ГОСТ Р 8.594-2009

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
                                                           (МГС)
                            INTERSTATE COUNCIL FOR STANDARDIZATION, METROLOGY AND CERTIFICATION
                                                            (ISC)




                                                                                    ГОСТ
                                  МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ
                                       СТАНДАРТ
                                                                                    8 . 594-
                                                                                    2009




                                Государственная система обеспечения
                                        единства измерений

                             МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ

                                               Методика поверки



                                                   Издание официальное




                        <4
                        сы
                        §
                        8
                        оI
                        п
                        ш



                                                              Москва
                                                          Стандартинформ
                                                               2010




проектные организации

ГОСТ 8.594—2009


                                                   Предисловие

      Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандар­
тизации установлены ГОСТ 1.0—92 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положе­
ния» и ГОСТ 1.2—2009 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударст­
венные. правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Порядок разработки, приня­
тия. применения, обновления и отмены»

     Сведения о стандарте

      1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума» (Россия). Федеральным государственным учреждением «Россий­
ский научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным
учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт
(государственный университет)» (Россия)

     2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии

     3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (про­
токол Ne 36 от 11 ноября 2009 г.)

     За принятие проголосовали:

Краткое наименование страны     Код страны по МК          Сокращенное наименование национального органа
  по МК (ИСО 3166) 00 4 -9 7   (ИСО 3166)004—97                         по стандартизации

  Армения                             AM             М инторгэконом развития
  Беларусь                            BY             Госстандарт Р еспублики Беларусь
  Казахстан                           К2             Госстандарт Р еспублики Казахстан
  Кыргызстан                          KG             Кыргызстандарт
  Молдова                             MD             М олдоаа-С тандарт
  Российская Ф едерация               RU             Ф едеральное агентство по техническому
                                                     регулированию и метрологии
   Таджикистан                        TJ             Таджикстандарт
   Узбекистан                         uz             Узстандарт
   Украина                            UA             Госпотребстандарт Украины


     4 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 5 апреля 2010 г. Ne 58-ст

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



        Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящ его с та н д а р та публику­
е т с я в указателе «Национальные стандарты ».
        Информация об изменениях к настоящ ему с та н д а р ту публикуется в указателе «Национальные
стандарты », а т е к с т изменений — в информационных указателях «Национальные стандарты ». В
случав пересмотра или отм ены настоящ его ста н д а р та со о тв е тств ую щ а я информация будет
опубликована в информационном указателе «Национальные с та н д а р ты »




                                                                                   © Стандартинформ. 2010

      В Российской Федерации настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизве­
ден. тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии

ГОСТ 8.594—2009

                                                                     Содержание

1 Область применения.......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные с с ы л к и ........................................................................................................................................1
3 Термины и определения.................................................................................................................................. 1
4 Операции и средства поверки..........................................................................................................................3
5 Требования к квалификации поверителей...................                                                                                                       3
6 Требования безопасности................................................                                                                                        3
7 Условия поверки и подготовка к н е й ...............................................................................................................4
8 Проведение поверки.......................................................................................................................................... 4
9 Обработка результатов измерений..................................................................................................................6
10 Оформление результатов поверки............................................................................................................. 7




                                                                                                                                                                in

ГОСТ 8.594— 2009


М    Е   Ж    Г   О   С    У   Д   А    Р   С   Т   В    Е   Н   Н    Ы    Й          С    Т   А   Н   Д   А   Р   Т



                      Государственная система обеспечения единства измерений

                               МИКРОСКОПЫ ЭЛЕКТРОННЫЕ РАСТРОВЫЕ

                                                Методика поверки

                               State system for ensuring the uniformity of measurements.
                                 Scanning electron microscopes. Verification methods


                                                                                     Дата введения — 2010— 11—01



      1 Область применения

     Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы (далее — РЭМ),
применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 sдо 10-6м. и устанавливает методи­
ку их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и
ГОСТ 8.592.

      2 Нормативные ссы лки

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты.
     ГОСТ 8.591—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
     ГОСТ 8.592—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор­
мам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
        П р и м е ч а н и е — П ри пользовании настоящ им стандартом целесообразно п роверить д ействие ссы ло ч­
н ы х стандартов на территории государства по соответствую щ ем у указателю стандартов, составленном у по состоя­
нию на 1 января текущ его года, и по соответствую щ им еж ем есячно издаваем ы м инф орм ационны м указателям ,
опубликованны м в текущ ем году. Если ссы лочны й д окум ент зам енен (изм енен), то при пользовании настоящ им
стандартом следует руководствоваться зам еняю щ им (и зм е не нн ы м ) стандартом . Если ссы лочны й д окум ент отм е­
нен без зам ены , то полож ение, в котором дана ссы лка на него, прим еняется в части, не затрагиваю щ ей эту ссы лку.


      3 Термины и определения

      В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
      3.1

    растровы й электронный микроскоп (РЭМ): Электронный микроскоп, формирующий изобра­
 жение объекта при сканировании его поверхности электронным зондом.
    (ГОСТ 21006—75. статья 3)


Издание оф ициальное

                                                                                                                       1