ГОСТ Р 8.745-2011

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                   ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                               НАЦИОНАЛЬНЫЙ
                                                                                  ГОСТ Р
                                                  СТАНДАРТ                       8.745 —
                                                РОССИЙСКОЙ
                                                 ФЕДЕРАЦИИ                       2011/ISO/TR
                                                                                 14999-2:2005




                             Государственная система обеспечения
                                     единства измерений

                                ОПТИКА И ФОТОНИКА.
                          ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ
                          ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМ
                                                      Ч а с т ь       2


                          Измерения и методика оценки результатов
                                                  ISO/TR 14999-2:2005
                                   Optics and photonics — Interferometric measurement
                     of optical elements and optical systems — Part 2: Measurement and evaluation
                                                       techniques
                                                          (IDT)



                                                 И здание оф и ц и а л ьн о е




                                                             С тд ф ткн ф срм
                                                                    2014




центр сертификации

ГОСТ Р 8.745— 2011 /IS O T R 14999-2:2005


                                            Предисловие

     Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от
27 декабря 2002 г. No 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стан­
дартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0— 2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные
положения»

     Сведения о стандарте

     1 ПОДГОТОВЛЕН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский
научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») на основе собственного
аутентичного перевода на русский язык международного документа, указанного в пункте 4

     2 ВНЕСЕН ТК 53 «Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений» Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регули­
рованию и метрологии от 13 декабря 2011 г. No 1068-ст

      4 Настоящий стандарт идентичен международному документу ИСОЛГ014999-2:2005 «Оптика и фото­
ника. Интерферометрическое измерение оптических элементов и систем. Часть 2. Методы измерения и
оценки» (ISO.TR 14999-2:2005 «Optics and photonics — Interferometric measurement o f optical elements and
optical systems — Part 2: Measurement and evaluation techniques»)

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом инфор­
мационном указателе «Национальные стандарты». а текст изменений и поправок — в ежемесячно
издаваемых указателях «Национальные стандарты». В случав перетотра (замены) или отмены на­
стоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом
указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты раз­
мещаются также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федераль­
ного агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                                ©Стандартииформ. 2014

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распрос­
транен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регу­
лированию и метрологии

ГОСТ Р 8.745— 2011/ISO/TR 14999-2:2005


                                                                               Содержание

1 Область п р и м е н е н и я ............................................................................................................................................             1
2 Объекты и з м е р е н и й .............................................................................................................................................             1
  2.1 П о в е р х н о с т и ....................................................................................................................................................      1
  2.2 Оптические элементы, работающие на п р о п у с к а н и е ..........................................................................                                             2
  2.3 Оптические с и с т е м ы ................................................................................... . ..............................................                   3
  2.4 Косвенное измерение характеристик оптических э л е м е н т о в ............................................................                                                     3
3 Основные аспекты аппаратного обеспечения интерферометра и соблюдения условий выполнения
  эксперимента ...................................................................................................................... . ................................               4
  3.1 Общие с в е д е н и я .............................................................................................................................................              4
  3.2 Принципы конструирования и влияния на качество и з м е р е н и й .......................................................                                                         4
  3.3 Условия выполнения и з м е р е н и й ......................................                                                                                                     13
4 Способы оценки оптической разности х о д а ..................................................................................................                                       15
  4.1 Общие с в е д е н и я .............................................................................................................................................             15
  4.2 Визуальный анализ и н те рф еро грам м ..................................................................                                                                       15
  4.3 Ручная обработка и измерение по и нтерф ерограм м ам ......................................................................                                                     19
  4.4 Фазовые измерения с использованием временной н е с у щ е й ............................................................                                                         21
  4.5 Фазовые измерения с использованием пространственной н е с у щ е й .............................................                                                                 25
  4.6 Исключение фазовых н ео д н озн а чно стей ................................................................................................                                     27
  4.7 Регистрация волновых фронтов; системы координат, определение систем ко о р д и н а т...............                                                                             28
  4.8 Полиномиальные и другие способы отображения волновых ф р о н т о в ...........................................                                                                  29
5 Протоколы испытаний и калибровочные с е р т и ф и ка ты .............................................................................                                               32
  5.1 Общие с в е д е н и я .............................................................................................................................................             32
  5.2 Содержание протоколов испытаний и калибровочных с е р ти ф и ка то в .............................................                                                              32
  5.3 Протоколы и с п ы т а н и й ...................................................................................................................................                 32
  5.4 Калибровочные с е р т и ф и ка т ы .....................................................................................................................                        32
  5.5 Мнения и р е ко м е н д а ц и и ................................                                                                                                                33
  5.6 Электронная передача р е зул ь та то в ..........................................................................................................                               33
  5.7 Формат протоколов и се р т и ф и ка то в .........................................................................................................                              33
  5.8 Модернизация (уточнения, дополнения) протоколов испытаний и калибровочных сертификатов                                                                                          33
6 Формат д а н н ы х ......................................................................................................................................................           33
Приложение А (справочное) Ортогональные п о л и н о м ы ...............................................................................                                               34
Приложение В (справочное) Ортогональные функции на «нетривиальных по ве рхностях».................                                                                                    45
Б и б л и о гр а ф и я ............................................................................................................................................................   47




                                                                                                                                                                                      Ш

ГОСТ Р 8.745— 2011 /ISOTTR 14999-2:2005


                                            Введение

      Вторая часть ИСО 14999 посвящена методам оценки качества оптических элементов и систем, име­
ющим отношение к производимым ими {элементами и системами) искажениям (деформациям) волнового
фронта. Эти искажения (погрешности) распределены по шкале пространственных частот, однако в этой
части ИСО 14999 рассматриваются деформации (искажения, погрешности) волнового фронта только в
низко- и среднечастотном диапазонах спектра пространственных частот. Высокочастотный участок спектра
может быть измерен только с помощью микроскопа, с использованием результатов измерений рассеянно­
го света или вообще неоптических способов зондирования поверхности.
      Подобное рассмотрение может быть выполнено применительно к любому спектральному диапазону
излучения, используемого для зондирования поверхности. В ИСО 14999 для наглядности рассмотрен слу­
чай использования видимого излучения. В ряде случаев при измерениях шероховатости поверхности при­
меняются С 0 2-лазеры с длиной волны 10.6 мкм (после шлифования изделия) или эксимерные лазеры с
длинами волн 193 или 248 нм при контроле микролитографической оптики. Однако в стандарте они упоми­
наются изредка и не детализируются. Об остальных участках оптического спектра речь в ИСО 14999 не
идет.




IV