1-10— O i 4-IO-* до 4 1 0
Серебро От 5-ю--и до 1-10-*% От 1-10 “до к о 7;1
Сурьма От 400 -ь до МО—‘ % Oi 1-10—7 до 4-10 * 1
Титан От 2-10—1 АО 1-10- От 2-10-" до 4-10—7 %
Хро'к От 5 '0 ДОм о-т% Oi -МО 8 до 4-!0 - •:>
Цинк От 4-10 - 7 до 410- *% От 4-10 8 До 4-IO- 7 %
Метод ociioDan на предварительном концентрировании примесей
путем удаления основного элемента — кремния в виде тетрафтори
да при анализе полупроводникового кремния, двуокиси кремния,
кнарца, н в виде тетрахлорида—'тетрафторнда при анализе четы
реххлористого кремния и трихлоренлана, получении концентрата
примесей на графитовом порошке и последующем спектральном
анализе концентрата примесей в присутствии хлористого натрия.
б3
Страница 3
ГОСТ 26239.1— 84 Стр. 3
1. ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ
1.1. Общие требования к методу анализа- по ГОСТ 26239.0—84.
2. АППАРАТУРА. МАТЕРИАЛЫ И РЕАКТИВЫ
Спектрограф дифракционный типа ДФС-8 с решеткой
600 штр/мм с двухлинзовой системой освещения (линза Г-75 диа
метром 25 мм) или спектрограф средней дисперсии типа ИСП-28 с
трехлинзовой системой освещения.
Генератор дуговой тина ДГ-2 с дополнительным реостатом, при
способленный для поджига дуги постоянного тока высокочастотным
разрядом.
Выпрямитель 250 300 В. 30—50 А.
Микрофотометр типа МФ-2.
Спектроироектор типа СПП-2.
Весы аналитические.
Весы торсионные.
Станок для заточки графитовых электродов.
Электроды графитовые, выточенные из графитовых стержней
ОСЧ-7—3 диаметром 6 мм. заточенные на конус с углом при вер
шине 15° и с площадкой диаметром 1,5 мм на конце, обожженные в
дуге постоянного тока при 15 А в течение 15 с.
Электроды графитовые диаметром 6 мм, с каналом глубиной
3 мм и диаметром 4 мм, выточенные из графитовых стержней
ОСЧ-7- 3, обожженные в дуге постоянного тока при 15 А в течение
15 с.
Очистке обжигом подвергают каждую пару электродов непос
редственно перед анализом (электрод, заточенный на конус - ка
тод. электрод с каналом — анод).
Графит порошковый по ГОСТ 23463—79. ОСЧ-8—4.
Лампа инфракрасная типа ИКЗ-500 с регулятором напряжения
типа РПО-250—0,5.
Стаканы фторопластовые с завинчивающимися крышками вмес
тимостью 20—25 см5 и 75 80 см*.
Чашки с крышками нэ стсклоуглерода и фторопласта вместимо
стью 25—30 см3.
Чашки фторопластовые вместимостью 20 и 100 см3.
Цилиндры из органического стекла на 10 и 50 см3.
Ступка и пестик из органического стекла.
Бокс из органического стекла типа 8БП1-ОС для подготовки
проб к спектральному анализу.
Бокс из органического стекла типа 2БП2-ОС для химической
подготовки проб с очищенным через ткань Петрннова воздухом.
Приспособления из органического стекла для подготовки проб
к спектральному анализу (подставки для графитовых электродов,
шпатели, набивалки).
74
Страница 4
Стр. Л ГОСТ J6i3*.1 -« 4
Насадка с прорезью высоток 5 мм, надеваемая на щель спектро
графа ДФС-8.
Электроплитки с терморегулятором, покрытые кварцевыми кю
ветами или другим покрытием, исключающим загрязнения.
Шкаф сушильный на температуру до 150 °С.
Алюминий первичный по ГОСТ 11069—74 марки А99 или окись
алюминия безводная для спектрального анализа.
B iicmvt по ГОСТ 10928—75 марок ВиО, ВнОО или окись висмута
по ГОСТ 10216 - 75.
Железо карбонильное радиотехническое но ГОСТ 13610—79
марки Г)с или окись железа по ГОСТ 4173—77, ч.д.а.
Золото но ГОСТ 6835 80 марки Зл 999.
Кадмий по ГОСТ 1467—77 марки Кд-2 или окись кадмия по
ГОСТ 11120—75.
Кобальт по ГОСТ 123- 78 марки К 1 или закись-окись кобальта,
ч. или ч.д.а.
Кальций углекислый по ГОСТ 4530—76. х.ч.
Магний первичный по ГОСТ 804—72 марки Мг-90 или окись
магния по ГОСТ 4526—75, ч.д.а.
Марганец металлический по ГОСТ 6008—82 марки Мр 0 или
Мр 00 или двуокись маргаииа безводная, ос.ч.
Медь по ГОСТ 859—78 марки М3 или окись меди по ГОСТ
16539 —79, порошкообразная.
Никель по ГОСТ 849 70 марки Н-2 или окись никеля черная по
ГОСТ 4331—78, ч.
Олово двуокись по ГОСТ 22516—77, ч.д.а.
Свинец по ГОСТ 3778—77 марки СЗ или окись свинца по ГОСТ
9199—77. ч.д.а.
Серебро по ГОСТ 6836—80 марки Ср 999.0 или Ср 999.9 или
азотнокислое серебро по ГОСТ 1277—75, ч.
Сурьма (III) окись, ос.ч.
Титан губчатый по ГОСТ 17746—79 марки ТГ 90.
Хром по ГОСТ 5905—79 марки Х00.
Цинк го ГОСТ 3640—79 или цинка окись по ГОСТ 10262 -73.
Кислота соляная по ГОСТ 3118 77, х.ч.. или кислота соляная
особой чистоты по ГОСТ 14261—77 перегнанная во фторопластовом
приборе или дважды перегнанная в кварцевом приборе (перед по
регонкой соляную кислоту разбавляют деионизованной водой в со
отношении 1: 1), 6 М раствор.
Кислота азотная особой чистоты по ГОСТ 11125—78. или кис
лота азотная по ГОСТ 4461—77, х.ч., дважды пере: манная в квар
цевом приборе.
Кислота фтористоводородная ос.ч. 27—5.
Вода деионизованная с удельным электросопротивлением 10—
20 МОм’СМ.
8Показаны первые 4 из 19
История статуса
Подтверждённых событий пока нет.