ГОСТ Р ИСО 22309-2015

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                     ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                               НАЦИОНАЛЬНЫЙ                      ГОСТ Р и с о
                                                  СТАНДАРТ
                                                РОССИЙСКОЙ
                                                                                 22309—
                                                 ФЕДЕРАЦИИ                       2015



                       Государственная система обеспечения единства
                                        измерений

                        МИКРОАНАЛИЗ ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫ Й

                          Количественный анализ с использованием
                          энергодисперсионной спектрометрии для
                       элементов с атомным номером от 11 (Na) и выше

                                                    ISO 22309:2011
                          Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive
                       spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above
                                                         (IDT)




                                                   Издание официальное




                                                          Стждартш фщм
                                                               2Q1§




ошибка в сертификате

Г О С Т Р И С О 22309— 2015


                                           Предисловие
     1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению
свойств поверхности и вакуума» на основе собственного аутентичного перевода на русский язык англо­
язычной версии стандарта, указанного в пункте 4

    2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 107 «Зондовая и пучковая диагностика»
Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 6 июля 2015 г. No 877-ст

      4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 22309:2011 «Микроанализ
электронно-зондовый. Количественный анализ с использованием энергодисперсионной спектроме­
трии для элементов с атомным номером от 11 (Na) и выше» {ISO 22309:2011 «Microbeam analysis —
Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11
(N a)or above»).
      При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных междуна­
родных стандартов соответствующие им национальные стандарты Российской Федерации и межгосу­
дарственные стандарты, сведения о которых приведены в дополнительном приложении ДА

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



     Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0—2012 (раздел 8).
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на
1 января текущего года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный
текст изменений и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные
стандарты» . В случав пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее
уведомление будет опубликовав в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя
«Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются
также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)




                                                                              © Стандартинформ. 2015

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии
II

ГОСТР ИСО 22309—2015


                                                                     Содержание
1 Область применения........................................................................................................................................ 1
2 Нормативные ссылки........................................................................................................................................2
3 Термины и определения...............................................................................                                                      2
4 Подготовка образца..........................................................................................................................................5
5 Предварительные меры предосторожности..................................................................................................6
6 Проведение анал иза...........................................................................                                                                 7
7 Предварительная обработка данных . . ............................................                                                                              8
Приложение А (справочное) Анализ элементов с атомным номером менее 1 1 .................................... 13
Приложение В (справочное) Идентификация/наложение пиков................................................................ 14
Приложение С (справочное) Соответствие пиков спектра элементам обр а зц а.................................... 15
Приложение D (справочное) Факторы, влияющие на неопределенность результатов измерений.. . . 16
Приложение Е (справочное) Пример данных по воспроизводимости измерений внутри
             лаборатории и между несколькими лабораториями.......................................................... 17
Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных
               стандартов ссылочным национальным стандартам Российской Федерации.............18
Библиография.................................................................................................................................................... 19

Г О С Т Р И С О 22309— 2015


                                          Введение
     Рентгеновское излучение, возникающее в результате взаимодействия электронного пучка вы­
сокой энергии с образцом, обладает длиной волны {энергией квантов), характерной для элементов,
содержащихся в образце. Интенсивность рентгеновского излучения от каждого элемента зависит от
концентрации данного элемента в образце. Если измерить указанные интенсивности, сравнить их с
интенсивностями от стандартного образца (или набора стандартных образцов), внести соответству­
ющие поправки, можно определить концентрацию каждого элемента. Измерительные процедуры без
использования стандартных образцов в процессе измерений также позволяют получить количествен­
ную информацию о концентрациях, но они включают сравнение либо с ранее измеренными опорными
интенсивностями, данные о которых имеются в программном обеспечении оборудования, либо с ин­
тенсивностями. рассчитанными теоретически. Указанным измерительным процедурам, в зависимости
от сделанных предположений, может быть присуща меньшая точность, чем методу, использующему
стандартные образцы в процессе измерений (см. [1]— (8]). Существует два основных метода измерений
характеристического рентгеновского излучения. Первый основан на спектрометрии с дисперсией по
длинам волн (СДДВ). второй — на энергодисперсионной спектрометрии (ЭДС). В настоящем стандарте
рассматривается метод ЭДС.
     Использование ЭДС для количественного анализа элементного состава (с атомным номером ме­
нее Z < 11 (Na>) является более сложным, чем в случае Z £ 11: некоторые из возникающих проблем
описаны в настоящем стандарте.




IV