ГОСТ 25663-83

ГОСТ 25663—83

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ

МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

Издание официальное

Москва
Стандартинформ
2010

УДК 621.521:006.354 Группа Г82

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Оборудование вакуумное

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ ГОСТ

Методы испытаний 25663—83

Vacuum equipment.
Mechanical vacuum pumps. Test methods
MKC 23.160
ОКП 62 9448

Дата введения 01.01

Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного дей-
ствия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования ‚для производства изде-
лий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создаю-
щие на входе давление менее 1000 Па, и ‘устанавливает методы измерения предельного остаточного
‘давления и быстроты действия.

Стандарт полностью соответствует CT СЭВ 3409—81.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения — по ГОСТ 5197 и
ГОСТ 26790.

{Измененная редакция, Изм. № 1, 2).

1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ

1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на откачивании газа из спе-
циальной измерительной камеры испытуемым насосом с последующим измерением давления в ка-
мере через равные промежутки времени при постоянной температуре.

1.2. Испытательная установка представлена на черт. 1.

1.3. Измерительная камера представлена на черт. 2.

ГА,
== x es
a \3

wal \\.

150.

bf

8.50

1 - испытуемый насос: 2— измерительная каме 1 направление потока газа: 2— навускная труб-
ра: 2 измерительные преобразонатели давле- ка: 3— место подсоединения измерительного пре-
ния: 4 — натекатель: 5— напускная трубка образователя давления
Черт. 1 Черт. 2
Издание официальное Перепечатка воспрещена

© Издательство стандартов, 1983
© СТАНДАРТИНФОРМ, 2010

С. 2 ГОСТ 25663—83

Объем измерительной камеры, дм?, определяют по формуле
_ 605

nt

Vo2sv,. (И

ae , (ly
где 5 — ожидаемая быстрота действия испытуемого насоса, дм*/с;
п — число оборотов в минуту, мин-!;
{ — число циклов в каждом обороте;
V,. — объем газа, всасываемого за один цикл компрессии, AM.
1.3.1. Объемы и диаметры измерительных камер приведены в таблице.

Vgc. дм Vy. дм 0, мм

До 0.26 1,3 100

Св. 0,26 » 1,10 5.5 160
» 110» 4,20 21,0 250
» 4,20 = 17,00 83,0 400
> 17,00 » 65,00 325,0 630
* 65,00 +» 260,00 1300.0 1000

1.3.2. Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланца насоса.

1.3.3. Поток газа. напускаемого в измерительную камеру, должен быть направлен строго по
оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры на расстоянии от него, равном
диаметру камеры.

2

1.3.4. Измерительные преобразователи давления должны
быть расположены на расстоянии 0,5 диаметра камеры от вход-
ного фланца камеры.

1.3.5. Соединение измерительной камеры с испытуемым
насосом допускается осуществлять с помошью переходника,
представленного на черт. 3.

1.4. Вакуумметры. используемые для измерения давления
в измерительной камере, должны обеспечивать измерения с от-
носительной погрешностью не более:

+7 % — при измерении давлений свыше 1 Па;

215% › > © вдиапазоне 1—10"° Па.
T= диаметр входного arnepenta Mente 1.5. Измерители потоков газов должны обеспечивать из-
мого насоса мерение с допускаемыми погрешностями:
+3 % — для потоков более 1 Вт;
Черт. 3 25% ° » or I ao 10-4 Br;

210% © » менее 10 4 Br.
1.6. В качестве газа для испытаний следует применять сухой воздух или другой сухой газ.
1.7. Перед сборкой установки все поверхности. находящиеся в вакууме, должны быть очище-
ны и обезжирены.
1.8. Перед началом измерения должна быть проверена герметичность испытательной уста-
новки. Допускаемый поток натекания из атмосферы не должен превышать значения

0. <5.10-$.Р,-5,, (2)

тде P, — предельное остаточное давление, Па;
$- номинальная быстрота действия насоса, дм?/с;
О.„. — лопускаемый поток натекания, Вт.
1.9. Измерение должно быть проведено при следующих климатических условиях:
температура окружающей среды 15 *С—25 °C с колебаниями не более +1 °С;
относительная влажность не более 80 % при температуре 25 °С;
атмосферное давление 8 . 10*— 1. 105 Па.

1.10. Проведение измерения
Предельное ‘остаточное давление следует измерять в последовательности, приведенной ниже:

ГОСТ 25663—83 С. 3

включить испытуемый насос (черт. 1) и вывести его на рабочий режим согласно инструкции
по эксплуатации:

откачать из измерительной камеры газ при закрытом натекателе до установления в ней пре-
дельного остаточного давления.

Предельное остаточное давление считают установленным, если в течение 1 ч давление на вхо-
де в насос меняется в пределах погрешности измерительного прибора (п. 1.4).

Давление следует измерять измерительными преобразователями давления не реже чем через
каждые 30 мин.

1.11. Оформление результатов измерения

Результаты измерения оформляют протоколом, в который заносят: объект, условия и метод
испытаний, аппаратуру, результаты измерений и заключение.

2. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ БЫСТРОТЫ ДЕЙСТВИЯ

2.1. Метод основан на установлении некоторого постоянного давления на входе в насос при
создании определенного потока газа через натекатель в измерительную камеру, измерении значе-
ния этого потока и давления на входе в насос и вычислении быстроты действия насоса.

2.2. Аппаратура — по пи. 1.2, 1.3, 1.4, 1.5.

2.3. Подготовка к измерению -— по пи. 1.7, 1.3.

2.2, 2.3. (Измененная редакция, Изм. № 2).

2.4. Быстроту действия насоса следует измерять при постоянном давлении на входе в насос,
создающемся при определенном потоке газа, в последовательности, приведенной ниже:

включить испытуемый насос (черт. 1) и откачать из измерительной камеры газ до предельного
остаточного давления (п. 1.10);

если необходимо измерить быстроту действия насоса только для одного значения давления, из
измерительной камеры откачивают газ до давления, равного 0,05 P, (rae Р, — давление на входе в
насос, при котором требуется измерить быстроту действия испытуемого насоса);

не прекрашая откачки, установить в измерительной камере с помошью натекателя давление
Py. Давление считают установленным, если результаты трех последовательных измерений, прове-
денных с интервалом не менее 60 с, не отличаются более чем на 10 %;

олновременно с измерением давления P, необходимо измерять поток газа о, поступающий в
измерительную камеру через натекатель;

вычислить значение быстроты действия насоса, A/c, при залаином давлении по формуле

(3)

Быстроту действия насоса следует измерять при различных значениях давления, проводя не
менее трех измерений в каждом десятичном диапазоне (приблизительно для значений 2.5; 5; 10).
Измерение следует начинать с самого низкого давления.

2.5. Обработка результатов измерения

Зависимость быстроты действия насоса от давления следует изобразить графически: на лога-
рифмическую ось абсцисс нанести значения давлений, а на линейную ось ординат — соответствую-
щие значения быстроты действия.

2.6. Протокол испытаний — по п. 1.11.

ПРИЛОЖЕНИЕ. (Исключено, Изм. № 2).