ГОСТ Р 71422-2024

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                    ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                                  НАЦИОНАЛЬНЫЙ                    ГОСТ Р
                                                        СТАНДАРТ
                                                                                  71422
                                                                                      -
                                                      РОССИЙСКОЙ
                                                       ФЕДЕРАЦИИ                  2024




                                  С ТР УКТУР Ы Э П И ТА КС И А Л Ь Н Ы Е
                                   И ПЛЕНКИ Д И Э Л Е К Т Р И Ч Е С К И Е

                            Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев
                            арсенида галлия на основе сферического шлифа



                                                 Издание официальное




                                                          Москва
                                             Российский институт стандартизации
                                                            2024




уровень шума оборудования

ГОСТ Р 71422—2024


                                       Предисловие
     1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом «Российский         научно-исследовательский   институт
«Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 «Электронная компонентная база,
материалы и оборудование»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 6 июня 2024 г. № 721-ст

     4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)




                                          © Оформление. ФГБУ «Институт стандартизации», 2024

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии
II

ГОСТ Р 71422— 2024


                                                                         Содержание
1 Область прим енения..................................................................................................................................................1
2 Нормативные ссылки..................................................................................................................................................1
3 Термины и определения...........................................................................................................................................2
4 Сущность м етода........................................................................................................................................................ 2
5 Общие требования к проведению изм ерений..................................................................................................... 2
    5.1 Требования к условиям проведения и зм е р е н и й ......................................................................................... 2
    5.2 Требования к объекту и зм е р е н и й .................................................................................................................. 2
6 Требования безопасности.........................................................................................................................................3
7 Требования к оборудованию, средствам измерения и м атериалам ...............................................................3
8 Подготовка к изм ерению ...........................................................................................................................................4
9 Проведение изм ерения.............................................................................................................................................4
    9.1 Изготовление сферического ш л и ф а ..............................................................................................................4
    9.2 Выявление границы раздела с л о е в .............................................................................................................. 5
    9.3 Измерение длины х о р д ы .................................................................................................................................. 6
10 Обработка результатов измерения .....................................................................................................................7
11 Показатели точности измерения........................................................................................................................... 7




                                                                                                                                                                         III

ГОСТ Р 71422—2024


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й                                  С Т А Н Д А Р Т                      Р О С С И Й С К О Й                            Ф Е Д Е Р А Ц И И


                             СТРУКТУРЫ ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ И ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ

                          Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия
                                          на основе сферического шлифа

    The epitaxial structures and dielectric films. Method for measuring the thickness of gallium arsenide epitaxial layers
                                                  based on a spherical section



                                                                                                                               Дата введения — 2025— 03— 01




         1 Область применения
     Настоящий стандарт распространяется на эпитаксиальные структуры арсенида галлия и устанав­
ливает метод измерения толщины активного, контактного п+ и буферного п+ эпитаксиальных слоев в
структурах галлия п - п+, п - п ^~ п++, п * - п - п£ - п++, р+ - п, р+ - п - п - - п+, р+ -/', л* - - л- - п++
по окрашенному сферическому шлифу в следующем диапазоне измеряемых толщин:
      активного слоя в структурах типа:
л - п+ ................................................................................................................................................... 0,2— 40 мкм,
л - л£ - л+.............................................................................................................................................1— 40 мкм,
л+ - л - л£ - л+, л+ - л - л+ ............................................................................................................. 0,5— 40 мкм;
         контактного слоя в структурах типа:
л+ - п - л£ - л, п * - п} - п -                     - п++, п+
                                                            к ........................................................................................0,2 мкм и более,
р+ - п -           - п, р+ - п - п+................................................................................................................ 0,5— 6 мкм,
р+ - / .................................................................................................................................................... 3— 6 мкм;
         буферного слоя в структурах типа:
п - л£ - п +, п * - п -               - п+...............................................................................................................1 мкм и более.
         Суммарная толщина эпитаксиальных слоев в структуре — не более 50 мкм.


         2 Нормативные ссылки
         В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
         ГОСТ 12.1.004 Система стандартов безопасности труда. Пожарная безопасность. Общие требо­
вания
     ГОСТ 12.2.003 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Об­
щие требования безопасности
      ГОСТ 12.3.019 Система стандартов безопасности труда. Испытания и измерения электрические.
Общие требования безопасности
     ГОСТ 12.4.005 Система стандартов безопасности труда. Средства индивидуальной защиты орга­
нов дыхания. Метод определения величины сопротивления дыханию
     ГОСТ 12.4.121 Система стандартов безопасности труда. Средства индивидуальной защиты орга­
нов дыхания. Противогазы фильтрующие. Общие технические условия
     ГОСТ 12.4.253 (EN 166:2002) Система стандартов безопасности труда. Средства индивидуаль­
ной защиты глаз. Общие технические требования



Издание официальное
                                                                                                                                                                          1