ГОСТ Р 8.744-2011

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                       ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                                  НАЦИОНАЛЬНЫЙ                       ГОСТ Р
                                                     СТАНДАРТ
                                                   РОССИЙСКОЙ
                                                                                     8 .7 4 4 -
                                                    ФЕДЕРАЦИИ                        2011/ISO/TR
                                                                                     14999-3:2005



                                 Государственная система обеспечения
                                         единства измерений
                                   ОПТИКА И ФОТОНИКА.
                              ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ
                              ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМ
                                                          Часть 3
                             Калибровка и аттестация интерферометров,
                         методика измерений оптических волновых фронтов
                                                        ISO/TR 14999-3:2005
                                      Optics and photonics — Interferometric measurement
                           of optical elements and optical systems. Part 3: Calibration and validation
                                       of interferometric test equipment and measurements
                                                                (IDT)


                                                      Издание официальное




                                                             СШ1ДЦЯИ1фО{М
                                                                  2011




белое кружевное платье

ГОСТ Р 8.744— 2011/ISO/TR 14999-3:2005


                                            Предисловие
      Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом
от 27 декабря 2002 г. № 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 ПОДГОТОВЛЕН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский на­
учно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 53 «Основные нормы и правила по
обеспечению единства измерений» Федерального агентства по техническому регулированию и метро­
логии

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. № 1067-ст

      4 Настоящий стандарт идентичен международному документу ISO/TR 14999-3:2005 «Оптика и
фотоника. Интерферометрическое измерение оптических элементов и систем. Часть 3. Калибровка и
валидация оборудования для интерферометрического испытания и измерений» (ISO/TR 14999-3:2005
«Optics and photonics — Interferometric measurement of optical elements and optical systems. Part 3: Cali­
bration and validation of interferometric test equipment and measurements»)

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



     Информация об из>ленениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаеаемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в
ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ежемесячно издаваемом указателе «Национальные стандарты». Соответствующая
информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего
пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и
метрологии в сети Интернет




                                                                               © Стандартинформ. 2013

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии
II

ГОСТ Р 8.744— 2011/ISO/TR 14999-3:2005


                                                                       Содержание
1 Область применения.......................................................................................................................................... 1
2 Термины и определения....................................................................................................................................1
3 Систематическое исследование контрольного оборудования, измерительной установки
  и окружающей среды как источников погрешностей................................................................................... 1
  3.1 Общие сведения.......................................................................................................................................... 1
   3.2 Источники неопределенности...............................                                                                              2
   3.3 Суммирование неопределенностей........................................................................................................ 2
4 Деление погрешностей на составляющие с вращательной симметрией и невращательной
  симметрией (вращательно-симметричные и невращательио-симметричные).......................................3
  4.1 Общие сведения..........................................................................................................................................3
   4.2 Принцип.........................................................................................................................................................3
   4.3 Измерительная аппаратура.......................................................................................................................4
  4.4 Методика выполнения измерений............................................................................................................ 5
5 Измерение качества физически реализованной эталонной поверхности............................................... 5
   5.1 Плоскости.................................................................................................................................................... 5
   5.2 С ф еры...........................................................................................................................................................7
   5.3 Асферики.......................................................................................................................................................8
   5.4 Контроль однородности........................................................................................................................... 18
  5.5 Оптические системы в режиме пропускания....................................................................................... 18
6 Методики абсолютной калибровки................................................................................................................20
   6.1 Общие сведения........................................................................................................................................20
   6.2 Плоскости.................................................................................................................................................. 21
   6.3 Сферические поверхности........................                                                                                            26
   6.4 Цилиндрические поверхности.................................................................................................................29
  6.5 Прозрачные оптические окна...................................................................................................................31
Библиография.......................................................................................................................................................32

ГОСТ Р 8.744— 2011/ISO/TR 14999-3:2005


                                           Введение

      Техническим комитетом ИСО (ISO/ТС 172/SC1) была подготовлена и опубликована под общим
названием ИСО 10110 «Оптика и фотоника — Подготовка технической документации на оптические
элементы и системы» серия международных стандартов «Обозначения в технической документации
характеристик оптических элементов и систем», причем особое внимание уделено части 5 «Допусти­
мые отклонения формы поверхности» и части 14 «Допустимые отклонения волнового фронта».
      После опубликования серии стандартов и особенно упомянутых двух частей экспертам стало оче­
видно, что необходимы дополнительная документация и информация о представлении изготовленных
оптических элементов и систем с допустимыми отклонениями. Поэтому ISO/ТС 172/SC1 подготовил и
опубликовал Технический доклад под названием «Интерферометрия волновых фронтов и форм по­
верхностей оптических элементов».
      При обсуждении было констатировано, что Технический доклад или стандарт впервые имеют от­
ношение к волновой оптике, т. е. базируются на физической оптике, а не геометрической. Поэтому по­
яснены только основные аспекты, представляющие наибольшие трудности для понимания.
      С учетом складывавшейся ситуации, когда в документах ИСО не обсуждались проблемы интерфе­
рометрии. естественным было желание сделать изложение предельно доступным. Возникла дискуссия
по вопросу о целесообразности обсуждения таких важнейших направлений, как интерференционная
микроскопия (для наблюдения и описания микрошероховатостей поверхностей оптических элементов),
интерферометрия сдвига (например, для описания подвергшихся коррекции оптических систем), мно­
голучевая интерферометрия, формирование и считывание изображений в когерентном излучении или
методы обращения волнового фронта. Решено было отразить и такие методы, как классическая дву­
лучевая интерферометрия, а также с распространенными методиками типа голографической интерфе­
рометрии. муаровым методом и профилометрией, наряду с Фурье-слектроскопией и поляриметрией.
которые дополняют микроскопическую интерферометрию (микроинтерферометрию).
      Для дополнения ИСО 10110 изложение материала содержало описание общепринятых способов
оценки качества оптических элементов. Это было выполнено путем укомплектования первой версии
Технического доклада несколькими дополнительными частями с учетом того, что в ближайшем буду­
щем возникнут более жесткие допуски на отклонения от одеальной формы или шероховатости поверх­
ности (примерно на два порядка) оптических элементов и систем, предназначенных для работы в экс­
тремальном вакуумном ультрафиолете (X = 6— 13 нм) в системах микролитографии.
      Данный стандарт (ИСО 14999) посвящен методам оценки качества оптических элементов и си­
стем в целом, имеющих отношение к производимым ими (элементами и системами) деформациям
волнового фронта. Эти искажения распределены по шкале пространственных частот, однако в данном
стандарте (ИСО 14999) рассматриваются деформации волнового фронта только в низко- и средне-
частотном диапазонах спектра пространственных частот. Высокочастотный участок спектра может быть
измерен только с помощью микроскопа, с использованием результатов измерений рассеянного света
или вообще неоптических способов зондирования поверхности.
      Подобное рассмотрение может быть выполнено применительно к любому спектральному диа­
пазону излучения, используемого для зондирования поверхности. В ИСО 14999 для наглядности рас­
смотрен случай использования видимого излучения. В ряде случаев при измерениях шероховатости
поверхности применяются С 02-лазеры с длиной волны 10,6 мкм (после шлифования изделия) или
эксимерные лазеры с длинами волн 193 или 248 им при контроле микролитографической оптики.
Однако в стандарте они упоминаются изредка и не детализируются. Об остальных участках оптическо­
го спектра речь в ИСО 14999 не идет.




IV