ГОСТ Р 8.716-2010

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                           НАЦИОНАЛЬНЫЙ                      ГО С ТР
                                               СТАНДАРТ
                                             РОССИЙСКОЙ
                                                                             8.716—
                                              ФЕДЕРАЦИИ                      2010




                            Государственная система обеспечения
                                    единства измерений

                            РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО
                             УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
                             ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК
                              МНОГОСЛОЙНЫ Х НАНОСТРУКТУР
                          В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН от 10 д о 30 нм

                                      Методика измерений

                                            Издание официальное




                                                       Москва
                                                   Стандартинформ
                                                        2019




измерения звукоизоляции

ГОСТ Р 8.716—2010


                                       П ре д исловие

     1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский
научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)

     2 ВНЕСЕН Научно-техническим управлением Федерального агентства по техническому регули­
рованию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 21 декабря 2010 г. No 831-ст

     4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

     5 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Март 2019 г.



     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федвралыюго закона
от 29 июня 2015 г. No 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информациотюм указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)




                                                    © Стандартинформ. оформление, 2011. 2019

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

II

ГОСТ Р 8.716—2010


                                                                      С одержание

1 Область применения........................................................................................................................................ 1
2 Нормативные ссылки........................................................................................................................................1
3 Требования к погрешности измерений..........................................................................................................2
4 Средства измерений и вспомогательные устройства................... . .......................................................... 2
5 Метод измерений..............................................................................................................................................2
6 Требования безопасности............................................................................................................................... 2
7 Требования к квалификации операторов........................................ . .......................................................... 2
8 Условия измерений..........................................................................................................................................2
9 Подготовка к выполнению измерений.......................................................................................................... 3
10 Порядок выполнения измерений ....................................................                                                                              3
11 Контроль погрешности результатов измерений......................................................................................... 4
12 Оформление результатов изм ерений........................................................................................................ 5
Приложение А (обязательное) Коэффициенты зеркального и диффузного отражений.......................... 6
Библиография...................................................................................................................................................... 7

ГОСТ Р 8.716— 2010


 Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й             С Т А Н Д А Р Т          Р О С С И Й С К О Й           Ф Е Д Е Р А Ц И И



                     Государственная система обеспечения единства измерений

 РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ
ХАРАКТЕРИСТИК МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОСТРУКТУР В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН от 10 до 30 нм

                                              Методика измерений

     Slate system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation
    for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range from 10 to 30 nm.
                                               Measurements procedure




                                                                                    Дата введения — 2012—01—01




     1 О бласть пр им енения
     Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик многослойных
наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм — рефлектометры экстремального вакуумного
ультрафиолетового (ЭУФ) излучения (далее — ЭУФ-рефлектометры). предназначенные для измерения
коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффи­
циентов зеркального и диффузного отражения.
     ЭУФ-рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффици­
ентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0.01 до 0.99.
     В качестве источников непрерывного ЭУФ-излучения используют электронные накопительные
кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ-излучения используют открытые излучатели на осно­
ве капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные син­
хротроны. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе
многослойных наноструктур.


     2 Н о р м а тив ны е с с ы л ки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ 8.197 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная пове­
рочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне
длин волн от 0.04 до 0,25 мкм
     ГОСТ 8.207' Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с
многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
     ГОСТ 8.552 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная пове­
рочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне
длин волн от 0.03 до 0.40 мкм
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент­
ства по техническому регупированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному укаэа-

     • Действует ГОСТ Р 8.736—2011.


Издание официальное
                                                                                                                     1