ГОСТ Р ИСО 13067-2016

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                          ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                        НАЦИОНАЛЬНЫЙ                            ГОСТР
                                           СТАНДАРТ
                                         РОССИЙСКОЙ
                                                                                исо
                                          ФЕДЕРАЦИИ                             13067   —


                                                                                2016




                     Государственная система обеспечения
                             единства измерений


                               МИКРОАНАЛИЗ
                           ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВЫЙ
                   Дифракция обратнорассеянных электронов.
                      Измерение среднего размера зерна
                                         (ISO 13067:2011
                      Microbeam analysis — Electron backscatter diffraction —
                              Measurement of average grain size, IDT)




                                       Издание официальное




                                                    Москоа
                                               С тандартимформ
                                                    2016




составление смет

ГОСТ РИСО 13067—2016


                                         Предисловие
     1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изучению
свойств поверхности и вакуума» на основе собственного аутентичного перевода на русский язык меж­
дународного стандарта, указанного в пункте 4

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 107 «Зондовая и пучковая диагности­
ка» Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 1 сентября 2016 г. № 1011-ст

      4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 13067:2011 «Микроанализ
электронно-зондовый. Дифракция обратнорассеянных электронов. Измерение среднего размера зер­
на» (ISO 13067:2011 «Microbeam analysts — Electron backscatter diffraction — Measurement of average
grain size». IDT).
      Наименование настоящего стандарта изменено относительно наименования указанного между­
народного стандарта для приведения в соответствие с ГОСТ Р 1.5 (пункт 3.5).
      При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных междуна­
родных стандартов соответствующие им национальные стандарты Российской Федерации, сведения
о которых приведены в дополнительном приложении ДА

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
«О стандартизации в Российской Федерации». Информация об изменениях к настоящему стандар­
ту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указа­
теле «Национальные стандарты», а официальный текст изменений и поправок — в ежемесячном
информационном указателе «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или от­
мены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем
выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты». Соответствую­
щая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего
пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и
метрологии в сети Интернет (wmv.gost.ru)




                                                                          © Стандартинформ. 2016

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТР ИСО 13067—2016


                                                                      С одержание


1 Область применения........................................................................................................................................... 1
2 Нормативные ссылки...........................................................................................................................................1
3 Термины и определения.................................................................................................................................... 2
   3.1 Терминология, связанная с измерением размера зерна с помощью Д О Э ......................................2
   3.2 Терминология, связанная с зернами и границами зерен, определенными с помощью Д О Э ___ 3
   3.3 Терминология, связная с измерением размера з е р н а ........................................................................4
   3.4 Терминология, связанная с коррекцией данных и неточностью ДОЭ-карт......................................5
4 Картирование посредством ДОЭ для измерения размера зерна............................................................... 5
  4.1 Аппаратные требования.............................................................................................................................. 5
  4.2 Требования к программному обеспечению............................................................................................ 5
5 Получение карты посредством ДОЭ для сортировки зерен по размерам................................................ 5
  5.1 Подготовка образца.................................................................................................................................... 5
   5.2 Определение осей образца........................................................................................................................6
   5.3 Позиционирование столика образцов и калибровка..............................................................................6
   5.4 Линейная калибровка...... ........................................................................................................................... 6
   5.5 Предварительное исследование............................................................................................................. . 6
   5.6 Выбор длины ш ага.........................................................................                         6
   5.7 Определение необходимого уровня точности измерения углов...........................................................7
   5.8 Выбор области для картирования и размер ка р ты .............................................................................. 8
   5.9 Вопросы, касающиеся исследования пластически деформированных материалов.......................9
6 Аналитическая процедура...............................................................................................................................10
   6.1 Определение гр а н и ц .................................................................................................................................10
   6.2 Обращение с необработанными данными после сбора......................................................................10
   6.3 Этапы обработки данных.......................................................................................................................... 11
   6.4 Измерение размера зерна........................................................................................................................14
   6.5 Представление д а н н ы х............................................................................................................................ 14
7 Неопределенность измерений........................................................................................................................ 14
8 Отчетность о результатах анализа..................................................................................................................14
Приложение А (справочное) Измерение размера зерна.............................................................................. 15
Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных
               стандартов национальным стандартам Российской Федерации.................................... 17
Библиография......................................................................................................................................................18

ГОСТ РИСО 13067—2016


                                          Введение


     Размер кристаллических зерен и их распределение оказывают значительное влияние на меха­
нические и электромагнитные свойства технических материалов. Например, эти параметры определя­
ют такие важные технические свойства, как прочность, жесткость, твердость. Размер зерна влияет на
свойства как объемных материалов, так и тонких пленок и даже двумерных структур. По этой причине
важно иметь стандартные методы его измерения и общепринятую и согласованную терминологию. На­
стоящий стандарт описывает процедуру измерения среднего размера зерна по картам измерений ло­
кальной ориентации зерен с использованием дифракции обратнорассеянных электронов.




IV