ГОСТ Р 53734.5.6-2021

ФЕДЕРАЛЬНО Е АГЕНТСТВО

                           ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                    НАЦИОНАЛЬНЫ Й                     ГОСТ Р
                                         СТАНДАРТ
                                      РОССИЙСКОЙ
                                                                      53734 . 5 . 6—
                                       ФЕДЕРАЦИИ                      2021




                                  ЭЛЕКТРОСТАТИКА
                           Защита электронных устройств
                           от электростатических явлений
                           МИКРОСХЕМЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ
                        И ПРИБОРЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ


                                       И здание оф и ц и а л ьн о е




                                                     Москва
                                                 Стандартинформ
                                                        2021




вихретоковый контроль

ГОСТ Р 53734.5.6— 2021


                                       П ре д исловие
     1 РАЗРАБОТАН Акционерны м общ еством «Научно-производственная           фирма   «Диполь»
(АО «НПФ Диполь») при содействии рабочей группы ТК 072 «Электростатика»

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 072 «Электростатика»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 22 июня 2021 г. N» 575-ст

     4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
от 29 июня 2015 г. No 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)




                                                          © Стандартимформ. оформление. 2021

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии
II

ГОСТ Р 53734.5.6—2021


                                                                             С одержание
1 Область прим енения...................................................................................................................................                              1
2 Нормативные ссылки.................................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения............................................................................................................................................. 2
4 С о кр ащ ен и я....................................................................................................................................................................3
5 Технические требования к защите ИМС, ПП и ЭУ от электростатических явлений...................................4
   5.1 Требования при разработке и производстве ИМС и П П ...........................................................................4
   5.2 Требования при работе с ИМС и ПП при разработке и производстве Э У ........................................... 5
   5.3 Требования к производственным помещениям и рабочим м е с т а м ...................................................... 6
   5.4 Требования к транспортированию и х р а н е н и ю ........................................................................................... 9
6 Требования к пе рсона лу........................................................................................................................................... 10
7 Требования к м а ркир овке....................                                                                                                                                    11
8 Порядок выполнения работ по защите ИМС. ПП и ЭУ от электростатических яв л е н и й ........................ 11
   8.1 Общие требования..............................................................................................................................................11
   8.2 Требования к организации рабочих м е с т .....................................................................................................12
   8.3 Применение способов устранения причин возникновения электростатических р а з р я д о в ......... 13
   8.4 Применение способов снижения уровня э л е ктр и за ц и и ......................................................................... 13
9 Требования безопасности.........................................................................................................................................14
Приложение А (справочное) Аттестация рабочих мест (цехов, участков) для работы с ИМС. ПП
                   и ЭУ. чувствительными к Э С Р .......................................................................................................15
Б иблиограф ия................................................................................................................................................. ...............16

ГОСТ Р 53734.5.6— 2021


                                           В ведение
     Настоящий стандарт устанавливает технические и организационные требования к проведению
работ по защите интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых приборов (ПП) от воздействия
электростатических явлений при их разработке, производстве, испытаниях, транспортировании, хране­
нии и применении при производстве электронных устройств (ЭУ). Непосредственное разрушительное
воздействие на ИМС и ПП оказывает электростатический разряд (ЭСР), который является результатом
воздействия различных электростатических явлений (накопление и релаксация зарядов, электростати­
ческое поле, ионизация и др.) на внутренние структуры компонентов. Возможные виды повреждений
от ЭСР:
     - тепловой пробой р-п-перехода;
     - возникновение в окисле пустот, нитевидных образований, испарение окисла, что приводит к за­
мыканиям. обрывам и, как следствие, к неправильной работе ИМС;
     - металлическая разводка и контакты могут плавиться и испаряться, в результате происходят за­
мыкания и отказ ИМС;
     - другие нарушения в структурах.
     Поэтому при обеспечении защиты ИМС и ПП принимают меры, связанные со снижением влияния
различных электростатических явлений, в целях недопущения возникновения ЭСР высокого уровня
воздействия. Программа защиты от ЭСР заключается в преднамеренном создании системы предвари­
тельного уравнивания электростатических потенциалов между людьми и окружающими предметами до
момента их взаимодействия друг с другом.
     Общие требования по защите изделий электроники от воздействия электростатических явлений
установлены в ГОСТ IEC 61340-5-1.
     Настоящий стандарт разработан в целях снижения вероятности отказов чувствительных к ЭСР
ИМС и ПП. связанных с воздействием ЭСР при производстве и на других этапах их жизненного цикла.
В связи с этим стандарт содержит специальные требования по защите от ЭСР. применимые в процессе
производства и применения ИМС и ПП. и ряд требований ГОСТ IEC 61340- 5-1, актуальных для всох
чувствительных к ЭСР изделий.
     В рамках общ его подхода к организации защ иты от электростатических явлений по
ГОСТ IEC 61340-5-1 предусматривается наличие в организации специальной программы ЭСР-
управления и разработка плана выполнения программы. Это позволяет устанавливать требования по
защите ИМС и ПП от электростатических явлений, которые согласованы с производственными услови­
ями и конкретными типами компонентов, реализовывать дополнительные меры защиты, которые вос­
требованы для всех применяемых и планируемых к применению типов ИМС. ПП и ЭУ. Благодаря тако­
му подходу со стороны заказчиков повышается уровень доверия к качеству электронных компонентов
и создаваемых на их основе ЭУ.
     Требования и технические средства, рассмотренные в настоящем стандарте, относятся к вопро­
сам «антистатической защиты производства». Следует иметь в виду, что защита от ЭСР в промышлен­
ности и других областях экономики не ограничивается защитой изделий электроники. В необходимых
случаях специалисты организаций уделяют внимание вопросам электростатической безопасности
(искробезопасности) взрывоопасных сред, специальных машин и комплексов. Во всех случаях, когда
возникают вопросы об области распространения стандарта и сфере ответственности персонала, реко­
мендуется учитывать систему понятий и определений, установленную в ГОСТ Р 53734.1.




IV