ГОСТ Р 8.659-2009

ФЕДЕРАЛЬНОЕ А ГЕН ТС ТВ О

                                     П О ТЕ Х Н И Ч Е С К О М У Р Е ГУ Л И Р О В А Н И Ю И М Е ТР О Л О ГИ И




                                                          Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й
                                                                                                               ГО СТР
                                                                  С ТА Н Д А Р Т
                                                              РО С С И Й С К О Й
                                                                                                               8 . 659 —
                                                                Ф Е Д Е РА Ц И И                               2009




                                Государственная система обеспечения
                                        единства измерений

                            С Р Е Д С Т В А И З М Е РЕ Н И Й Х А Р А К Т Е Р И С Т И К
                                УЛ Ь Т Р А Ф И О Л Е ТО В О ГО И ЗЛ УЧ ЕН И Я
                               ПРИ ТЕ Х Н О Л О ГИ Ч Е С К О М КО Н ТРО Л Е
                                      В Н А Н О Ф О ТО Л И ТО ГРА Ф И И

                                                   Методика поверки


                                                          Издание оф ициальное




                                                                         Москва
                                                                     Стандартинформ
                                                                           2019




уровень шума оборудования

Г О С Т Р 8.659— 2009


                                              П редисловие

     1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский науч­
но-исследовательский институт оптико-физических измерений» (Ф ГУ П В Н И И О Ф И )

     2 В Н Е С Е Н Научно-техническим управлением Федерального агентства по техническому регулиро­
ванию и метрологии

     3 У ТВ Е Р Ж Д Е Н И В В ЕД Е Н В Д Е Й С Т В И Е Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 15 декабря 2009 г. № 972-ст

     4 В В ЕД Е Н ВПЕРВЫ Е

     5 П ЕР ЕИ З Д А Н И Е . Апрель 2019 г.




        Правила применения настоящ его с т а н д а р т а установлены в с т а т ь е 26 Фсдоралыю го закона
о т 29 июня 2015 г. No 162-ФЗ « О ста нда ртиза ци и в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящ ем у с т а н д а р т у публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января те к ущ е го
года) информациотюм указателе «Национальные с т а н д а р т ы », а официальный т е к с т изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные с т а н д а р т ы ». В случае
пересмотра (замены) или отм ены настоящ его с т а н д а р та с о о тв е тс тв у ю щ е е уведомление б у д е т
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
с т а н д а р т ы ». С о о тв е тс тв у ю щ а я информация, уведомление и т е к с т ы размещаются такж е в ин­
формационной систем е общего пользования — на официальном с а й т е Федерального а г е н т с т в а по
техническому регулированию и м е трологии в с е ти И н т е р н е т (www.gost.ru)




                                                             © Стандартинформ. оформление. 2010. 2019

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии
II

Г О С Т Р 8.659— 2009


                                                                           Содержание

1 Область применения..................................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки..................................................................................................................................................... 1
3 Операции поверки ........................................................................................................................................................ 2
4 Средства поверки .............................................................................................                                                                2
5 Требования к квалификации поверителей............................................................................................................. 2
6 Требования безопасности....................................................                                                                                                   3
7 Условия поверки.............................................................................................................................................................3
8 Подготовка и проведение поверки.................. «....................................................................................................... 3
9 Обработка результатов измерений...............                                                                                                                                9
10 Оформление результатов поверки..........................................................................................................................9
Библиография...................................................................................................................................................................10

ГО СТ Р 8.659— 2009


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й              С Т А Н Д А Р Т           Р О С С И Й С К О Й              Ф Е Д Е Р А Ц И И




                      Государственная система обеспечения единства измерений

          С Р Е Д С Т В А И ЗМ ЕРЕН ИЙ Х А Р А К ТЕ Р И С ТИ К У Л Ь Т Р А Ф И О Л Е Т О В О Г О И ЗЛУЧ ЕН И Я
                   ПРИ Т Е Х Н О Л О ГИ Ч Е С К О М К О Н Т Р О Л Е В Н А Н О Ф О Т О Л И Т О Г Р А Ф И И

                                                Методика поверки

   State system for ensuring the uniformity of measurements. Instruments measuring the characteristics of ultraviolet
                    radiation of technological testing of nanophotolitography. Verification procedure



                                                                                      Дата введения — 2011— 01— 01


     1 О бл асть применения

       Настоящий стандарт распространяется на сродства измерений (С И ) характеристик ультрафио­
летового излучения (УФ-излучение), используемые при технологическом контроле в нанофотолитогра­
фии. и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
       Средства измерений характеристик УФ-излучения при технологическом контроле в нанофотоли­
тографии обеспечивают измерения в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм следующих характеристик
УФ-излучателей:
       - энергетической яркости в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не бо­
лее 103 Вт/(м2 ср). верхняя — не менее 108 Вт/(м2 ср);
       -си лы излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более
1 0 '3 Вт/ср. верхняя — не менее 102 Вт/ср.
       Методы оценки погрешностей С И характеристик УФ-излучения при технологическом контроле в
нанофотолитографии, представленные в настоящем стандарте, соответствуют рекомендациям № 53
Международной комиссии по освещению [1].
       Межповерочный интервал — не более одного года.


     2 Н ормативны е ссы лки

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     Г О С Т 8.197 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная пове­
рочная схема д л я средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектральной
плотности потока излучения, спектральной плотности энергетической освещенности, спектральной
плотности силы излучения, потока и силы излучения в диапазоне длин волн 0.001— 1.600 мкм
     Г О С Т 8.552 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная пове­
рочная схема д л я средств измерений потока излучения, энергетической освещенности, спектральной
плотности энергетической освещенности в диапазоне дли н волн 0.0004— 0.400 мкм
     Г О С Т Р 8.736 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые
многократные. Методы обработки результатов измерений. Основные положения
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных
стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю «Н а­
циональные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесяч­
ного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт,
на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта



Издание официальное
                                                                                                                        1