ГОСТ Р 71656-2024

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                           ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                       НАЦИОНАЛЬНЫЙ                        ГО С ТР
                                             СТАНДАРТ
                                          РОССИЙСКОЙ
                                                                           71656—
                                           ФЕДЕРАЦИИ                       2024




                       ИЗДЕЛИЯ ЭЛ ЕКТРО Н Н О Й ТЕХН ИКИ
                              Электрохимический метод
                      определения толщины слоев многослойных
                              тонкопленочных структур



                                       Издание официальное




                                                   Москва
                                      Российский институт стандартизации
                                                     2024




сертификат качества

ГОСТ Р 71656— 2024


                                       Предисловие
     1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом «Российский         научно-исследовательский   институт
«Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 «Электронная компонентная база,
материалы и оборудование»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 1 октября 2024 г. № 1363-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)




                                          © Оформление. ФГБУ «Институт стандартизации», 2024

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 71656— 2024


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й           С Т А Н Д А Р Т         Р О С С И Й С К О Й            Ф Е Д Е Р А Ц И И



                                ИЗДЕЛИЯ ЭЛЕКТРО Н Н О Й ТЕХНИКИ

            Электрохимический метод определения толщины слоев многослойных
                                тонкопленочных структур

              Electronic equipment products. Electrochemical method for determining the thickness
                                   of layers of multilayer thin-film structures


                                                                                Дата введения — 2025—03—01



     1 Область применения
     Настоящий стандарт распространяется на изделия электронной техники (далее — изделия) и
устанавливает электрохимический метод определения толщины слоев многослойных тонкопленочных
структур, состоящих из следующих веществ:
     Mo — MoNi — Ni; V — VSi2; Mo — MoSi2; V — VAI3 — V 5AI8 — Al; Ni — T iN i — (TiNi + Ti2Ni) — Ti;
Al — A I3Ni — AI 3Ni2 — Ni; Ag — Cr; Sn — Sn 5Cu 6 — SnC u3; OBu — Sn 5Cu 6 — SnC u 6 — SnCu3;
noc — Sn 5Cu 6 — SnC u3.
     Настоящий стандарт следует применять при контроле технологических процессов изготовления
изделий электронной техники и анализе отказов.


     2 Нормативные ссылки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ 9.008 Единая система защиты от коррозии и старения. Покрытия металлические и неметал­
лические неорганические. Термины и определения
     ГОСТ 12.1.004 Система стандартов безопасности труда. Пожарная безопасность. Общие требо­
вания
     ГОСТ 12.1.005 Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические требо­
вания к воздуху рабочей зоны
     ГОСТ 12.1.016 Система стандартов безопасности труда. Воздух рабочей зоны. Требования к ме­
тодикам измерения концентраций вредных веществ
     ГОСТ 12.1.019 Система стандартов безопасности труда. Электробезопасность. Общие требова­
ния и номенклатура видов защиты
     ГОСТ 12.1.030 Система стандартов безопасности труда. Электробезопасность. Защитное зазем­
ление, зануление
     ГОСТ 12.2.003 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Об­
щие требования безопасности
     ГОСТ 12.3.019 Система стандартов безопасности труда. Испытания и измерения электрические.
Общие требования безопасности
     ГОСТ 12.4.009 Система стандартов безопасности труда. Пожарная техника для защиты объектов.
Основные виды. Размещение и обслуживание
     ГОСТ 1770 (ИСО 1042— 83, ИСО 4788— 80) Посуда мерная лабораторная стеклянная. Цилиндры,
мензурки, колбы, пробирки. Общие технические условия
     ГОСТ 2603 Реактивы. Ацетон. Технические условия
     ГОСТ 3652 Реактивы. Кислота лимонная моногидрат и безводная. Технические условия
     ГОСТ 4168 Реактивы. Натрий азотнокислый. Технические условия



Издание официальное
                                                                                                             1

ГОСТ Р 71656— 2024


     ГОСТ 4204 Реактивы. Кислота серная. Технические условия
     ГОСТ 4207 Реактивы. Калий железистосинеродистый 3-водный. Технические условия
     ГОСТ 10067 Реактивы. Калий фтористый кислый. Технические условия
     ГОСТ 13867 Продукты химические. Обозначение чистоты
     ГОСТ 22752 Тара производственная пластмассовая. Типы
     ГОСТ 24363 Реактивы. Калия гидроокись. Технические условия
     ГОСТ Р 53228 Весы неавтоматического действия. Часть 1. Метрологические и технические тре­
бования. Испытания
     ГОСТ Р 58144 Вода дистиллированная. Технические условия
     ГОСТ Р 58593 Источники тока химические. Термины и определения
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент­
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указа­
телю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам
ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год. Если заменен ссылочный
стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого
стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который
дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом ут­
верждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана
датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение
рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то поло­
жение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.

      3 Термины и определения
      В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 9.008, ГОСТ Р 58593, а также термины со
следующими определениями:
      3.1 электрохимический метод: Метод, основанный на закономерностях окислительно-восста­
новительных реакций на электродах в растворах электролитов при протекании между ними электриче­
ского тока;
      3.2 потенциостат: Электронный прибор, обеспечивающий поддержание заданного уровня по­
тенциала исследуемого образца относительно электрода сравнения путем регулирования силы тока
поляризации в ячейке посредством вспомогательного электрода.

      4 Сущность метода
     4.1      Метод основан на использовании различия значений электродных потенциалов различных
веществ (металлов, интерметаллидов и т. п.) в соответствующем электролите и на связи массы элек­
трохимически растворенного вещества с количеством электричества, затраченным на его растворение
в соответствии с законом Фарадея и вычисляемым по формуле

                                                           A j- 108
                                    hf = К &        =                                                 ( 1)
                                                        nj • F ■у/ • S V / .

где hj — толщина слоя, А;
    К ; — коэффициент пропорциональности, А/А • с (определяемый экспериментально для каждого
          слоя исследуемой многослойной тонкопленочной структуры на контрольных образцах извест­
          ной толщины или рассчитываемый по формуле

                                               ■_    А ____                                           (2)
                                               -1-nrF-yrS'
     если все члены уравнения известны, плотность материала слоя совпадает с плотностью массив­
ного металла и выход по току составляет 100 %);
    Q j— количество электричества, затраченное на растворение слоя, Кл;
    пj — количество электронов, участвующих в реакции растворения;
    А, — масса вещества, соответствующая 1 г-атому, г;
     F — число Фарадея, равное 96 500 А ■с;

2