ГОСТ 9847-79

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ
СОЮЗА ССР

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ
ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ
ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

ТИПЫ И ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

ГОСТ 9847—79

Издание официальное

Б3 6—92

ИЗДАТЕЛЬСТВО СТАНДАРТОВ
Москва

УДК 531.716:006.354 Группа ПАГ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
a ЕЕ Ели житии ежики

ПРИБОРЫ ОПТИЧЕСКИЕ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ
ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

Типы и основные параметры гост
Opiies! instruments for surface roughness 9847—79
Parameters measuring. Basis paranweiers
and types
OKIT 44 3160
Дата ведения = _ 01.01.81

Настоящий стандарт распространяется на оптические приборы
(далее — приборы}, действие которых основано на принципе одно-
временного преобразования профиля поверхности, предназначен-
ные для измерения параметров Алах, RZ и $ по ГОСТ 2789—73,
а также устанавливает типы и основные параметры оптических
приборов при визуальных измерениях параметров шероховатости
при помощи отечетного устройства.

Требования к величине линейного поля зрения (табл, 4, 5 и 6),
а также требования пп. 2.1, 2.2.1-- 2.2.3, 2.4,1—2.4,3, 27 и 2.8 na
стоящего стандарта являются обязательными, другие зребова-
ния — рекомендуемыми.

(Измененная редакция, Изм. № 2).

1. ТИПЫ

Типы приборов устанавливаются слелующие:

ПТС - прибор теневого сечения;

NCC — прибор светового сечения;

МИИ — микроскоп ниитерференинонный измерительный, дейст-
вне которого основано на двулучевой интерферениин свет.

МПИ — инкроскоп-профилометр ингерферсиционный. дейстове
которого основано на иитерференции света © образованием RO-
лос ‘равного хроматического порядка,

(Измененная редакция, Изм. № 1).

'Издание официальное Перепечлтка воспревева
«© Излагельство стапдартов, 1979

(С: Издательства стаплартов, 1993

Переиздание с изменелихм

ГОСТ 9847—79 C. 2

2, ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

2.1, Днаназон измерений параметров шероховатости прибора-
мн должен соответствовать или находиться внутрн пределов изме-
рений, указанных в табл. 1.

Таблица 1

Тим зрябора Tapawerp шероховатости, Пределы измерений
В, Ruos 409—320 wan
nye i
5 0.21.6 мм
В, Внак 0.5 —40 мкм
сс
5 O02 -0.5 мя
Rz, Вне 0,55—0,8 мкм
мии
5 0,002—0,05 мм
MMH Re, Rows 045-08 мхи

Примечание, Допускается изготовлять пряборы специального, назначе-
ния с диапазоном измерения, выходящим за пределы, ухазаниые в табл. 1.

{Измененная редакция, Изм. № 1).

2.2. Основные параметры лриборов типов ПТС и ПСС должны
соответствовать указанным в табл. 2 и в па. 2.2.1—2.2.3.

Термины, используемые в стандарте, и их определения указа-
ны в приложении 2.

Tadanus 2
а Увеличение _ Общее
Да ны A ate woe дерма | yaeanvenme
О В т
imo менее we Gonte
Or 40 до 30 8 1 0.03 32
005 32
Or 4 an 40 25 4 A ao
| O12 6
; 0.15 | 509

©, 3 ГОСТ 9847—179

Продолжение табл, 2

РЕ Yeranveane eins
`Пиапазом измреный Линейное на yf Апертура ane.
параметров Язи Ry yyy MAM | Поле PE [© пролить М | объектива ee
ne менее me боль
Or 4 до 10 08 10 02 200
03 60
Or 1.6 до 4 08 126 04 260
9.45 20
От 05 до 16 025 за 05 750
06 620

2.2.1. Номинальные значения характеристик объективов в при-
борах типа ПСС в проектирующем микроскопе и микроскопе на-
блюдения должны быть одинаковыми для каждого диапазона из-
мерений,

2.2.2. Номинальное значение угла между оптическими осями
микроскопов должно быть 90'

2.2.3. Отклонение от прямолинейности изображения края тени
или щели в пределах линейного поля зрения не должно превы-
шать 5 мкм в фокальной плоскости окуляра.

2.3; 2.3.1. (Исключены, Изм. № 1).

2.4. Основные параметры приборов tana МИИ должны соот-
ветствовать указанным в табл. 5 и пп. 2.4.1—2,4,3.

Таблица 5
"Дизпазоя измерения Линейное воле Апертура Общее увеличение
параметров Rz By, gy, мм Зена uM, cévenrare | чикроскоии, лат,
03 400
OF 6.1 до 08 0,25
670
От 0,05 до 04 0.25 1120
От 0.05 до 01 0.08 200