ГОСТ Р 53177-2008

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО

                                ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ




                                            НАЦИОНАЛЬНЫЙ                      ГОСТР
                                                СТАНДАРТ
                                              РОССИЙСКОЙ
                                                                              53177   -




                                               ФЕДЕРАЦИИ
                                                                              2008




                                        Вакуумная техника

                              ОПРЕДЕЛЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК
                           МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО МЕТОДА
                               КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ


                                            Издание официальное




                      м
                      L0


                                                         М осква
                                                  С га н д а р ти н ф о р м
                                                           2009




испытания продукции

ГОСТ Р 53177—2008

                                        Предисловие

      Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом
от 27 декабря 2002 г. No 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных
стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р 1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации.
Основные положения»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Санкт-Петербургским государственным политехническим университетом

     2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 249 «Вакуумная техника»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии от 18 декабря 2008 г. № 626-ст

     4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ




     Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом
информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок — в еже­
месячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пере­
смотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет
опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты»
     Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информаци­
онной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агентства по техни­
ческому регулированию и метрологии в сети Интернет




                                                                        © Стандартинформ. 2009

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и рас­
пространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническо­
му регулированию и метрологии

ГОСТ Р 53177— 2008


Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й           С Т А Н Д А Р Т        Р О С С И Й С К О Й           Ф Е Д Е Р А Ц И И



                                           Вакуумная техника

           ОПРЕДЕЛЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКОГО МЕТОДА
                            КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ

             Vacuum technology. Measurement of performance characteristics of mass-spectrometer
                                       method of tightness control




                                                                             Д ата введения — 2009— 05— 01




     1 Область применения

     Настоящий стандарт распространяется на масс-спектрометрический метод контроля герметич­
ности вакуумных систем всеми способами, указанными в ГОСТ 28517. при которых происходит натека­
ние пробного вещества в предварительно откачанный объект, и устанавливает процедуры
определения характеристик контроля.


     2 Нормативные ссы лки

    В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
    ГОСТ 12.2.003— 91 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное.
Общие требования безопасности
    ГОСТ 9293— 74 (ИСО 2435—73) Азот газообразный и жидкий. Технические условия
    ГОСТ 26790—85 Техника течеискания. Термины и определения
    ГОСТ 28517—90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания.
Общие требования
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылоч­
ных стандартов в информационной системе общего пользования — на официальном сайте Федерального агент­
ства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационно­
му указателю «Национальные стандарты», который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по
соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если
ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться за­
меняющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором д а­
на ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.


     3 Термины и определения

      В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 26790. а также следующие термины с соот­
ветствующими определениями:
      3.1 время реакции (time of reaction): Промежуток времени между подведением пробного вещест­
ва к месту расположения течи и появлением выходного сигнала течеискателя.
      3.2 локализация течи (leak locating): Выделение негерметичного участка и (или) определение
места расположения течи.

Издание оф ициальное

                                                                                                           1

ГОСТ Р 53177—2008

     3.3 минимальный поток (minimal flow rate): Наименьший поток пробного вещества, который
может быть зарегистрирован средствами контроля герметичности.
     3.4 максимальный поток (maximal flow rate): Наибольший поток пробного вещества, который
может быть зарегистрирован средствами контроля герметичности.
     3.5 максимальное рабочее давление (maximum working pressure): Наибольшее остаточное
давление газов в контролируемом объекте, при котором в пределах погрешности измерения сохраня­
ется номинальная чувствительность установки.
     3.6 минимальное рабочее давление (minimum working pressure): Наибольшее остаточное дав­
ление. до которого может быть откачана вакуумная камера при проведении контроля герметичности.
     3.7 браковочный признак (rejection feature): Максимальный допускаемый поток пробного
вещества для контролируемого изделия.
     3.8 пробное вещество (tracer fluid): Вещество, проникание которого через течь обнаруживается
при течеискании.
     3.9 калиброванная течь (calibrated leak): Устройство, воспроизводящее определенный поток
пробного вещества.


     4 Общие положения

     4.1 Масс-спектрометрический метод контроля герметичности основан на обнаружении пробного
вещества в смеси веществ, проникающих через течи, путем ионизации вещества с последующим рас­
пределением ионов по отношению их массы к заряду под действием электрического и магнитного
полей.
     4.2 Основным пробным веществом является гелий или его смеси с другими газами. Допускается
применение других пробных веществ, например водорода или аргона.
     4.3 Пробное вещество не должно оказывать вредного влияния на контролируемый объект.
     4.4 Возможности метода определяются следующими характеристиками:
     - чувствительность к потоку:
     - порог чувствительности к потоку (минимальный регистрируемый поток пробного вещества);
     - максимальный поток;
     - время реакции;
     - минимальное и максимальное рабочие давления в контролируемом объекте.
     4.5 В связи с тем. что характеристики являются взаимно зависимыми, они должны определяться
в одинаковых условиях.
     4.6 В зависимости от конструктивно-технологических особенностей и режимов эксплуатации
объекта могут определяться все или часть приведенных характеристик.


     5 Аппаратура и проведение испытаний

     5.1      Для определения характеристик используют вакуумную установку, состоящую из масс-спек-
трометрического течеискателя или анализатора парциальных давлений, вакуумной камеры, вакуум­
метров. вакуумных насосов, клапанов и соединительных трубопроводов, схема которой представлена
на рисунке 1.

      Примечания
      1 При определении характеристик вакуумная камера должна быть герметичной е пределах чувствитель­
ности применяемого течеискателя.
      Для определения паспортных характеристик течеискателей рекомендуется выбирать объем вакуумной
камеры, равный 5 л, при соотношении диаметра вакуумной камеры d%к е е длине >л. равной 0.5.
      2 При объеме вакуумной камеры не более 5 л и наличии в течеискателе собственной откачной системы
дополнительную вакуумную систему 9. клапан 8 и первичные преобразователи 4 и 5 допускается не устанавли­
вать.

     5.2       Течеисхатвль должен быть подготовлен к работе в соответствии с эксплуатационной доку­
ментацией.
2