ГОСТ 5.2105-73

Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы Й       С Т А Н Д А Р Т
                                              С О Ю З А      ССР




                                     МИКРОСКОП ЛАЗЕРНЫЙ
                                ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ ЛЭМ-2
                               ТРЕБОВАНИЯ К КАЧЕСТВУ АТТЕСТОВАННОЙ ПРОДУКЦИИ


                                             Г О С Т 5 .2 1 0 5 -7 3


                                             Издание официальное


                                                                 т- •


                                           \ ?*
                                           Г *
Цена 4 коп.




                                       ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СТАНДАРТОВ
                                              СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР
              салфетка декор                        Москаа

У Д К S31.713.8 : 65S.J63(0M.7)|083.74)                                  Группа Э71

Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы Й             С Т А Н   Д А Р Т     С О Ю З А     С С Р




   М И КР О С К О П ЛАЗЕРНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ
                            ЛЭ М -2.
     Требования к качеству аттестованной продукции

        Laser ellipsometrk microscope ЛЭМ-2.
       Quality requirements о! sertified products
                                                                    ГОСТ
                                                                 5.2105—73

Постановлением Государственного комитета стандартов Совота Министров СССР
от 17 августа 1973 г. М9 3006 срок введения установлен
                                                             С 01.09. 1973 г.


    Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллмпсо-
мстричеекин микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения
эллнпсометричсских параметров поляризованного света, опреде­
ляемых по углам попорота оптических элементов п момент пога­
сания, что позволяет использовать прибор для измерения толщи­
ны н показателя преломления прозрачных диэлектрических по­
крытии на отражающих полированных поверхностях различных
материалов и, п частности, на полупроводниковых пластинах, а
также для контроля равномерности н однородности диэлектриче­
ских пленок по плошали и определения наличия и толщины окис
л а в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводни­
ковых приборов
    Указанному микроскопу о установленном порядке присвоен
Государственный знак качества.




Издание официальное                                           Перепечатка воспрещена

 ©Издательство стандартов, 1973

C rp. 2 ГОСТ 5.2105-73


                           5. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ И РАЗМЕРЫ

   1.1. Основные параметры и энергетические данные микроскопа
должны соответствовать указанным ниже.
       1. Диапазон измерении толщины илснок для
          первого периода, А                     .......................................... 10—17000
      2. Цена деления отсчепшх лимбов тубусов ана­
          лизатора и поляризатора, град                                 . . . .                 1
      3. Величина отсчета по нониусу анализатора и
          поляризатора, м и и ................................................ 2
      4. Погрешность показаний нониуса анализатора
          и поляризатора, м и н ...................................... ±2
      5. Пределы перемещения столика приборного в
          двух взаимно перпендикулярных направле­
          ниях. м м ..........................................                       .          £7,5
       6. Диапазон изменения угла падения луча,град                                             45—90
       7. Цена деления основногоугломера, град . . 1
       8. Величина отсчета по нониусу основного угло­
          мера, мин . . .                                       .............................5
       9. Погрешность показаний нониуса основного
           угломера, м и н .................................................. ±5
      10. Минимальные размеры контролируемого окна.
           м к м ...................................................................... 5X30
      11. Индикация минимума отраженною луча                                                . Фотоэлектричес­
                                                                                               кая и пизуалънан
      12. Регистрация эллиисомстричсского изображе­
           нии ......................................................................... Визуальная и
                                                                                                 фотографичес­
                                                                                                 кая
      13- Точность определения моментов погасания по
           углу попорота лимбов при углах падения лу­
           ча ф=45° н <p*"70°, мни. не хуже. . .                                            ±4
      14. Масса микроскопа, кг                                                                  80
      15. Масса блока питания, к г ................................. 12
      16. Максимальная электрическая мощность, по­
           требляемая микроскопом нсболее, В -А                                                 200
      17. Питание электрооборудования микроскопа от
           сети переменного тока;
              напряжение, В ................................................ 220±Ю%'
              частота, Г ц ......................................................50
      18. Длина полны используемого монохроматичес­
           кого источника света, А .................................. 6328
    1.2.     Общий вид и габаритные размеры                                               микроскопа              должны
 соответствовать указанным на чертеже.

ГОСТ 5.2105—-73 Стр. 3




          ~«со




                      *а_.




2   з*к км?