ГОСТ Р ИСО 14644-10-2014

Ф ЕДЕРАЛЬНО Е АГЕНТСТВО

                            ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                     НАЦИОНАЛЬНЫЙ
                                                                        ГОСТ Р и с о
                                        СТАНДАРТ
                                      РОССИЙСКОЙ                        14644-10—
                                       ФЕДЕРАЦИИ                        2014



                        ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ
                               КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ

                                             Ч а с т ь      10


                            Классиф икация чистоты поверхностей
                           по концентрации химических загрязнений

                                           ISO 14644-10:2013
                 Cleanrooms and associated controlled environm ents — Part 10:
                 C lassification o f surface cleanliness by chem ical concentration

                                                   (IDT)



                                         Издание о ф и ц и а л ьн о е




                                                         Москва
                                                     Стандартинформ
                                                            2014




болеро магазин

ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014

                                                      Предисловие

      Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом
от 27 декабря 2002 г. No 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения националь­
ных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федера­
ции. Основные положения»

       Сведения о стандарте

     1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией «Ассоциация инженеров по
контролю микрозагрязнений» (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода на русский
язык стандарта, указанного в пункте 4

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 «Обеспечение промышленной
чистоты»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 24 октября 2014 г. №> 1407-ст

       4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 14644-10:2013 «Чистые по­
мещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхно­
стей по концентрации химических загрязнений» (ISO 14644-10:2013 «Cleanrooms and associated con­
trolled environments — Part 10: Classification o f surface cleanliness by chemical concentration»).
       При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных между­
народных стандартов соответствующие им национальные стандарты Российской Федерации и дейст­
вующие в этом качестве межгосударственные стандарты, сведения о которых приведены в дополни­
тельном приложении ДА

       5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



        Правила применения н а с т о я щ е го с т а н д а р т а уста н о в л е н ы в ГОСТ Р 1.0— 2012 (раздел 8).
Информация об изменениях к н а сто я щ е м у с т а н д а р т у пуб л и куе тся в ежегодном (по со сто я н и ю на
1 января т е к у щ е го года) информационном ука з а т е л е «Национальные с т а н д а р т ы » , а официальный
т е к с т изменений и поправок — в ежемесячном информационном ука з а т е л е «Национальные с т а н ­
да р ты » . В случав п е р е см о тр а (замены) или о т м е н ы н а с т о я щ е го с т а н д а р т а с о о т в е т с т в у ю щ е е
уведомление б у д е т опубликовано в ближайшем выпуске информационного у ка з а т е л я «Националь­
ные с т а н д а р т ы » . С о о т в е т с т в у ю щ а я информация, уведомление и т е к с т ы р а зм е щ а ю тся т а к ж е в
информационной с и с т е м е общ его пользования — на официальном с а й т е Федерального а г е н т с т ­
ва по те хн и ч е ско м у регулированию и м е тр о л о ги и в с е т и И н т е р н е т (gost.ru)




                                                                                                 © Стандартинформ. 2014

     В Российской Федерации настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспро­
изведен. тиражирован и распространен в качестве оф ициального издания без разрешения Феде­
рального агентства по техническому регулированию и метрологии

ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014

                                                                           Содержание

Сведения о стандарте......................................................................................................................................................II
1 Область прим енения.....................................................................................................................                                       1
2 Нормативные ссы лки.....................................................................................................................................................1
3 Термины и опре дел ен и я.............................................................................................................................................. 1
4 Классификация................................................................................................................................................................2
  4.1 Принципы установления класса чистоты поверхности в чистых помещениях и
        контролируемых средах......................                                                                                                                              2
  4.2 Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений............................2
  4.3 Обозначение класса H C O -S C C ......................................................................................................................... 4
  4.4 Перевод массовой концентрации в численную концентрацию ато м ов ..................................................5
5 Контроль чистоты поверхности по концентрации химических загрязнений и проверка
  соответствия.................................................................................................................................................................. 5
   5.1 Критерии оценки частоты .....................................................................................................................................5
   5.2 Протоколы контроля........................                                                                                                                                5
Приложение А (справочное) Соотношение между различными единицами концентрации
                химических загрязнений на поверхности......................................................................................7
Приложение В (справочное) Факторы, влияющие на проведение контроля и его результаты................14
Приложение С (справочное) Существенные условия для правильной оценки чи сто ты ........................... 15
Приложение D (справочное) Методы определения чистоты поверхности по концентрации
                химических загрязнений..................................................................................................................16
Приложение Е (справочное) Протокол контроля чи сто ты .................................................................................. 28
Приложение Д А (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов
                ссылочным национальным стандартам Российской Федерации и действующим
                в этом качестве межгосударственным стандартам ................................................................ 29
Библиограф ия.................................................................................................................................................................. 30




                                                                                                                                                                              III

ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014

                                         Введение

     Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды обеспечивают контроль загряз­
нения поверхностей химическими веществами с целью поддержания допустимого уровня загрязнений
в чувствительных к ним процессах. Продукты и процессы, требующие защиты от загрязнений, приме­
няются в электронной, фармацевтической, медицинской, пищевой и других отраслях промышленно­
сти.
     Международный стандарт ИСО 14644-10 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209 «Чистые
помещения и связанные с ними контролируемые среды».
     Комплекс международных стандартов ИСО 14644 состоит из следующих частей:
     - часть 1. Классификация чистоты воздуха:
     - часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия
ИСО 14644-1;
     - часть 3. Методы испытаний;
     - часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию;
     - часть 5. Эксплуатация;
     - часть 6. Термины;
     - часть 7. Изолирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы
и мини-окружения);
     - часть 8. Классификация химических загрязнений в воздухе;
     - часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц;
     - часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений.




IV