ГОСТ Р 8.627-2007

Ф Е Д Е РА Л Ь Н О Е А ГЕН ТСТ ВО

                                                                   ПО ТЕХН ИЧ ЕСКО М У РЕГУЛ И РО В АН И Ю И МЕТРОЛОГИИ




                                                                                Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                   ГОСТР
                                                                                     С Т А Н Д А Р Т                      8 . 627—
                                                                                  Р О С С И Й С К О Й                     2007
                                                                                   Ф Е Д Е Р А Ц И И




                                                            Государственная система обеспечения единства
                                                                             измерений

                                     ИЗМЕРЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТОВ ЗЕРКАЛЬНОГО
                                      И ДИФФУЗНОГО ОТРАЖЕНИЯ В ДИАПАЗОНЕ
                                         ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО
                                                   ИЗЛУЧЕНИЯ
                                                                  Методика выполнения измерений

                                                                                  Издание оф ициальное




                                        С**
                                        Я
                                        vd
                                        §
                                        гм
                                        Л
                                        <*>
                                        ш



                                                                                            С тщ цти ф орм
                                                                                                  т т




энергосбережение и повышение энергетической эффективности

ГО СТ Р 8.627— 2007

                                             П р е д и сл о в и е

     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГО СТ Р 1.0— 2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБО ТАН Федеральным Государственным унитарным предприятием «Всероссийский
научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)

     2 В Н Е С Е Н Управлением метрологии Федерального агентства по техническому регулированию и
метрологии

     3 УТВЕРЖ ДЕН И ВВЕДЕН В Д ЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регу­
лированию и метрологии No 26-ст от 28 февраля 2007 г.

     4 ВВЕДЕН В П ЕРВ Ы Е



       Информация об изменениях к настоящ ем у с т а н д а р т у публикуется в указателе «Национальные
стандарты » , а т е к с т изменений и поправок — в ежемесячно издаваемых информационных у ка за те­
лях «Национальные с т а н д а р т ы ». В случав пересмотра (замены) или о тм е н ы н астоящ его стан дар­
т а с о о тв е т с т в у ю щ е е уведомление б у д е т опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном
указателе «Национальные ста н д а рты » . С о о т в е т с т в у ю щ а я информация, уведомление и т е к с т ы
размещ аю тся такж е в информационной си ст е м е общего пользования — на официальном с а й т е
Федералыюго а г е н т с т в а по техническому регулированию и метрологии в с е т и И н т е р н е т




                                                                                © Стандартинформ. 2007

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

и

Г О С Т Р 8.627— 2007


 Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                                   С Т А Н Д А Р Т                       Р О С С И Й С К О Й                              Ф Е Д Е Р А Ц И И


                                  Государственная система обеспечения единства измерений

  И ЗМ ЕРЕН И Е КО ЭФ Ф ИЦ ИЕН ТО В ЗЕ РК А Л ЬН О ГО И Д И Ф Ф УЗН О ГО ОТРАЖ ЕН ИЯ В Д И АП АЗО Н Е
                        ВАКУУМ Н ОГО УЛЬТРАФ И О Л ЕТО ВО ГО ИЗЛУЧЕНИЯ

                                                           Методика вы полнения измерений

                                               S ta te s y s te m to r e n s u rin g th e u n ifo rm ity o f m e a s u re m e n ts .
      M e a s u re m e n t o f c o e ffic ie n ts o f re g u la r a n d d iffu s e tra s rm tta n ce o f u ltra v io le t ra d ia tio n . M e th o d s fo r m e a s u re m e n ts



                                                                                                                                   Д а т а в в е д е н и я — 2 0 0 7 — 0 7 — 01


          1 О б л а с т ь пр им енени я

      Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зер­
кального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового {далее — ВУФ) излуче­
ния, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов
отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических
процессов в микроэлектронике.

         2 Н орм ативны е ссы лки

      В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
      ГО СТ 8.195—89 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная
поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости, спектраль­
ной плотности силы излучения и спектральной плотности энергетической освещенности в диапазоне
длин волн 0.25 -2 5 .0 0 мкм; силы излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн
0.2 - 25.0 мкм
      ГО СТ 8.197— 2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен­
ная поверочная схема для средств измерений спектральной плотности энергетической яркости в диапа­
зоне длин волн от 0,04 до 0.25 мкм
      ГО СТ 8.207— 76 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измере­
ния с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положе­
ния
      ГОСТ 8.552— 2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Государствен­
ная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диа­
пазоне длин волн от 0.03 до 0,40 мкм
           П р и м е ч а н и е — П ри п о п ьзо ван и и н а сто ящ и м стан д арто м ц е п е со о б р а зн о провер ить д е й ств и е ссы л о ч -
н ы х с т а н д а р т о в в и н ф о р м а ц и о н н о й с и с т е м е о б щ е г о п о л ь з о в а н и я — на о ф и ц и а л ь н о м с а й т е Ф е д е р а л ь н о г о
аген тств а по те хн и ч еско м у р егул ир овани ю и м етрол оги и в се ти И н тер н ет и ли по еж егодно и зд а в а е м о м у и н ф о р м а ­
ц и о н н о м у у к а з а т е л ю « Н а ц и о н а л ь н ы е с т а н д а р т ы » , к о т о р ы й о п у б л и к о в а н п о с о с т о я н и ю н а 1 я н в а р я т е к у щ е го го д а , и
п о с о о т в е т с т в у ю щ и м е ж е м е с я ч н о и з д а в а е м ы м и н ф о р м а ц и о н н ы м у к а з а т е л я м , о п у б л и к о в а н н ы м в т е к у щ е м год у.
Е с л и с с ы л о ч н ы й с т а н д а р т з а м е н е н (и з м е н е н ), то п р и п о л ь з о в а н и и н а с т о я щ и м с т а н д а р т о м с л е д у е т р у к о в о д с т в о ­
в а т ь с я з а м е н е н н ы м (и з м е н е н н ы м ) с т а н д а р т о м . Е с л и с с ы л о ч н ы й с т а н д а р т о т м е н е н б е з з а м е н ы , т о п о л о ж е н и е , в
к о т о р о м д а н а с с ы л к а н а н е го , п р и м е н я ю т в ч а с т и , н е з а т р а г и в а ю щ е й э т у с с ы л к у .


         3 Т р е б о в а н и я к п о гр е ш н о сти изм ер ений

     Предел допускаемой погрешности результатов измерений коэффициента зеркального отражения
не превышает 10 % в диапазоне длин волн 0,12 + 0.20 мкм и 15% в диапазоне длин волн 0.03 + 0.12мкм.

И здание о ф и ц и ал ьн о е

                                                                                                                                                                                     1

ГО СТ Р 8.627— 2007

     Предел допускаемой погрешности результатов измерений коэффициента диффузного отражения
не превышает 15% в диапазоне длин волн 0.12 * 0.20 мкм.

     4 С р е д с т в а изм ер е н и й и в с п о м о га т е л ь н ы е у стр о й ств а

      При выполнении измерений в диапазоне значений коэффициентов зеркального и диффузного
отражения от 0.01 до 0.99 применяют следующие средства измерений и вспомогательные устройства:
      - ВУФ рефлектометры, например рефлектометр — монохроматор ВМР-2 в диапазоне длин волн
0,03 -г 0.20 мкм;
      - комплект светофильтров на основе фтористого магния, кварцевого стекла КУ-1, увиолевого стек­
ла УТ-49;
      - сетчатый нейтральный ослабитель.

     5 М ето д изм ер е н и й

     Метод измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения ВУФ излучения основан
на прямых измерениях при преобразовании потока излучения в электрический сигнал при выполнении
условий спектральной и угловой коррекции чувствительности фотопреобразователя. ВУФ рефлекто­
метры для измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения должны быть поверены в
соответствии с ГО СТ 8.195. ГО СТ 8.197 и ГО СТ 8.552.

     6 Т р е б о в а н и я б е зо п а сн о сти

     При проведении измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения ВУФ излучения
необходимо соблюдение правил электробезопасности. Измерения должны выполнять два оператора,
аттестованных на право проведения работ по группе электробезопасности не ниже III и прошедших
инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок. При
работе с источниками ультрафиолетового (УФ) излучения необходимо использовать средства защиты
персонала от УФ излучения — защитные очки.

     7 Т р е б о в а н и я к к в а л и ф и к а ц и и о п е р а то р о в

     К измерениям коэффициентов зеркального и диффузного отражения ВУФ излучения допускаются
лица, освоившие работу с рефлектометрами и изучившие настоящий стандарт.

     8 У с л о в и я изм ер е н и й
     8.1 При проведении измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения ВУФ излу­
чения соблюдают следующие условия;
     - т е м п е р а т у р а о к р у ж а ю щ е г о в о з д у х а . ' С ....................................... .......................................................... 2 0 г 5
     - о т н о с и т е л ь н а я в л а ж н о с т ь в о з д у х а . % .................................................................................................. 6 5 £ 15
     - а т м о с ф е р н о е д а в л е н и е . к П а ..................................................................................................... < . . , « . 8 4 — 104
     - н а п р я ж е н и е п и т а ю щ е й с е т и . В ................................................................................................................ 2 2 0 ± 4
     - ч а с т о т а п и т а ю щ е й с е т и . Г ц ....................................................................................... .. .............................. 5 0 ± 1.
     8.2      При подготовке к проведению измерений коэффициентов зеркального и диффузного отраже­
ния ВУФ излучения необходимо включить все приборы в соответствии с инструкциями по эксплуатации.

     9 П о д го то в к а и п р о в е д е н и е изм ер е н и й
      При подготовке к проведению измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения
ВУФ излучения необходимо подготовить к работе и включить рефлектометр в соответствии с инструкци­
ей по эксплуатации.
      Для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения ВУФ излучения выполняют
следующие операции:
      9.1 Внешний осмотр
      При внешнем осмотре должны быть установлены:
      - соответствие комплектности ВУФ рефлектометров паспортным данным;
      - отсутствие механических повреждений блоков ВУФ рефлектометров;
2