ГОСТ 25661-83

Групиа 971

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

УСТАНОВКИ ДЛЯ ФИНИШНОЙ ОЧИСТКИ ВОДЫ

Общие технические требования гост
25661—83

Installations for final water treatment.
General technical requirement

MKC 13,060.30
ОКП 63 6101

Дата введения 01.01.84

1. Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды (лалее — установ-
ки), предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочас-
тиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микро-
электроники 4 степени интеграции.

Пояснения терминов, применяемых в настоящем стандарте, приведены в приложении.

{Измененная редакция, Изм. № 1).

2. Очистку воды следует проводить на установке, схема которой приведена на чертеже.

3. В установку следует подавать предварительно деионизованную воду с параметрами, указанны-
ми ниже:

удельное сопротивление воды при температуре (20-2) °С, МОм см. не менее . 1.0
солержание органических вешеств noKMnOg, мг/л, небалее 2 | |S
давление Bowl, МПа ........ ote ere al a ae м, Gh aioe а 0.1—0,25

4. При подаче предварительно деионизованной воды установка должна обеспечивать производи-
тельность не менее 0,5 м?/ч.

Для получения деионизованной воды производительностью свыше 0,5 м’ /4 следует устанавливать
несколько установок и включать их параллельно.

5 4 5 6 7891 ft

el BP a sls
He af Gf

Подача bode F

1- блок подачи: 2— расходомер; 3, 5и 10 — манометры: 4 — блок фильтров. 4.1 at
4.2 — ноноабменные фильтры; 4.3 — фильтр предварительной очистки от микрочае
тии; и М — приборы для измерения удельного сопротивления воды: Ти JF —
датчики удельного сопротивлении воды; & — блок ультрафиолеговой стерилизаиии;
9 — фильлр тонкой очистки от микрочастни; 1! — потребитель: 12 — блок возврата

Примечание. При отсутствии требований х содержанию в деионизованной воде микроорганизмов
и микрочастиц из схемы установки следует исключить поз. 8—10.

Издание официальное Перепечатка воспрещена
Me 39

С. 2 ГОСТ 25661—83

5. Установка должна обеспечивать получение деионизованной воды с параметрами, указанными

ниже:
удельное сопротивление воды при температуре (2022) °С. МОм. см, ие менее . 18
содержание электролитов, мг/л, не более 2 ...- 0,02
содержание органических веществ по KMnOy, мг/л, не более... 1
число микрочастиц размером более 0,5 мкм в | мл, неболее ‚2.00, 19
число микроорганизмов, колоний в | мл, не более „сс... - pane

6. Все детали установки, соприкасающиеся непосредственно с деионизованной водой, должны
быть выполнены из материалов, не ухудшающих ее параметров.

7. В ионообменных фильтрах в качестве ионитов следует применять смесь сильноосновных анио-
нитов и сильнокиелотных катионитов в соотношении, обеспечивающем получение необходимого удель-
ного сопротивления воды.

$. Размер пор фильтра предварительной очистки от микрочастиц должен быть не более 2 мкм.

9. Размер пор фильтра тонкой очистки от микрочастиц должен быть не более 0,22 мкм.

10. Качество денонизированной воды по удельному сопротивлению следует контролировать не-
прерывно.

IL. Качество деионизованной воды на содержание микроорганизмов следует контролировать раз в
нелелю.

12. Регенерацию отработанных ионитов в ионообменных фильтрах следует проводить на отдель-
ном рабочем месте.

13. Отработанный фильтр предварительной очистки от микрочастиц и фильтр тонкой очистки
следует заменять при увеличении гидравлического сопротивления и уменьшении производительности

фильтров.

ПРИЛОЖЕНИЕ
Справочное

ПОЯСНЕНИЯ ТЕРМИНОВ, ПРИМЕНЯЕМЫХ В НАСТОЯЩЕМ СТАНДАРТЕ

Предварительно денонизованная вода — вода, прошедшая очистку методом коагуляции, электродиана-
лиза или обратного осмоса с последующей ленонизацией методом ионного обмена.

Финишная очистка NOAM — очистка предварительно дсионизованной воды методом ионного обмена с
последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте по-
требления.

Органические вешестна — вещества, присутствующие в деионизованной воде и окисляющисся в присут-
ствии перманганата калия KMnO, в кислой среде.

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по
стандартам от 03.03.83 № 1066

2. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3406—83
3. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

4. Ограничение срока действия снято по протоколу № 3—93 Межгосударственного совета по стандар-
тизации, метрологии и сертификации (ИУС 5-6—93)

5. ИЗДАНИЕ с Изменением № 1, утвержденным в июне 1988 г. (ИУС 11—88)
40