ГОСТ Р 8.593-2009

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СОВЕТ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ, МЕТРОЛОГИИ И СЕРТИФИКАЦИИ
                                                       (МГС)
                        INTERSTATE COUNCIL FOR STANDARDIZATION, METROLOGY AND CERTIFICATION
                                                        (ISC)




                                                                                  ГОСТ
                              МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ
                                   СТАНДАРТ
                                                                                  8 . 593-
                                                                                  2009




                            Государственная система обеспечения
                                    единства измерений

                      МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ
                               АТОМНО-СИЛОВЫЕ

                                           Методика поверки



                                               Издание официальное




                см
                I
                8
                 I
                «о
                п




                                                             М осква
                                                      С та н д а р ти н ф о р м
                                                               2010




схема кружева

ГОСТ 8.593—2009


                                               Предисловие

      Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандар­
тизации установлены ГОСТ 1.0—92 «Межгосударственная система стандартизации. Основные положе­
ния» и ГОСТ 1.2—2009 «Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударст­
венные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Порядок разработки, приня­
тия. применения, обновления и отмены»

     Сведения о стандарте

      1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Научно-исследовательский центр по изуче­
нию свойств поверхности и вакуума» (Россия). Федеральным государственным учреждением «Россий­
ский научный центр «Курчатовский институт» (Россия) и Государственным образовательным
учреждением высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт
(государственный университет)» (Россия)

     2 ВНЕСЕН Федеральным агентством по техническому регулированию и метрологии

     3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (про­
токол № 36 от 11 ноября 2009 г.)

     За принятие проголосовали:

Краткое наименование страны         Код страны             Сокращенное наименование национального органа
  по МК (ИСО 3166 ) 004 - 9 7 по МК(ИСО 3 1 60)004-97                    по стандартизации

  Армения                              AM               М инторгэкономразвития
  Беларусь                             BY               Госстандарт Республики Беларусь
  Казахстан                            КZ               Госстандарт Республики Казахстан
  Кыргызстан                           KG               Кыргызстандарт
  Молдова                              MD               М олдова-С тандарт
  Российская Федерация                 RU               Ф едеральное агентство по техническом у   регулирова-
                                                        нию и метрологии
   Таджикистан                         TJ               Таджикстандарт
   Узбекистан                          UZ               Узстандарт
   Украина                             UA               Гослотребстандарт Украины


     4 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 5 апреля 2010 г. № 57-ст

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



     Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта публику­
ется в указателе «Национальные стандарты».
     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в указателе «Национальные
стандарты», а текст изменений — в информационных указателях «Национальные стандарты». В
случав пересмотра или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет
опубликована в информационном указателе «Национальные стандарты».




                                                                                  © Стандартинформ. 2010

      В Российской Федерации настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизве­
ден. тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии

ГОСТ 8.593—2009

                                                                    Содержание

1 Область применения.......................................................................................................................................... 1
2 Нормативные с с ы л к и ........................................................................................................................................1
3 Термины и определения.................................................................................................................................. 1
4 Операции и средства поверки..........................................................................................................................2
5 Требования к квалификации поверителей..................                                                                                                        3
6 Требования безопасности............................................................................................................................... 3
7 Условия поверки и подготовка к н е й ...............................................................................................................3
8 Проведение поверки.......................................................................................................................................... 4
9 Обработка результатов измерений..................................................................................................................5
10 Оформление результатов поверки............................................................................................................. 6




                                                                                                                                                                in

ГОСТ 8.593— 2009


М     Е    Ж      Г    О     С      У   Д   А   Р   С   Т   В   Е   Н   Н    Ы    Й           С   Т   А    Н   Д    А     Р   Т



                             Государственная система обеспечения единства измерений

                         МИКРОСКОПЫ СКАНИРУЮЩИЕ ЗОНДОВЫЕ АТОМНО-СИЛОВЫЕ

                                                        Методика поверки

            S tate system fo r ensuring the uniform ity o f m easurem ents. A tom ic-force scanning probe m icroscopes.
                                                         V erification m ethod


                                                                                            Д а та в в е д е н и я — 2010— 11— 01



        1 Область применения

      Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы
(далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 9 до 10-6 м,
и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по
ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592.

        2 Нормативные ссылки

     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие межгосударственные
стандарты:
     ГОСТ 8.591—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
     ГОСТ 8.592—2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельеф­
ные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим фор­
мам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
     ГОСТ 12.2.061—81 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности к рабочим местам
     ГОСТ ИСО 14644-1—2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды.
Часть 1. Классификация чистоты воздуха
        П р и м е ч а н и е — При пол ьзовании н астоящ им стандартом ц е л есоо бра зно п роверить д ействие с сы л о ч­
н ы х стандартов на территории государства по соответствую щ ем у указателю стандартов, составленном у по состоя­
нию на 1 января текущ его года, и по соответствую щ им инф орм ационны м указателям , опубликованны м в текущ ем
году. Если ссы лочны й д окум ент заменен (изм енен), то при пользовании настоящ им стандартом следует руково­
д ствоваться замененны м (изм ененны м ) стан да ртом . Если ссы лочны й д окум ент отм енен без замены , то пол ож е­
ние. в котором д ана ссы л ка на н его, прим еняется в ч асти, не затрагиваю щ ей эту ссылку.


        3 Термины и определения

      В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями.
      3.1 рельеф поверхности (твердого тела): Поверхность твердого тела, отклонения которой от
идеальной плоскости обусловлены естественными причинами или специальной обработкой.
      3.2 элемент рельефа (поверхности): Пространственно локализованная часть рельефа
поверхности.
      3.3 сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп: Зондовый атомно-силовой микрос­
коп с нормированными метрологическими характеристиками, предназначенный для измерения линей­
ных размеров элементов рельефа поверхности и/или расстояний между ними путем сканирования
поверхности острием зонда.

И зд ан и е о ф и ц и а л ь н о е

                                                                                                                                  1