ГОСТ Р 71024-2023

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                         ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                      НАЦИОНАЛЬНЫЙ                       ГОСТ Р
                                         СТАНДАРТ
                                       РОССИЙСКОЙ
                                                                         71024 —
                                        ФЕДЕРАЦИИ                        2023




                       ПЛАСТИНЫ М АСКИРО ВАННЫ Е
                          ДЛЯ Ф О ТО Ш А Б ЛО Н О В
                             Термины и определения



                                     Издание официальное




                                                 Москва
                                    Российский институт стандартизации
                                                   2023




сертификат на посуду

ГОСТ Р 71024—2023


                                       Предисловие
     1 РАЗРАБОТАН Акционерным обществом «Российский научно-исследовательский институт
«Электронстандарт» (АО «РНИИ «Электронстандарт»)

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 «Электронная компонентная база,
материалы и оборудование»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 19 октября 2023 г. № 1205-ст

    4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона
от 29 июня 2015 г. № 162-ФЗ «О стандартизации в Российской Федерации». Информация об из­
менениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего
года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный текст изменений
и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стандарты». В случае
пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя «Национальные
стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в ин­
формационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по
техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.rst.gov.ru)




                                          © Оформление. ФГБУ «Институт стандартизации», 2023

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 71024—2023


                                          Введение
     Установленные в настоящем стандарте термины расположены в систематизированном порядке,
отражающем систему понятий в области стеклянных заготовок, маскированных и резистовых пластин
для фотошаблонов.
     Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.
     Заключенная в круглые скобки часть термина может быть опущена при использовании термина
в документах по стандартизации, при этом не входящая в круглые скобки часть термина образует его
краткую форму.
     Наличие квадратных скобок в терминологической статье означает, что в нее включены два (три,
четыре и т. п.) термина, имеющие общие терминоэлементы.
     В алфавитном указателе данные термины приведены отдельно с указанием номера статьи.
     Приведенные определения допускается, при необходимости, изменять введением в них произ­
водных признаков, раскрывая значения используемых в них терминов с указанием объектов, входящих
в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, опре­
деленных в настоящем стандарте.
     Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом, их краткие формы — светлым.
     В стандарте приведен алфавитный указатель терминов на русском языке.

ГОСТ Р 71024—2023


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й       С Т А Н Д А Р Т       Р О С С И Й С К О Й     Ф Е Д Е Р А Ц И И


                   ПЛАСТИНЫ МАСКИРОВАННЫЕ ДЛЯ ФОТОШАБЛОНОВ

                                   Термины и определения

                                   Masked plates for photomasks.
                                       Terms and definitions



                                                                    Дата введения — 2024—03—01


     1 Область применения
      Настоящий стандарт распространяется на стеклянные заготовки, маскированные и резистовые
пластины для фотошаблонов, применяемые в производстве полупроводниковых приборов и интеграль­
ных схем в радиоэлектронной аппаратуре, и устанавливает термины и определения понятий в области
маскированных пластин для фотошаблонов.
      Термины, установленные настоящим стандартом, предназначены для применения во всех видах
документации и литературы в области маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов и кон­
троля их качества, входящих в сферу работ по стандартизации и (или) использующих результаты этих
работ.
      Настоящий стандарт предназначен для применения предприятиями, организациями и другими
субъектами научной и производственной деятельности независимо от форм собственности и подчине­
ния, а также федеральными органами исполнительной власти Российской Федерации, участвующими
в разработке, производстве, эксплуатации маскированных и резистовых пластин для фотошаблонов в
соответствии с действующим законодательством.

     2 Термины и определения
     1 стеклянная заготовка: Заготовка из стекла определенных размеров и формы.
     2 торцевание: Процесс обработки торцов стеклянной заготовки.
     3 шлифование: Процесс обработки поверхности стеклянной заготовки с целью удаления по­
верхностных дефектов и улучшения плоскопараллельности.
     4 полирование: Процесс обработки стеклянной заготовки с целью получения высокого класса
чистоты обработки поверхности.
     5 стеклянная пластина: Полированная стеклянная заготовка.
     6

     трещина: Нарушение целостности стекла, проходящее через всю толщину.
     [ГОСТ 32361—2013, статья 33]

     7

     скол: Углубление на кромке изделия из стекла, вызванное откалыванием части стекла.
     [ГОСТ 32361—2013, статья 28]

     8

     выколка: Углубление на поверхности изделия из стекла, вызванное откалыванием части
 стекла.
     [ГОСТ 32361—2013, статья 29]



Издание официальное
                                                                                                1