ГОСТ Р ИСО 27911-2015

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                 ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                             НАЦИОНАЛЬНЫЙ
                                                СТАНДАРТ
                                                                                   ГОСТ Р и с о
                                              РОССИЙСКОЙ                           27911     -


                                               ФЕДЕРАЦИИ                           2015




                          Государственная система обеспечения
                                  единства измерений

                       ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ
                          Сканирующая зондовая микроскопия.
                        Определение и калибровка латерального
                        разрешения ближнепольного оптического
                                     микроскопа

                                                   ISO 27911:2011
                           Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy —
                      Definition and calibration of the lateral resolution of a near-field optical
                                                     microscope
                                                         (IDT)



                                                 Издание официальное




                                                             Москва
                                                         Стандартинформ
                                                              2015




испытательный центр

Г О С Т Р ИСО 27911— 2015


                                           Предисловие

     1 ПОДГОТОВЛЕН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский на­
учно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») на основе соб­
ственного аутентичного перевода на русский язык международного стандарта, указанного в пункте 4

    2 ВНЕСЕН Техническим комитетом ТК 206. подкомитетом ПК 10 «Эталоны и поверочные схемы.
Оптико-физические средства измерений»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 12 марта 2015 г. N9 130-ст

     4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 27911:2011 «Химический ана­
лиз поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение и калибровка латерального раз­
решения ближнепольного оптического микроскопа» (ISO 27911:2011 «Surface chemical analysis —
Scanning-probe microscopy — Definition and calibration of the lateral resolution of a near-field optical
microscope»).
      При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных между­
народных стандартов соответствующие им национальные стандарты Российской Федерации, сведения
о которых приведены в дополнительном приложении ДА

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0—2012 (раздел 8).
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на
1 января текущего года) информационном указателе «Национальные стандарты». а официальный
текст изменений и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стан­
дарты». В случав пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее
уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведогллвнив и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)




                                                                            © Стандартинформ. 2015

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГО С ТРИС О 27911—2015


                                                                        Содержание

1 Область применения......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки......................................................................................................................................... 1
3 Термины и определения.....................................................................................                                                               1
4 Обозначения и сокращ ения.............................................................................................................................1
5 Основные положения......................................................................................................................................... 2
6 Измерение латерального разрешения с помощью формирования изображения очень маленького
  о б ъ екта...............................................................................................................................................................5
Приложение А (справочное) Примеры использования профиля и CdSe/ZnS квантовых точек
                  в качестве образца ....................................................................................................................8
Приложение В (справочное) Примеры технологии приготовления стандартных образцов для
                  Б С О М ......................................................................................................................................... 12
Приложение ДА (обязательное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов
                    национальным стандартам Российской Ф едерации........................................................ 13
Библиография.....................................................................................................................................................14




                                                                                                                                                                        in

Г О С Т Р ИСО 27911— 2015


                                          Введение

     Ближнепольный сканирующий оптический микроскоп (БСОМ или СБОМ) — это вид сканирующего
зондового микроскопа с оптическим источником, позволяющий достичь существенно большего про­
странственного разрешения, чем определенное дифракционным пределом Аббе. Разрешение БСОМ
обычно определяется размером апертуры. При отсутствии апертуры в БСОМ применяют в качестве
зонда заостренный световод, который используют для зондирования поверхности или молекул на по­
верхности с помощью местного рассеивания света от поверхности тестового образца или вершины све­
товода. Пространственное разрешение для рассеивающего БСОМ — это сложный параметр, поэтому
данный стандарт описывает только латеральное разрешение апертурных зоидовых БСОМ.




IV