ГОСТ 25662-83

/ М   Ы   - Х   З




                                       Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы Й  С Т А Н Д А Р Т
                                                      С О Ю З А    ССР




                                                 ОБОРУДОВАНИЕ ВАКУУМНОЕ

                                              НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ
                                                ДИФФУЗИОННЫЕ
                                       ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ.
                                                   МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

                                                      ГОСТ 25662—83
                                                    ICT СЭВ 3407—81)


                                                     Издание официальное
Ц енз 1 коп.




               стоимость сертификата

УДК 621J21 : 006.351                                               Группа Г82

Г О С У Д А Р С Т В Е Н Н Ы Й        С Т А Н Д А Р Т     С О Ю З А       С С Р


                Оборудование вакуумное
         НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ                       ГОСТ
      Основные параметры. Тонические требованнв.
                  Методы испытаний
                                                         256622—8 3 *
  , Vacaum equipment. Dl!iusion vacuum pumps.
      B ask param eters Technical requirements.
               •    Test method^                        (СТ СЭВ 3407—81)
ОКП 62 9148


Постановлением Государственного иомитета СССР по стандартам от 3         марта
1983 г. HS 1067 срои действии установлен
                                                                      с 01.01.3i
                                                                     до 01.01.89

                 Несоблюдение стандарта прсспедувтсв по закону
                                 •
    Настоящий стандарт распространяется на диффузионные ва­
куумные насрсы с водяным охлаждением, применяемые в вакуум­
ных* системах технологического оборудования длй производства
изделий электронной техники, предназначенные для откачивания
из герметичных объемов воздуха, газон и парогазовых смесей, пред­
варительно очищенных от капельной влаги и механических за­
грязнений и неагрессивных к материалам конструкций.
   Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3407—81.
    Пояснения терминов, применяемых в настоящем       стандарте,
приведены в справочном приложении.
      (И зм ен ен ная редакция, Изм. Л* I ) .

                            1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

   1.1.    Основные параметры насосов должны соответствовать ука­
занным в таблице.




Издание официальное                                    Перепечатка воспрещена
                 * Переиздание (июнь №84 г.) с Изменением Л§ /.
                  у/вержденным в апрем 1984 г. (ИУС М 8 84).
                                        Ш' Издательство стандартов, 1985

ГОСТ 25М 2-БЗ Сгр. 2


                      быстрота яе«Ь
 Д иаметр условного    стаи* в диа-
 прохода насоса, мм    па м н е рпб'1-       Д к ап ам н      П р о в с д т о*       Высота       Наиболь­
                       чкх д в и г а в *      рабочих         остаточное          (6с» лову их   шее выпус­
                        ПО ВОТДУХу           давлений,         хоаленле              им), им      кное дав
                       <с отраж ате­              Па          (е отраж а­           н« бод**     ленне, Па.
                на вы­ лем!. JutVc.                           телей). Па                          иг мсиее
   «а т о л *    ходе    ПО М«<М«


       63                        85                            1 ■1 0 “               300
                  25
      100                      2 60        1 0 -* — 10-*                              360

      160                      5 00                                                   420
                  40
     250                      1500                                                    600            Ю
                                                              5 - 10-»
     400          63          4900                                                    800

     630         100          9009         5 -1 0 -* — 10"»                          1400

    1000         160        25000                                                    2000



                                2. ТЕХНИЧЕСКИ! ТРЕБОВАНИЯ

   2.1. Насосы должны изготовляться в соответствии с требова­
ниями ГОСТ 24686—81 и настоящего стандарта.
   2.2. Присоединительные фланцы на входе и выходе насоса —
по СТ СЭВ 2 9 8 -7 6 . ГОСТ 24934 -8 1 и ГОСТ £4935-81.
   2.3. Диаметры условных проходов на входе и выходе насоса­
ло ГОСТ 18626—73.
   2.4. Допускаемый поток натекания Qa0II, Вт, из атмосферы не
должен превышать
                                      Слои ^    1 • 10 -4 P qS v,
где До — предельное остаточное давление, Па;
           расчетная быстрота действия насоса при давлении Я*
          дм^/с.
   2.5. Температура охлаждающей воды должна быть 283—293 К-
   2.6. Насосы должны иметь следующие показатели надежности:
   наработка на отказ — не менее 1000 ч;
   средний ресурс — не менее 20000 ч;
   среднее время восстановления— не более 2 ч.

                                   3. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

   3.1. И з м е р е н и е п р е д е л ь н о г о о с т а т о ч н о г о д а в ­
ления
   3.1.1. Метод измерения предельного остаточного давления ос­
нован на измерении давления в специальной камере, откачиваемой

Cfp. 3 ГОСТ 25662—83 *

испытуемым насосом, через равные промежутки времени при по­
стоянной температуре.                                  / .
   3.1.2. Испытательная установка представлена на черт. 1.




                    /—т ч г р и т е л ы н я k .ik c p j : 2. 5—имгрптелАЧые
                ||$ню6 раз 1>мт<ли 'дим синя; 3 —диффушскмиП насос:
                4— кдяпяп      V i; 4— клопам Кй. 2—мсхдиияссинй насос

     .                .                  Черт. 1
   3.1.3. Измерительная камера представлена на черт. 2..




                       /—капраэленкс поток* т ы » ; J— н*.)уск-
                     мая тр)<5ка; 9 место подсосдяисви* »я-
                                    кууммстрд

                                         Черт. 2
   Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости вход­
ного фланиа насоса, диаметр камеры должен быть равен услов­
ному проходу на входе насоса.
   Поток напускаемого в измерительную камеру газа должен
быть направлен по оси камеры' в сторону, противоположную вход­
ному фланцу камеры, на расстоянии от .него, равном диаметру ка­
меры.