ГОСТ Р 71994-2025

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                            ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                         НАЦИОНАЛЬНЫЙ                    ГОСТР
                                               СТАНДАРТ
                                            РОССИЙСКОЙ
                                                                         71994   —


                                             ФЕДЕРАЦИИ                   2025




                           СИСТЕМЫ ПОДГОТОВКИ ВОДЫ
                       ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ


                                         Издание официальное




                                                 Москва
                                    Российский институт стандартизации
                                                   2025




сертификат на краску

ГОСТ Р 71994—2025


                                       Предисловие
      1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом «НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ        КОМПАНИЯ
МЕДИАНА-ФИЛЬТР» (АО «НПК МЕДИАНА-ФИЛЬТР») (разработчики В.Б. Смирнов, С.И. Якименко,
Д.Д- Ганин, Д.А. Сафонова, А.А. Смирнов)

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной чи­
стоты»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 20 марта 2025 г. № 192-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)




                                          © Оформление. ФГБУ «Институт стандартизации», 2025

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 71994—2025


                                                                          Содержание
1 Область пр и м е н е н и я ..................................................................................................................................................1
2 Нормативные с с ы л ки ..................................................................................................................................................1
3 Термины, определения и с о кр а щ е н и я .................................................................................................................. 2
4 Классификация воды для производства электронной т е х н и к и ......................................................................4
5 Технологии производства ультрачистой в о д ы ................................................................................................... 14
6 Принципы проектирования системы водоподготовки У Ч В .............................................................................18
7 Монтаж системы У Ч В ............................................................................................................................................... 27
8 Ввод в эксплуатацию и аттестация системы У Ч В ............................................................................................ 29
9 Эксплуатация и техническое о б с л у ж и в а н и е ..................................................................................................... 32
Приложение А (рекомендуемое) Расчет содержания частиц в воде при их нормальном
             распределении.................................................................................................................................. 36
Приложение Б (обязательное) Тестирование ионообменных смол на эмиссию
             остаточной органики, металлов и частиц вультрачистую в о д у .......................................... 38
Приложение В (обязательное) Примеры схем получения подпиточной (сверхчистой) в о д ы .................. 45
Приложение Г (обязательное) Примеры схем получения и распределения У Ч В ...................................... 46
Приложение Д (обязательное) Повторное использование воды .....................................................................47
Приложение Е (рекомендуемое) Эксплуатационные характеристики расходных м а те р и а л о в ............. 50
Приложение Ж (обязательное) Параметры исходной в о д ы ............................................................................52
Приложение И (обязательное) Резервирование оборудования системы водоподготовки...................... 53
Приложение К (рекомендуемое) Требования к составу полимерных материалов,
             соприкасающихся с У Ч В ................................................................................................................ 58
Б ибл иограф ия..............................................................................................................................................................60

ГОСТ Р 71994—2025


                                          Введение
     Производство электронной техники в России включает изготовление интегральных схем, различ­
ных полупроводниковых приборов, продукцию оптоэлектроники и др. Все эти производства требуют
систем водоподготовки, выполненных из специальных материалов и позволяющих получать ультрачи-
стую воду. При этом удельное потребление ультрачистой воды на единицу продукции очень велико. На­
пример, для изготовления одной 8-дюймовой (200 мм) кремниевой пластины для производства около
100 чипов может потребоваться до 7500 л воды, причем около двух третей воды должно быть ультра-
чистого качества.
     В настоящем стандарте приведена классификация ультрачистой воды для современного массо­
вого производства изделий микроэлектроники, а также представлены схемы ее получения и распре­
деления. Стандарт является отправной точкой для проектных организаций, монтажа, эксплуатации и
экспертизы таких объектов строительства или реконструкции. Настоящий стандарт является первым
отечественным стандартом, который регламентирует методы аналитического контроля, выбор мате­
риалов, организацию производства ультрачистой воды для промышленного и опытного производства
изделий микроэлектроники.




IV