ГОСТНОРМ
ГОСТ Р 8.716-2010
Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Текстовая версия
Открыть оригинал