ГОСТ Р ИСО 16243-2016

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                        ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                       НАЦИОНАЛЬНЫЙ                        ГОСТР
                                          СТАНДАРТ
                                        РОССИЙСКОЙ
                                                                           исо
                                         ФЕДЕРАЦИИ                         16243   —


                                                                           2016




                   Государственная система обеспечения
                           единства измерений

                 ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ПОВЕРХНОСТИ
               Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.
                    Регистрация и представление данных
                                         (ISO 16243:2011
                    Surface chemical analysis — Recording and reporting data
                         in X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), IDT)




                                      Издание официальное




                                                  Москоа
                                             С тандартимформ
                                                  2016




сертификация

ГОСТ РИСО 16243—2016


                                         Предисловие
     1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению
свойств поверхности и вакуума» на основе собственного аутентичного перевода на русский язык меж­
дународного стандарта, указанного в пункте 4

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 107 «Зондовая и пучковая диагности­
ка» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 1 сентября 2016 г. № 1017-ст

     4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 16243:2011 «Химический
анализ поверхности. Запись и представление данных в рентгеновской фотоэлектронной спектроско­
пии (ISO 16243:2011 «Surface chemical analysis — Recording and reporting data in X-ray photoelectron
spectroscopy (XPS)», IDT).
      Наименование настоящего стандарта изменено относительно наименования указанного между­
народного стандарта для приведения в соответствие с ГОСТ Р 1.5 (пункт 3.5).
      При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных междуна­
родных стандартов соответствующие им национальные стандарты Российской Федерации, сведения о
которых приведены в дополнительном приложении ДА

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федвралы<ого закона
кО стандартизации в Российской Федерации». Информация об изменениях к настоящему стандар­
ту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указа­
теле «Национальные стандарты», а официальный текст изменений и поправок — в ежемесячном
информационном указателе «Национальные стандарты». В случав пересмотра (замены) или от­
мены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем
выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты». Соответствую­
щая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего
пользования — на официальном сайте федерального органа исполнительной власти в сфере стан­
дартизации в сети Интернет (wmv.gost.ru)




                                                                           © Стандартинформ. 2016

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТР ИСО 16243—2016


                                                                       Содержание

1 Область применения........................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки...........................................................................................................................................1
3 Термины и определения.................................................................................................................................... 1
4 Уровни записи и представления данны х......................................................................................................... 1
  4.1 Общая информация.................................................................................................................................... 1
   4.2 Запись аналитика.........................................................................................................................................2
   4.3 Спектры..........................................................................................................................................................3
   4.4 Количественная информация....................................................................................................................3
   4.5 Профили распределения элементов по глубине....................................................................................4
  4.6 Карты и линейные сканы ............................................................................................................................ 4
  4.7 Информация о химическом состоянии..................................................................................................... 4
5 Передача данных заказчику.............................................................................................................................. 5
Приложение А (справочное) Примеры спектров............................................................................................6
Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов
               национальным стандартам Российской Федерации.........................................................10
Библиография......................................................................................................................................................11

ГОСТ РИСО 16243—2016


                                         Введение

     Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФСЭ) широко используется для анализа поверх­
ности материалов. Элементы, содержащиеся в образце (за исключением водорода и гелия), иденти­
фицируются путем измерений энергий связи электронов внутренних оболочек, с использованием фото­
электронных спектров, и далее — путем сравнения полученных результатов с табличными значениями
указанных энергий для различных элементов. Информация о химическом состоянии таких элементов
может быть получена на основе сравнения химических сдвигов и/или формы пика в изморенном энер­
гетическом спектре фотоэлектронов с данными для референтных состояний.
     Настоящий стандарт устанавливает минимальный объем информации по образцу и условиям экс­
перимента. которые должны быть включены в протокол. Результаты анализа должны быть записаны
в общепринятом формате, который должен включать в себя достаточно подробную информацию, ко­
торая позволит повторить эксперимент. Данный материал должен быть доступен, если это требуется.
     Экспериментальные условия и параметры сбора данных должны быть включены таким образом,
чтобы можно было оценить качество данных.




IV