ГОСТ Р 56662-2015

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                               ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                    НАЦИОНАЛЬНЫЙ                          ГОСТР
                                       СТАНДАРТ                           56662   -


                                     РОССИЙСКОЙ                           2015/ISO/TS 80004-8:
                                      ФЕДЕРАЦИИ
                                                                          2013




                                     НАНОТЕХНОЛОГИИ
                                              Ч а с т ь       8


                        Процессы нанотехнологического производства
                                   Термины и определения

                                        (ISO/TS 80004-8:2013, ЮТ)




                                           Издание официальное




                                                         М осква
                                                  С та н д а ртин ф орм
                                                         2016




экспертиза сооружений

ГОСТ Р 56662—2015

                                         Предисловие

     1 ПОДГОТОВЛЕН Федеральным государственным унитарным предприятием «Всероссийский
научно-исследовательский институт стандартизации и сертификации в машиностроении»
(ВНИИНМАШ) на основе собственного перевода на русский языканглоязычной версии международного
документа, указанного в пункте 4

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 441 «Нанотехнологии»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регу­
лированию и метрологии от 21 октября 2015 г. N» 1612-ст

     4 Настоящий стандарт идентичен международному документу ИСО/Т С 80004-8:2013 «Нанотехно­
логии.   Словарь.     Часть    8.    Процессы     нанопроизводства»        (IS C ^ S 80004-8:2013
«Nanotechnologies — Vocabulary — Part 8: Nanomanufacturing processes», IDT).
     Наименование настоящего стандарта изменено относительно наименования указанного между­
народного документа для приведения в соответствие с ГОСТ Р 1.5— 2012 (пункт 3.5)

     5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ



     Правила применения настоящего стандарта установлены в ГОСТ Р 1.0—2012 (раздел 8).
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на
1 января текущего года) информационном указателе «Национальные стандарты», а официальный
текст изменений и поправок — в ежемесячном информационном указателе «Национальные стан­
дарты». В случав пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уве­
домление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя
«Национальные стандарты». Соответствующая информация, уведомление и тексты размещают­
ся также в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)




                                                                        ©Стандартинформ, 2016

      Настоящий стандарт не может быть воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве офи­
циального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метро­
логии

и

ГОСТ Р 56662—2015

                                                                        Содержание

1 Область применения........................................................................................................................................ 1
2 Термины и определения понятий, установленные в других стандартах серии ИСО/ТС 80004 ........... 1
3 Термины и определения основных понятий, относящихся к процессам нанотехнологического произ­
  водства ................................................................                    3
4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам направленной с б о р ки ............................. 4
5 Термины и определения понятий, относящихся к процессам самосборки................................................ 4
6 Термины и определения понятий, относящихся к процессам синтеза наноматериалов........................5
    6.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам физического осаждения из газовой
        фазы. .......................................................................................................................................................... 5
    6.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам химического осаждения из газовой
         фазы............................................................................................................................................................. 6
    6.3 Термины и определения понятий, относящихся к физическим методам синтеза в жидкой фазе . 6
    6.4 Термины и определения понятий, относящихся к химическим методам синтеза в жидкой фазе . 7
    6.5 Термины и определения понятий, относящихся к физическим методам синтеза в твердой фазе 7
    6.6 Термины и определения понятий, относящихся к химическим методам синтеза в твердой фазе 9
7     Термины и определения понятий, относящихся к процессам изготовления продукции.................... 9
    7.1 Термины и определения понятий, относящихся к процессам литографии в нанодиапазоне . . . 9
    7.2 Термины и определения понятий, относящихся к процессам о саж дения....................................12
    7.3 Термины и определения понятий, относящихся к процессам травления...................................... 14
    7.4 Термины и определения понятий, относящихся к процессам печати и нанесения покрытий . . 16
Приложение А (справочное) Классификация процессов синтеза в зависимости от применения исход­
              ных наноматериалов или нанообъектов, применяемых для производства конечной
              продукции.................................................................................................................................. 17
Алфавитный указатель терминов на русском я зы ке ...................................................................................... 20
Алфавитный указатель терминов на английском язы ке.................................................................................24
Библиография........................................................................................................................................................29




                                                                                                                                                                         in

ГОСТ Р 56662—2015

                                          Введение

       Нанотехнологическое производство — это применение научных открытий и новых знаний в облас­
ти нанотехнологий для изготовления продукции наноиндустрии.
       Продвижение нанотехнологий из научных лабораторий в массовое производство требует тща­
тельного изучения стадий жизненного цикла продукции наноиндустрии, включая разработку и постанов­
ку продукции на производство, ее надежность и качество, управление производственными процессами и
их контроль, а также вопросов обеспечения безопасности при производстве, поставке, применении и
утилизации продукции наноиндустрии для сотрудников предприятий, потребителей и окружающий сре­
ды . В рамках нанотехнологического производства осуществляют освоение в промышленных масштабах
процессов самосборки и направленной самосборки, синтеза наноматериалов и изготовления на их осно­
ве продукции, например с применением литографии или биологических процессов. В нанотехнологичес­
ком производстве применяют технологии «снизу-вверх» и «сверху-вниз», позволяющие изготавливать
объекты или системы объектов на молекулярном уровне с последующим их встраиванием в более круп­
ные объекты или системы объектов.
       Объекты и материалы при их преобразовании с помощью нанотехнологий изменяют свои свой­
ства. Свойства конечной продукции наноиндустрии зависят от совокупности свойств нанообъектов и
наноматериалов, использованных при ее изготовлении.
       В настоящий стандарт не включены термины и определения понятий, относящихся к процессам
нанотехнологического производства, основанным на применении законов биологии в нанотехнологиях.
Однако, учитывая быстрое развитие нанобиотехнологий, в дальнейшем настоящий стандарт будет
дополнен новыми терминами или будет разработан отдельный стандарт серии ИСО 80004, включаю­
щий термины и определения понятий, относящихся к процессам обработки биологических наноматериа­
лов и применению законов биологии при производстве новых наноматериалов. Также будут
установлены термины и определения понятий, относящихся к другим развивающимся отраслям наноин­
дустрии. например к изготовлению нанокомпозиционных материалов и электронных устройств на руло­
нах из гибкого пластика или металлической фольги (изготовление «roll-to-roll»).
       Понятие «нанотехнологическое производство» следуетотличатьот понятия «наноизготовление»,
т. к. понятие «нанотехнологическое производство» включает не только способы изготовления нанома­
териалов. в т. ч. синтез, но и методы их обработки.
       Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий, относящихся к процессам,
применяемым на стадиях разработки и постановки продукции на производство, например к синтезу
наноматериалов с заданными свойствами. Наноматериалы изготавливают как продукцию произво­
дственно-технического назначения для выпуска конечной продукции, например: наноматериалы приме­
няют при производстве композиционных материалов или в качестве компонентов различных систем или
устройств. Процессы нанотехнологического производства являются большой и разнообразной группой
производственных процессов, применяемых в следующих отраслях:
       - полупроводниковая промышленность (цель которой — создание микропроцессоров меньшего
размера, более эффективных и быстродействующих, с элементами размером менее 100 нм);
       - производство электроники и телекоммуникационного оборудования;
       - аэрокосмическая и оборонная промышленность;
       - энергетика и транспорт;
       - химическая промышленность, включая производство пластмассы и керамики;
       - лесная, деревообрабатывающая и целлюлозно-бумажная промышленность;
       - пищевая промышленность и производство упаковки для пищевых продуктов;
       - биомедицина, биотехнологии и фармацевтическая промышленность;
       - биологическая рекультивация;
       - легкая и парфюмерно-косметическая промышленность, включая производство одежды и това­
ров личной гигиены.
       Ежегодно в обращение на мировой рынок поступают тысячи тонн наноматериалов, применяемых в
вышеуказанных отраслях, например технический углерод и коллоидный диоксид кремния. В ближайшем
будущем будут разработаны новые наноматериалы, которые внесут существенные изменения в разви­
тие таких отраслей, как биотехнологии, технологии очистки воды и энергетика.
       В настоящем стандарте термины и определения понятий объединены в разделы и подразделы,
относящиеся к определенной группе или подгруппе процессов нанотехнологического производства.
Раздел 6 состоит из подразделов, включающих термины и определения понятий, относящихся к процес­
сам нанотехнологического производства в зависимости от агрегатного состояния исходного материала.
IV