01
Обычный текст
Для письма, статьи или внутреннего документа.
Готовое описание для рабочих материалов. Проверьте требования к оформлению ссылок в вашей организации или издании.
Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Сведения в карточке проверены 07.09.2026Она добавлена в описание для удобства, поскольку карточка документа может обновляться.