ГОСТ Р 71380-2024

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                           ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                        НАЦИОНАЛЬНЫЙ                    ГОСТ Р
                                           СТАНДАРТ
                                         РОССИЙСКОЙ
                                                                        71380 —
                                          ФЕДЕРАЦИИ                     2024




                      ПЛАСТИНЫ П О ЛУП РО В О Д Н И КО В Ы Е
                           И Д И Э Л Е КТР И Ч Е С КИ Е
                        Метод контроля закругленности края


                                        Издание официальное




                                               Москва
                                  Российский институт стандартизации
                                                 2024




испытательный центр

ГОСТ Р 71380—2024


                                       Предисловие
     1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом «Российский         научно-исследовательский   институт
«Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 «Электронная компонентная база,
материалы и оборудование»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому ре­
гулированию и метрологии от 13 мая 2024 г. № 596-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)




                                          © Оформление. ФГБУ «Институт стандартизации», 2024

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 71380—2024


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й           С Т А Н Д А Р Т         Р О С С И Й С К О Й              Ф Е Д Е Р А Ц И И


                  ПЛАСТИНЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ

                                Метод контроля закругленности края

                      Semiconductor and dielectric plates. Edge roundness control method


                                                                               Дата введения — 2025— 03— 01




     1 Область применения
      Настоящий стандарт распространяется на полупроводниковые и диэлектрические пластины, при­
меняемые для изготовления изделий электронной компонентной базы, и устанавливает метод теневой
проекции для контроля закругленности края пластин на различных стадиях технологического процесса
их изготовления.


     2 Нормативные ссылки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ 12.1.004 Система стандартов безопасности труда. Пожарная безопасность. Общие требо­
вания
     ГОСТ 12.1.040 Система стандартов безопасности труда. Лазерная безопасность. Общие положе­
ния
     ГОСТ 12.2.003 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Об­
щие требования безопасности
     ГОСТ 12.3.019 Система стандартов безопасности труда. Испытания и измерения электрические.
Общие требования безопасности
     ГОСТ 427 Линейки измерительные металлические. Технические условия
     ГОСТ 3749 Угольники поверочные 90°. Технические условия
     ГОСТ 9038 Меры длины концевые плоскопараллельные. Технические условия
     ГОСТ 10905 Плиты поверочные и разметочные. Технические условия
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент­
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указа­
телю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам
ежемесячного информационного указателя «Национальные стандарты» за текущий год. Если заменен ссылочный
стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого
стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который
дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом ут­
верждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана
датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение
рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то поло­
жение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.




Издание официальное
                                                                                                               1

ГОСТ Р 71380—2024


      3 Термины и определения
     В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
     3.1 пластина: Часть кристалла, ограниченная двумя параллельными плоскостями, толщина ко­
торых меньше ее других размеров.
     3.2 край пластины: Периферийная кольцевая зона пластины.



      4 Сущность метода
     Метод основан на формировании увеличенного теневого изображения края пластины и сопостав­
лении его с полем допусков калибра, в которое должен вписываться контур края пластин.



      5 Общие требования к проведению контроля

      5.1 Требования к условиям проведения контроля
     5.1.1 Контроль пластин проводят в нормальных климатических условиях, если другие требования
не установлены в стандартах и ТУ на пластины:
     - температура воздуха от 15 °С до 35 °С;
     - относительная влажность воздуха от 45 % до 80 %;
     - атмосферное давление от 86 до 106 кПа (от 645 до 795 мм рт.ст.).

      5.2   Требования к оборудованию, средствам контроля и оснастке
     5.2.1 Проекционная установка, схема которой представлена на рисунке 1.
     Установка должна обеспечивать получение резкого изображения края пластины (размытость не
более 0,5 мм) с увеличением не менее 50х на экране с освещенностью не менее 5 лк.



                                    1    2                   3      4             5              6




1 — источник света, создающий параллельный пучок лучей; 2 — контролируемая пластина; 3 — вакуумный столик,
обеспечивающий перемещение пластины по высоте, параллельно и перпендикулярно оптической оси установки, а также поворот
вокруг горизонтальной оси, перпендикулярной оптической оси установки; 4 — проекционное устройство; 5 — прозрачный экран;
                                                       б — калибр

                   Рисунок 1 — Схема определения закругленности края пластины (вид сверху)


     5.2.2      Калибр для контроля закругленности края пластин, в котором поле допусков выполнено
прозрачным на полупрозрачном фоне в соответствии с рисунком 2. Для изготовления калибра исполь­
зуется стеклянная пластина с погрешностью не более ±50 мкм. Координаты точек калибра получают
умножением соответствующих численных значений, установленных в технических условиях на пласти­
ны, на увеличение установки.




2