ГОСТ Р 8.640-2008

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                              ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                                          НАЦИОНАЛЬНЫЙ                     ГОСТР
                                                             СТАНДАРТ
                                                           РОССИЙСКОЙ
                                                                                           8 . 640—
                                                            ФЕДЕРАЦИИ                      2008




                                           Государственная система обеспечения
                                                   единства измерений

                                          РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО
                                              ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ КОНТРОЛЯ
                                            ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
                                                 В ФОТОЛИТОГРАФИИ

                                                      Методика поверки


                                                          Издание официальное




                                   со
                                   го




                                                                     2Ю




программа переселения соотечественников

ГОСТ Р 8.640—2008


                                       Предисловие

      Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом
от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведония о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский на­
учно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП ВНИИОФИ)

     2 ВНЕСЕН Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и
метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 26 марта 2008 г. № 60-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе «Националь­
ные стандарты», а текст изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых информационных ука­
зателях «Национальные стандарты». В случав пересмотра (замены) или отмены настоящего
стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом инфор­
мационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление
и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном
сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                      © Стандартинформ. 2008

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

и

ГОСТ Р 8.640—2008


                                                                      Содержание

1 Область применения......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки......................................................................................................................................... 1
3 Операции п о в е р ки ............................................................................................................................................ 1




                                                                                                                                                                   СМ СМ СМ СО СО О ) О)
4 Средства поверки.
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности.........................
7 Условия п о в е р ки .........................................
8 Подготовка и проведение поверки . . . .
9 Обработка результатов измерений . . . .
10 Оформление результатов поверки . . .
Приложение А (обязательное) Характеристики радиометров УФ-излучения......................................... 10
Библиография.....................................................................................................................................................10




                                                                                                                                                                  in

ГОСТ Р 8.640— 2008


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                  С Т А Н Д А Р Т            Р О С С И Й С К О Й              Ф Е Д Е Р А Ц И И


                            Государственная система обеспечения единства измерений

     РАДИОМЕТРЫ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ
                        ПРОЦЕССОВ В ФОТОЛИТОГРАФИИ

                                                    Методика поверки

       State system for ensuring th e uniform ity of m easurem ents. R adiom eters o f ultraviolet radiation measurem ents
                         fo r photolithography technological processes testing. V erification m ethods



                                                                                           Д ата в в е д е н и я — 2009— 01— 01




        1 Область применения
     Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультра­
фиолетового (УФ) излучения — радиометры УФ-излучения. используемые в фотолитографии (далее —
радиометры УФ-излучения), и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
     Технологические УФ-излучатели применяют для фотолитографии при создании высоких уровней
УФ-освещенности в микро- и наноэлектронике. Средства измерений характеристик УФ-излучения в фо­
толитографии обеспечивают в диапазоне длин волн от 0,01 до 0,25 мкм измерения энергетической
освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,1 Вт/м2. вер­
хняя — не менее 100 Вт/м2.
     Методы оценки погрешностей радиометров УФ-излучения, представленные в настоящем стан­
дарте. соответствуют рекомендациям № 53 Международной комиссии по освещению [1].
     Межповерочный интервал — не более одного года.

        2 Нормативные ссы лки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ 8.207—76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения
с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения
     ГОСТ 8.552—2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная
поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазо­
не длин волн от 0.03 до 0,40 мкм
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящ им стандартом целесообразно проверить действие ссы лоч­
ных стандартов в инф ормационной системе общ его пользования — на оф ициальном сайте Ф едерального
агентства по техническом у регулированию и метрологии в сети И нтернет или по е ж егодно издаваемому инф орма­
ционном у указателю «Н ациональны е стандарты », которы й опубликован по состоянию на 1 января текущ его года, и
по соответствую щ им ежемесячно издаваемы м инф ормационным указателям , опубликованны м в текущ ем году.
Если ссылочны й стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящ им стандартом следует руководство­
ваться заменяю щ им (изм ененны м ) стандартом. Если ссылочны й стандарт отменен без замены , то положение, в ко­
тором дана ссы лка на него, применяется в части, не затрагиваю щ ей эту ссылку.


        3 Операции поверки
        При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.



И зд ани е о ф и ц и а л ь н о е

                                                                                                                             1