ГОСТ Р 8.643-2008

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                                    ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                                               НАЦИОНАЛЬНЫЙ
                                                                                                 ГОСТР
                                                                  СТАНДАРТ
                                                                РОССИЙСКОЙ                       8.643—
                                                                 ФЕДЕРАЦИИ                       2008




                                                 Государственная система обеспечения
                                                         единства измерений

                                                РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО
                                                 УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
                                                В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 10—30 нм

                                                             Методика поверки



                                                                Издание официальное




                                       Я
                                       го
                                       £
                                       О



                                            I
                                       о

                                      <*>
                                      ш




                                                                      С я щ фпифири
                                                                           ас*




класс энергетической эффективности здания

ГОСТ Р 8.643—2008

                                       Предисловие
     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. N» 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский
научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)

     2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и
метрологии
     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 2 июня 2008 г. No 113-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в еже­
месячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмот­
ра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты».
Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной
системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                      © Стандартинформ. 2008

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

и

ГОСТ Р 8.643—2008


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й              С Т А Н Д А Р Т           Р О С С И Й С К О Й            Ф Е Д Е Р А Ц И И


                     Государственная система обеспечения единства измерений

           РЕФЛЕКТОМЕТРЫ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
                         В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН 10—30 нм

                                               Методика поверки

                              State system for ensuring the uniformity of measurements.
        Reflectometers for extreme ultraviolet radiation in 10— 30 nm wave-tength range. Venfication procedure



                                                                                    Д ата введения — 2009— 02— 01



     1 Область применения

      Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и
диффузного отражений вдиапазонеэкстремальногоультрафиолетового(ЭУФ)излучения — ЭУФ-реф-
лектометры. используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффуз­
ного отражений от 0.01 до 0.7 в диапазоне длин волн 10 — 30 нм (далее — ЭУФ-рефлектометры). и
устанавливает методику их поверки.
      Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне ЭУФ проводят для
определения эффективности зеркал и дифракционных решеток при контроле технологических процес­
сов формирования многослойных наноструктур.
      В качестве источников ЭУФ-излучсния используют источники синхронного излучения, переходно­
го излучения и излучатели типа плазменный фокус. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют
кремниевые фотодиоды с многослойными нанопокрытиями, вторичные электронные умножители и
канальные электронные умножители.
      Межповерочный интервал — не более одного года.

     2 Нормативные ссылки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ 8.197—2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен­
ная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапа­
зоне длин волн от 0.04 до 0.25 мкм.
     ГОСТ 8.207— 76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения
с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
     ГОСТ 8.552—2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен­
ная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диа­
пазоне длин волн от 0,03 до 0.40 мкм
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч-
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информа­
ционному указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и
по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году.
Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководство­
ваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в
котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.




Издание оф ициальное

                                                                                                                  1

ГОСТ Р 8.643—2008

     3 Операции поверки
     При проведении поверки выполняют операции:
     - внешний осмотр (8.1);
     - опробование (8.2):
     - определение метрологических характеристик (8.3);
     - определение предела допускаемой погрешности ЭУФ-рефлектометров при измерении коэффи­
циента зеркального отражения (8.3.1 );
     - определение предела допускаемой погрешности ЭУФ-рефлектометров при измерении коэффи­
циента диффузного отражения (8.3.2).
     Выполнение указанных операций при первичной и периодической поверках является обязатель­
ным.

    4 Средства поверки
     При проведении операций поверки по 8.3.1 и 8.3.2 ЭУФ-рефлектометров применяют следующее
средство поверки;
     -установку для измерений коэффициента линейности чувствительности фотоприемников
ЭУФ-рефлектометров в составе рабочего эталона по ГОСТ 8.197 и ГОСТ 8.552. включающую в себя
источники ЭУФ-излучения, спектральный компаратор и набор нейтральных ослабителей. Суммарное
среднее квадратическое отклонение (СКО) указанной установки — 5 %.

     5 Требования безопасности
     При поверке ЭУФ-рефлектометров соблюдают правила электробезопасности. Измерения должны
проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие
инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электроустановок.

     6 Требования к квалификации поверителей
     Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с
ЭУФ-рефлектометрами и используемыми средствами поверки, изучившие настоящий стандарт и экс­
плуатационные документы на средства поверки и ЭУФ-рефлектометры.

     7 Условия поверки
    При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:
    - температура окружающего воздуха.............................. (20 ± 5) °С;
    - относительная влажность в о зд у х а .............................. (65 i. 15) %;
    -атмосф ерноедавление................................................. о т 84 до 104 кПа;
    - напряжение питающей сети........................................... (220 i 4) В;
    - частота питающей с е т и ................................................. (50 ± 1) Гц.

     8 Подготовка и проведение поверки

     Поверка ЭУФ-рефлектометров включает в себя подготовку к поверке, внешний осмотр, опробова­
ние и определение метрологических характеристик. При подготовке к поверке ЭУФ-рефлектометров
необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.
     8.1 Внешний осмотр
     При внешнем осмотре должны быть установлены:
     - соответствие комплектности ЭУФ-рефлектометров паспортным данным:
     - отсутствие механических повреждений блоков ЭУФ-рефлектометров. сохранность соединитель­
ных кабелей и сетевых разъемов;
     - четкость надписей на панели ЭУФ-рефлектометров:
     - наличие маркировки (тип и заводской номер ЭУФ-рефлектометров);
     - отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях ЭУФ-рефлектометров.
2