ГОСТ Р 52250-2004

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

                                                  ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ И МЕТРОЛОГИИ




                                                     НАЦИОНАЛЬНЫЙ                   ГОСТ Р
                                                         СТАНДАРТ
                                                                                    52250   -

                                                       РОССИЙСКОЙ
                                                        ФЕДЕРАЦИИ                   2004




                                           Материалы электронной техники

                                         РЕЗИСТЫ ДЛЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ
                                                  ПРОЦЕССОВ

                                              Общие технические условия


                                                        Издание официальное




                                <8
                                5
                                8
                                сч
                               i
                               п
                                 из




                                                               Москва
                                                      ИПК Издательство стандартов
                                                                2004




программа энергетической эффективности

ГОСТ Р 52250—2004


                                        Предисловие
     Задачи, основные принципы и правила проведения работ по государственной стандартизации в
Российской Федерации установлены ГОСТ Р 1.0—92 ««Государственная система стандартизации Рос­
сийской Федерации. Основные положения» и ГОСТ Р 1.2—92 «Государственная система стандартиза­
ции Российской Федерации. Порядок разработки государственных стандартов»

     Сведения о стандарте

     1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом «Российский научно-исследовательский ин­
ститут «Электронстандарт» с участием Федерального государственного унитарного предприятия
«22 Центральный научно-исследовательский испытательный институт Министерства обороны Россий­
ской Федерации»

    2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 303 «Изделия электронной техники,
материалы и оборудование»

     3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 10 марта 2004 г.
No 162-ст

     4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

       Информация об изменениях к настоящ его ста н д а р ту публикуется в указателе «Национальные
стандарты », а т е к с т э ти х изменений — в информационных указателях «Национальные стандар­
ты » . В случае пересмотра или отм ены настоящ его ста н д а р та со о тве тствую щ а я информация
будет опубликована в информационном указателе «Национальные стандарты »




                                                            © ИПК Издательство стандартов, 2004

     Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и
распространен в качестве официального издания без разрешения Госстандарта России

ГОСТ Р 52250—2004


                                                                   Содержание
 1 Область применения.................................................................................................................................. 1
 2 Нормативные ссылки.................................................................................................................................. 1
 3 Термины, определения и сокращения..................................................................................................... 2
 4 Классификация и основные параметры................................................................................................... 3
 5 Технические требования....................... „ .................................................................................................. 4
 6 Требования к обеспечению качества....................................................................................................... 7
 7 Контроль качества и правила п р ие м ки................................................................................................                 10
 8 Методы контроля......................................................................................................................................   15
 9 Транспортирование и хранение............................................................................................................. 26
10 Указания по применению......................................................................................................................... 27
11 Гарантии изготовителя............................................................................................................................ 27

ГОСТ Р 52250—2004

Н А Ц И О Н А Л Ь Н Ы Й           С Т А Н Д А Р Т           Р О С С И Й С К О Й               Ф Е Д Е Р А Ц И И


                                   Материалы электронной техники

                          РЕЗИСТЫ ДЛЯ ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ

                                      Общие технические условия

                       Electronic engineering materials. Resists for lithography processes.
                                             General specifications




                                                                                   Дата введения — 2005— 01— 01



     1 Область применения
     Настоящий стандарт распространяется на резисты для литографических процессов производства
полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (далее — резисты).
     Стандарт применяют при разработке ТУ на резисты конкретных марок (далее — ТУ), а также
совместно с ТУ при их приемке и поставке.

     2 Нормативные ссылки
     В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
     ГОСТ 2.114— 95 Единая система конструкторской документации. Технические условия
     ГОСТ 12.1.005—88 Система стандартов безопасности труда. Общие санитарно-гигиенические
требования к воздуху рабочей зоны
     ГОСТ 12.1.007—76 Система стандартов безопасности труда. Вредные вещества. Классификация
и общие требования безопасности
     ГОСТ 12.1.014—84 Система стандартов безопасности труда. Воздух рабочей зоны. Метод изме­
рения концентрации вредных веществ индикаторными трубками
     ГОСТ 33— 2000 Нефтепродукты. Прозрачные и непрозрачные жидкости. Определение кинемати­
ческой вязкости и расчет динамической вязкости
     ГОСТ 3885— 73 Реактивы и особо чистые вещества. Правила приемки, отбор проб, фасовка.
упаковка, маркировка, транспортирование и хранение
     ГОСТ 7376— 89 Картон гофрированный. Общие технические условия
     ГОСТ 10028— 81 Висхозиметры капиллярные стеклянные. Технические условия
     ГОСТ 13841—95 Ящики из гофрированного картона для химической продукции. Технические
условия
     ГОСТ 14192—96 Маркировка грузов
     ГОСТ 14870— 77 Продукты химические. Методы определения воды
     ГОСТ 17622—72 Стекло органическое техническое. Технические условия
     ГОСТ 19433— 88 Грузы опасные. Классификация и маркировка
     ГОСТ 22001—87 Реактивы и особо чистые вещества. Метод атомно-абсорбционной спектромет­
рии определения примесей химических элементов
     ГОСТ 27025—86 Реактивы. Общие указания по проведению испытаний
     ГОСТ Р 50766—95 Помещения чистые. Классификация. Методы аттестации. Основные требования
      П р и м е ч а н и е — При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных
стандартов по указателю «Национальные стандарты», составленному по состоянию на 1 января текущего года, и
по соответствующим информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный документ
заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться замененным (изменен­
ным) стандартом. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссыпка на него,
применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

Издание оф ициальное
        ★
                                                                                                                  1